標準解讀
《GB/T 11093-1989 液封直拉法砷化鎵單晶及切割片》是中國一項關于液封直拉法制備砷化鎵單晶及其切割片的標準。此標準詳細規定了砷化鎵單晶的制備方法、技術要求、檢驗規則以及標志、包裝、運輸和儲存條件,旨在確保砷化鎵材料的質量可控性和一致性,適用于使用液封直拉技術生長的砷化鎵單晶及其切割片。
標準內容要點包括:
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范圍:明確了本標準適用的產品范圍,即通過液封直拉法制得的砷化鎵單晶及其切割片,為相關產品的生產和檢驗提供了依據。
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術語和定義:對標準中涉及的專業術語進行了解釋和界定,幫助讀者理解標準的具體內容。
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分類與標記:規定了砷化鎵單晶及切割片的分類方法和產品標記規則,便于識別和區分不同規格、級別的產品。
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技術要求:
- 材料要求:對用于生長砷化鎵單晶的原料純度、雜質含量等有具體規定。
- 生長工藝:描述了液封直拉法制備過程中關鍵參數如溫度、拉速、氣氛控制等的技術要求。
- 物理性能:規定了砷化鎵單晶的尺寸、形狀、晶體質量(如位錯密度)、電學性質(如電阻率)等指標。
- 切割片質量:包括切割片的平整度、厚度公差、表面潔凈度等要求。
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試驗方法:詳細說明了如何通過各種檢測手段來驗證砷化鎵單晶及其切割片是否滿足上述技術要求,如X射線衍射分析晶體結構、四探針法測量電阻率等。
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檢驗規則:規定了產品出廠前應進行的檢驗類型(如全檢、抽檢)、抽樣方案及不合格品的處理方式。
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標志、包裝、運輸和儲存:要求產品在包裝上需清晰標注相關信息,并對包裝材料、方式、運輸條件及儲存環境做出具體規定,以防止產品在流轉過程中受損。
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文檔簡介
UDC661.868.146-415H81中華人民共和國國家標準GB11093-89液封直拉法砷化掠單晶及切割片Liquidencapsulatedczochralski-growngalliumarsenidesinglecrystalsandAs-cutslices1989-03-31發布1990-03-01實施國家技術監督局發布
中華人民共和國國家標準液封直拉法砷化家單晶及切割片GB11093-89Liauidencapaulatcdczochralsiki-rownealltumarcnidesinglecrystalsandAs-cutsliccs主題內客與適用范圖本標準規定了波封直拉法砷化鏢單品及切割片的產品分類、技術要求、試驗方法和檢驗規則等。本標準適用于液封直拉法制備的砷化家單品及其切割片。產品供制作光電器件、微波器件和傳感元件等元器件用。2引用標準GB4326非非本征半導體單品蛋爾遷移率和霍爾系數測量方法GB8759化化合物半導體單品晶向×射線衍射測量方法GB8760神化家單品位錯密度測量方法產品分類3.1導電類型產品按導電類型分為N型和P型,按電阻率分為低阻導電型和高阻半絕緣型。以摻雜劑、教流子濃度和遷移率分類,按位錯密度分級。3.2牌號單晶及切割片的牌號分別表示為LECMGAAS阿拉伯數字與羅馬數字組合表示產品的等級與等次北化學元素符號表示摻雜劑。有兩種摻雜劑時,元素符號之間用“十”連接表表示液封直拉法砷化鏢單品中國
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