特殊氣體管路暨高潔淨度管路

施工規範1目錄

1、無塵室作業安全規範………………P32、pipinginstallation管路架設…………P83、彎管作業規範………P174、熔接規範……………P245、測試規範……………P286、工安規範……………P367、監工人員工地監工準則……………P392無

塵

室

作

業

安

全

規

範

1、一般清潔區工作條件(廠務機房)（1）進入工作區前，鞋子必須清理乾淨。（2）最好每天擦拭有類似金屬碎屑等東西的地方。（3）有規則的存放材料。（4）禁止於工作區內吸煙、吃東西、喝飲料。（5）所有工作區必須有垃圾筒，收集廢料等東西。（6）材料人員進出必須清潔一次。（7）所有人員及設備每週必須清潔一次。（8）產生污染的工作必須個隔離。(噴漆、磨砂輪機等)2、非常乾淨區工作條件(潔淨室地下回風區)（1）必須換穿專用的鞋子或鞋套。（2）使用真空吸塵器清除髒東西。（3）有規則的存放材料。3（4）禁止於工作區內吸煙、吃東西、喝飲料。（5）所有使用過的材料、殘餘剩料等必須每日清除。（6）所有工作區內必須有密封式垃圾筒，收集廢料等東西。（7）材料人員進出必須管制。（8）所有人員及設備每週必須清潔一次。（9）產生污染的工作必須隔離(如噴漆、磨砂輪機等)。（10）進出工作區內的全部材料必須清理乾淨，才可進入。（11）所有工作區必須換穿乾淨工作服。（12）工作區的管線設備禁止勾攀、踐踏、吊掛東西。3、絕對乾淨區工作條件(潔淨室生產區)（1）必須換穿無塵專用的鞋子或鞋套。（2）使用中央系統真空或特別過濾裝置的手提真空吸塵器清除作業時產生的

金屬等粉屑。（3）有規則的存放使用材料。（4）禁止於工作區內吸煙、吃東西、喝飲料。（5）所有使用過的材料、殘餘剩料等必須每日清除。4（6）所工作區內須有密封式垃圾筒，收集廢料東西。（7）材料人員進出必須管制。（8）所有工作人員及業主人員每日必須清潔乾淨。（9）產生污染的工作必須於進入無塵室前完成。（10）進入工作區內的全部材料和工具必須用水清洗乾淨，才可進入。（11）除入無塵室應換穿無塵依及尼龍手套外，餘均應穿著乾淨之工作服。（12）禁止木質或瓦愣紙材料所做的紙箱進入無塵室。（13）禁止觸碰任何液體和你不知道的任何器物。（14）含有油品的工具禁止攜入。4、清淨室施工安全規則（1）指定專人辦理安全事宜。（2）勿雇用童工。（3）工作區域內禁止抽煙。（4）必須準備安全眼鏡。（5）在清潔室須戴安全帽，特別是有震動時。（6）任何時間內，均不得堵塞通道及出入口。

5（7）在工作區域工作，必須保持乾淨；如有產生垃圾，必須隨時準備垃圾

袋，於每日收工時攜出清淨室。（8）如有意外發生，須立刻告知監工。（9）特殊危險工作區，須有安全圍籬及警告標誌。（10）地板開口處，須有安全圍籬及警告標誌，以防止人員掉入。（11）須備有滅火器以防火災。（12）滅火器僅可使用泡沫滅火器，不可使用乾粉滅火器。（13）工作架在超出地面2M以上時，須使用鷹架，人員須繫安全帶(索)。（14）鷹架、樓梯及工具，須保持良好狀況。（15）在超出地面2M以上時，工具須放置工具袋(箱)內。（16）同時有兩組人員在不同高度工作時，須有良好之連繫。（17）在工作區域工作，必須保持乾淨；如有產生垃圾，必須隨時準備垃圾

袋，於每日收工時攜出清淨室。（18）如有意外發生，須立刻告知監工。（19）特殊危險工作區，須有安全圍籬及警告標誌。（20）地板開口處，須有安全圍籬及警告標誌，以防止人員掉入。6（21）須備有滅火器以防火災。（22）滅火器僅可使用泡沫滅火器，不可使用乾粉滅火器。（23）工作架在超出地面2M以上時，須使用鷹架，人員須繫安全帶(索)。（24）鷹架、樓梯及工具，須保持良好狀況。（25）在超出地面2M以上時，工具須放置工具袋(箱)內。（26）同時有兩組人員在不同高度工作時，須有良好之連繫。（27）易燃物品如無人照料，不可置放於工作區域內。（28）化學物品如有洩漏，必須馬上處理。（29）易燃物品須放置於有蓋容器內。（30）任何閥、開關插座、電源插座，不可隨意開、關、拔除(機臺管線)。（31）任何配管配線、材料，非經過監工人員同意，不可擅自任意更改。7Pipinginstallation管路架設

在無塵室或簡易潔淨室執行高潔淨度配管工作時，必須遵循下列的規定。1、現場工作規定

※攜入

材料必須置於特定的貯藏間，在工地現場或在材料間要提供暫時性的簡易潔淨室，所有材料要存放整齊。在存放材料時，有電子拋光的管件必須和未經電子拋光的管件分開。在尚未使用管件之前都不要將塑膠封套打開直到現埸要使用時方可打開，並且不要將材料直接放在地上。

※切管

切管時，使用的自動切割機或手動切管器必須是專門為半導體廠工作所設計的。切管器的刀片與管件成垂直方向，當使用自動切割機時，放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一層未切斷，藉以防止切割時的碎屑進入管內。

8※倒角

原則上，在使用倒角機(TUBESIZE用)或銼刀(PIPESIZE用)時，小心地移開切割面。如果切割面歪斜未成垂直，焊口鬆或管子彎曲等狀況發生時，這種管路是不合規定，必須重新切割及配置。當倒角時，在管的另一端必須用高潔淨度的氮氣沖吹(氮氣要經0.02um的過濾器過濾)。

※N2沖吹

將管內的微粒沖吹出來。

※工作後的清潔

檢視切割機的潔淨度，保持機具不受油污，如果仍然看得見有油污或切割的碎屑殘餘，按照下列的方法清潔之。用GN2沖吹使用的N2必須經-80℃或更低的露點，經0.02um的過濾器乾燥。

※預製工作(在簡易潔淨室cleanbooth)

在現場的焊接工作降至最低量是必需的。配管區必須在有潔淨氣的地方，在工作時維持風扇正常運轉，於早、中、晚用CO2檢視器檢查CO2的濃度。9

◆點焊

點焊使用TIG焊接，點焊的點數按照下列規定。

(CAJON的焊機必需保証管子確實牢固，從完成的觀點來看，最好不要使用

手動的TIG焊接，因此點焊被省略)。

3/4”到15A到80A：3~4點。

◆沖吹氣體(Backsealgas)

使用氬氣，露點-80℃或更低，氧含量在0.1ppm以下，微粒(0.1um以上)含量

為零。◆沖吹用管套

連接沖吹氣體管路與架設管路，使用(Backsealjig)

如圖(一)所示圖(一)(參考用)

10◆架設設程程序序(圖二二)將工工作作管管路路兩兩端端套套上上管管套套，，連連接接沖沖吹吹氣氣體體及及閥閥。。圖(二二)11◆裝封封(在Cleanbooth內進進行行)完成成焊焊接接之之後後，，在在管管內內充充滿滿Ar氣，，而而且且用用無無塵塵的的塑塑膠膠紙紙在在末末端端包包裹裹兩兩層層。。如果果末末端端的的閥閥已已經經連連接接好好了了，，把把閥閥也也用用塑塑膠膠紙紙裹裹起起來來。。2、、現場場施施工工現埸埸焊焊接接的的人人員員必必須須有有受受過過高高潔潔淨淨度度配配管管技技術術檢檢定定通通過過。。焊焊接接工工作作12Ⅰ原封封至至現現埸埸。。Ⅱ先先拆拆卸卸一一端端封封套套，，並並連連接接Backsealgas。Ⅲ拆拆卸卸要要焊焊接接端端封封套套，，並並沖沖吹吹乾乾淨淨。。Ⅳ連連接接後後將將一一端端之之Backsealgas拆掉掉使使成成出出氣氣端端，，並並開開始始焊焊接接。。◆管路路維維持持條條件件即使使焊焊接接結結束束，，也也要要維維持持小小量量的的N2或Ar在管管內內沖沖吹吹以以防防止止空空氣氣流流入入管管內內。。無論論如如何何也也要要想想辦辦法法把把管管內內的的空空氣氣及及微微粒粒弄弄出出來來，，如如果果無無法法繼繼續續沖沖吹吹。。※焊機機電電源源供給給電電源源的的電電壓壓的的變變動動，，對對於於管管路路焊焊接接的的品品質質影影響響甚甚巨巨。。使使用用自自動動焊焊接接機機的的電電源源必必需需使使用用特特定定的的整整流流器器。。容容許許的的電電壓壓波波動動AC100V±±10%，AC200V±±10%，在在焊焊接接進進行行時時電電壓壓警警報報器器一一直直監監視視著著電電壓壓，，如如果果電電壓壓超超過過可可容容許許的的範範圍圍時時，，警警報報器器就就會會發發出出聲聲音音。。3、、其他他注注意意事事項項下述述的的工工作作是是在在架架設設高高潔潔淨淨度度的的管管路路時時必必需需要要執執行行的的。。13※控制制氬氬氣氣沖沖吹吹◆用壓壓力力計計或或液液位位計計察察看看尚尚餘餘有有多多少少氬氬氣氣。。◆看流流量量計計的的刻刻度度檢檢查查沖沖吹吹氣氣體體的的容容量量。。◆使使用用採採樣樣品品閥閥從從鋼鋼瓶瓶或或氣氣體體來來源源收收集集氬氬氣氣，，測測量量氬氬氣氣純純度度確確定定露露點點是是在在-80℃℃以下下，，殘殘餘餘氧氧氣氣低低於於0.1ppm，微微粒粒含含量量為為0(0.1um以上上的的微微粒粒)。◆在工工作作處處測測量量架架設設管管路路末末端端的的氬氬氣氣純純度度，，確確定定露露點點在在-70℃℃以下下殘殘餘餘氧氧氣氣低於於2ppm，測測量量地地點點必必須須在在監監工工及及焊焊接接都都同同意意的的地地方方。。◆前4項規規定定的的工工作作前前在在每每天天開開始始工工作作由由監監工工或或工工作作人人員員執執行行以以控控制制品品質質符符合要要求求。。◆若氣氣體體容容量量未未達達標標準準，，通通知知監監工工，，暫暫停停工工作作，，但但是是沖沖吹吹必必須須持持續續進進行行，，或使使用用預預留留的的LN2，當當要要使使用用預預留留LN2時，，必必定定要要做做分分析析供供給給氣氣體體純純度度的的工作作。。※簡易易潔潔淨淨室室(Cleanbooth)的潔潔淨淨度度的的控控制制◆在Cleanbooth內測測量量焊焊接接處處的的微微粒粒數數量量(0.1um以上上)不能能超超過過100個/c.f，class10000是用用作作貯貯藏藏用用，，class1000是組組裝裝用用。。◆在正正常常使使用用中中測測量量微微粒粒的的工工作作一一天天至至少少進進行行1次。。14※潔淨淨衣衣物物的的管管制制◆在Cleanbooth內使使用用的的潔潔淨淨衣衣、、潔潔淨淨鞋鞋、、潔潔淨淨手手套套及及其其他他設設備備必必需需在在使使用前前檢檢查查其其潔潔淨淨度度。。◆使使用用的的潔潔淨淨衣衣物物等等，，必必需需一一個個星星期期清清洗洗一一次次，，不不論論有有否否弄弄髒髒。。※潔淨淨室室依據據潔潔淨淨室室人人員員管管制制規規定定的的管管制制細細則則，，所所有有的的工工作作人人員員皆皆需需致致力力於於工工作作在在一一個個高高潔潔淨淨空空氣氣環環境境中中。。※焊接接狀狀況況的的檢檢查查(由個個人人或或監監工工)當自自動動焊焊接接機機的的工工作作條條件件改改變變時時，，必必須須確確定定焊焊接接數數據據與與工工作作條條件件一一致致。。※鎢棒棒的的保保養養及及管管制制◆要時時時時注注意意鎢鎢棒棒是是否否變變形形。。◆磨磨鎢鎢棒棒的的工工作作必必須須是是由由監監工工認認可可之之專專業業人人員員使使用用特特定定的的設設備備來來執執行行。。※樣品品製製作作及及焊焊接接條條件件的的檢檢查查(焊接接者者或或監監工工)◆每日日早早上上在在上上工工前前要要製製作作數數個個同同樣樣大大小小的的樣樣品品。。◆監監工工切切開開樣樣品品，，檢檢查查管管內內部部焊焊接接情情況況，，用用目目視視確確定定焊焊接接的的地地方方沒沒有有不不規規則的的孔孔、、裂裂縫縫、、氣氣孔孔或或沒沒有有完完全全焊焊透透等等缺缺點點存存在在。。15◆若有有焊焊接接缺缺陷陷發發現現時時，，檢檢查查焊焊接接條條件件、、更更換換鎢鎢棒棒、、檢檢查查沖沖吹吹氣氣體體純純度度、、品質質及及沖沖吹吹的的方方法法，，直直到到結結果果令令人人滿滿意意，，方方可可進進行行配配管管工工作作。。◆樣品品及及焊焊接接數數據據必必須須同同時時保保存存。。4、、要求求※機器器攜攜入入及及架架設設◆從側側邊邊帶帶入入機機器器要要在在事事先先申申請請同同意意路路線線，，並並且且使使用用的的拖拖車車放放在在特特定定的的地地方。。◆在在水水泥泥地地板板上上使使用用鐵鐵錨錨類類之之固固定定機機器器。。◆經經縱縱、、橫橫的的方方向向確確定定無無誤誤後後，，固固定定機機器器。。◆機機器器必必須須在在地地板板的的防防塵塵油油漆漆塗塗上上之之前前裝裝上上。。※管路路標標記記◆至少少每每5M要有有標標簽簽貼貼在在管管路路上上，，標標明明氣體體名名稱稱流向向號碼碼※開/關顯顯示示除了了球球閥閥外外，，所所有有的的閥閥都都要要有有開開/關的的標標示示。。16彎管管作業規範1、、說明明本項項說說明明GasSystem作成成時時，，如如何何使使用用手手工工具具PIPEBENDER來進進行行彎彎曲曲作作業業。。主要要對對象象SUS316BA管，，外外徑徑1/4””(6.53φφ)使用用工工具具R1NO.394LEVER型TUBEBENDER。2、、.配管管圖圖看看法法與與管管長長之之決決定定配管管圖圖尺尺寸寸是是表表示示配配管管中中心心之之尺尺寸寸或或中中心心配配管管末末端端之之長長之之謂謂。。17通常常在在配配管管分分岐岐點點實實施施熔熔接接很很多多，，茲茲以以下下圖圖表表示示之之。。至中中心心點點之之長長度度約約+3mm(1/4””OD)(則3.15mm-------3mm)約+5mm(3/8””OD)18使用用TUBEBENDER來加加以以彎彎曲曲之之中中心心點點大大約約彎彎曲曲15R與直直角角彎彎曲曲比比較較，，配配管管全全長長變變短短，，亦亦即即圖圖面面上上所所配配尺尺寸寸相相加加長長度度比比實實際際配配管管長長度度長長。。19180度彎彎曲曲(R彎曲曲),每一一彎彎曲曲，，其其SETBACK為14.6mm其計計算算如如下下：：管長長=(50+30+90+120)-14.6-6.4=269mm[1/4””OD]又3/8””時R彎曲曲SetBack為23.6mm依上上圖圖原原理理可可得得(50+30+90+120)-23.6-10.5=255.9mm[3/8””OD]200~75度範範圍圍角角度度彎彎苗苗，，其其SetBack為0例如如:其管管長長=(50+53.94+40)-6.4=137.5其長長度度差差即即所所謂謂SetBack，在在1/4””OD配管管，，每每一一彎彎曲曲可可短短小小6.4mm(6.35mm)下面面有有1/4””、3/8””各種種埸埸合合之之SetBack之表表。。彎曲次數SetBack1/4”3/8”1/8”16.4mm10.5mm6.0mm212.721.012319.131.518425.442.024531.863.030638.163.036744.573.542850.884.04821例:必要要管管長長=(50+70+80)-12.7=187.33mm2次彎彎曲曲SetBack因此此準準備備187.3mm長度度配配管管就就可可進進入入作作業業。。3、、配管管切切割割配管管切切割割使使用用TubeCutter(PipeCutter)工具具RIDGIDNO.105，配配管管開開始始切切割割時時，，必必須須前前後後旋旋轉轉3~4次半半周周，，使使配配管管軸軸部部方方向向不不致致造造成成直直角角，，溝溝才才開開始始進進行行。。配配管管之之切切斷斷處處，，事事先先用用紅紅筆筆做做記記號號。。切切割割深深度度一一次次切切割割過過深深會會使使切切口口未未能能成成立立真真圓圓，，慢慢慢慢進進行行，，而而把把手手旋旋轉轉角角度度保保持持約約30度就就可可。。切切割割完完畢畢，，管管內內面面產產生生突突屑屑會會致致使使內內徑徑縮縮小小，，須須用用銑銑面面Cutter清除除。。最最後後用用銑銑面面Cutter將突突屑屑、、粉粉屑屑清清除除。。4、、配管管彎彎曲曲作作業業應應注注意意之之原原則則配管管開開始始彎彎曲曲作作業業應應注注意意原原則則※比比較較圖圖面面上上兩兩端端、、由由短短方方面面先先開開始始彎彎曲曲，，將將較較短短尺尺寸寸配配管管上上作作記記號號、、此此部部份應放在Bender左側Set之。※時時檢檢查Bender之狀態是否否會造成管管子受傷或或變形。※兩端一一方彎曲180度(R彎曲)時，必須從從180度彎曲方向向作業。這這個時候R彎曲尺寸在配配管上做記記號，而將將此處置在在Bender左側予以Set之。225、尺寸固定(劃線器劃線線方法)※從配管量尺尺寸用普通通量尺就可可，再用紅紅鉛筆作記記號。※已施於於彎曲一次次的配管，，則使用T型特別量尺尺，由配管管中心劃線線。※實施90度以內彎曲曲後再做第第二次彎曲曲劃尺寸，，依下列方方法實行。。6、熔接部份注注意事項※使用ArgonArc分岐部份，，使用專用用冶具，並並使用Bord板開孔。※開孔後後配管內部部產生突起起屑，粉屑屑用Reamer工具清除。。※施行多多數彎曲作作業其中有有熔接分岐岐時，彎曲曲作業中途途須要有開開孔或清除除粉屑的作業業，因為等等到彎曲作作業完成後後已經沒有有方法通進進開孔或清清除粉屑作業之工工具。23熔接規規範1、電源（1）使用Tester確認電壓（2）使用用220V的場合要確確認結線。。（3）使用用110V電源時，為為保護配線線，要使用用附有漏電電Breaker之插座。（4）接地地線要用熔熔接機單獨獨使用者。。2、氬氣（1）Argongas純度達99.999以上才予使使用。（2）原則則上使用液液化ArgonGas。（3）熔接接時氧化膜膜無法去除除時要檢查查Gas及輸氣管路路。3、鎢Tungsten（1）研磨時不能能偏頗。（2）產生生熔接聯珠珠或蛇行是是鎢研偏所所致，要重重磨。研磨磨時使用研研磨專用機機。（3）Taper角角度請參考考下記圖面面。24熔接產生Gap時，用GapGauge來修正。4、同心圓之確確認（1）確認pipe規格及材料料，然後參參考Data表設定之。。（2）Set直管接接住熔接機機頭用Vis調整。（3）Set短管用用同心圓打打圓圈確認認之。（4）不是是同心圓時時，先考慮慮是否熔接接機頭之焊焊接頭有歪歪曲就要更更換Head。5、熔接條件確確認（1）使用BackSealedGas，Purge30分程度，清清除之流量量為5l/min。（2）使用用Date表確認ArcGasSealedGas流量，並記記入Data表。256、Test熔接（1）使用對焊熔熔接物做樣樣品熔接，，製作CutSample。（2）熔接接面聯結、、熔接程度度、氧化膜膜產生程度度都須確認認。（3）確認認後，無問問題才正式式進行熔接接。（4）為防防止表面氧氧化用噴槍槍ArGas。7、熔接作業重重要事項（1）防止中心點點偏移：鎢鎢與熔接面面位置。鎢之研磨角角度未出來來。（2）熔接接聯珠不均均：切割面面90度未出來。。切割面有突突起物。鎢的消秏。。（3）.防止熔化不不足：盡可可能觀察熔熔接時之熔熔接內面。。（4）防止止過熔低陷陷：利用控控制內壓之之專用治具具。（5）防止止膨脹熔接接作業前，，再確認熔熔接條件。。（6）熔接接技術者，，熔接完了了後，確認認熔接部份份。268、氧化膜除去去作業基準準（1）氧化膜除去去，使用StainlessBrushScotchBrush。（2）使用用StainBright除去作業後後，充分用用純水洗淨淨。（3）水洗洗後，用氮氮氣清除再再用IPA洗淨。（4）進行行除去作業業時，配管管末端用盲盲Cap套住。（5）除去去作業完成成後，其外外部用氮氣氣清除塵埃埃。（6）收尾尾工程，配配管內部用用氮氣清除除。清除用氮氣氣，通過0.05um以上，具有有除去性能能之Ceramic或StainlessFilter，並在8kg/cm2的氮氣壓力力下將管內內清除。27測試規規範範今依據各項項執行順序序可分為七七大部份：：第一部份外外觀之檢驗驗。第二部份為為管路的氣氣密試驗。。第三部份為為管路流程程的檢查。。第四部份為為HE測試。第五部份為為微粒子測測試、PARTICLE。第六部份為為露點測試試。第七部份含含氧量測試試。281、外觀檢驗：：半導體於管管線組裝成成後,須做管路之之外觀檢驗驗,其檢驗項目目為:☆所有管線是是否依設計計排列施工工,並予標示氣氣體種類。。☆所有使使用之材料料是否符合合規定之材材料。☆管線之之焊接是否否有角度不不正、傾斜斜、歪曲。。☆管線是是否有污物物殘留。☆管線是是否有凹陷陷、龜裂等等不良缺陷陷。2、管路氣密試試驗：在氣密試驗驗中,所採用測試試方法均是是採用通入入高於各管管路正常使使用壓力的的1.1倍氣體或1.5倍水的壓力力於管路中中,再觀察已安安裝好之壓壓力計,判斷其是否否有漏氣現現象。但有有些的管路路受限於二二段式的壓壓力調節計計,需另安裝壓壓力計,並由管路末末端處灌壓壓方式。當氣密試驗驗中,任一管路有有了漏氣現現象。就必必須進行查查漏步驟。。一般而言,在管路的查查漏均均是是採用snoop對漏氣管路路所有接點點作泡沬測測試(foamingtesting),其可偵測漏漏氣率約為為1*10-4atmcc/sec。29但是有一點點必須注意意是當壓力力計上有明明顯變化時時其漏氣已已達1*10-4atmcc/sec的標準以上上,故使用snoop查漏是相當當可靠。當當然能有更更精密儀器器測是最好好的方式；；但是精密密測漏儀器器使用較為為不便,若對寬廣空空間當然沒沒有問題，，但對狹窄窄及較高地地點便不能能安裝,所以目前為為止查漏必必須有系統統規劃執行行,否再有精密密儀器也找找不出漏氣氣處,就以GN2管路查漏為為例,就可證明確確實是如此此。3、壓力及氣密密之檢驗方方法（1）使用0.01um過濾器過濾濾的氮氣或或廠內PN2系統做壓力力測試。（2）壓力力測試時所所需壓力大大小及加壓壓時間,設計值如附附表所示。。測試項目規定氣體測試壓力測試時間氣體測試N210kg/cm2(或依業主規定)30分鐘（3）管路充入規規定的壓力力氣體後,檢查所有被被聯接和焊焊接的部份份,並用試漏液做探漏,維持管內充充有壓力並並做記錄。。（4）記錄錄任何被發發現的異常常點。（5）記錄錄使用中的的壓力錶讀讀得有關資資料。（6）從完完成壓力測測試開始做做氣密測試試,設計值、時時間如附表表30測試項目規定氣體測試壓力測試時間氣體測試N28kg/cm2(或依業主規定)24小時（7）做次測試時時,首先計值充充入管線中中以10分鐘或更久久些,然後才開始始做記錄,以避免產生生誤差。（8）做氣氣密記錄測測試時,必須使用用讀出型型壓力計計做資料料記錄。。在規定定的壓力力和規定的的保持時時間後,管線上的的壓力沒沒有顯示示下降,亦即從試試壓開始始測試的壓力和和完成測測試時的的室溫亦亦不同時時,無論如,必須使下下列式子子做溫度度係數的校正正,來決定測測試完成成時,壓力錶所所獲得之之數值能能保持在在開始時時所記錄的98%以上,則此測試試值被認認可為通通過測試試。（9）未接受試試壓部份份,如安全閥閥、控制制閥、壓壓力計等等,均應接受受氣密試試驗。氣密試驗驗的壓力力以不超超過該組組件的最最大許可可操作壓壓為限。。314、氣體管路路流程檢檢查此項目之之測試依依下列步步驟為之之:（1）將所有氣氣體管路路的末端端閥打開開。（2）列列出(各種特殊殊氣體管管路應到到遠的末末端閥的的歸納表表)關閉所試試特殊氣氣體管路的末末端閥。。（3）由由所欲測測特殊氣氣體以N2充壓該管管路至一一定壓力力,並觀察五五分鐘,視壓力計是否有有下降現現象。（4）若若壓力計計無下降降,即代表管管路無錯錯接現象象。若無無下降現現象打開開欲測特特氣體管路路末端閥閥,判斷壓力力計是否否會下降降至零,若降至零零代表壓壓力計無無問題。5、測漏檢驗驗（1）特殊氣體體配管,管做完上上述測試試後將管管路抽真真空,以HE氣做測漏漏率的測測試。（2）本本公司使使用為BALZERHLT160HELIUMLEAKDETECTOR設備。（3）本本公司設設備測漏漏率可達達到-1*10-11atm.cc/sec。32（4）測試標準準1*10-8mBarL/S<2*10-9atm.cc/secInboard或業主規規定（5）本公司有有支援設設備相同同機型的的提供廠廠商—漢疆股份份有限公公司。操作說明明及注意意事項：：（1）在開機前前,應先平穩穩放置不不得傾斜斜。（2）開開機後,不得隨意意移動。。（3）關關機後,必須聽到到VENT氣聲或3-5分鐘後,方可移動動或重新新開機。。（4）在在開機前前,須確定電電壓是否否正確(110V/220V)（5）電壓頻率率選擇於於60HZ。（6）本本機係屬屬於精密密電子儀儀器,故必須使使用有接接地的插插頭。336、微氧分析析測試程序序注注意意事事項項選用氣體測試設備熱機清淨管路測試結束YESNOa、使用氣體體氧分純純度必須須50PPB以下或經經過純化器濾濾過氮氣氣或同等純純度之氣氣體。a、微氧分析析儀開機機後,必須熱機機20分鐘才可可銜接管管路測試試。a、將測試管管路或盤盤面進氣氣孔接上上氣源。。b、將測試管管路盤面面上,所有閥件件全部打打開。c、使用設計計壓力之之氣源來來Purge所要測試試之管路路。d、此Purge程序需維維持30分鐘以上上。a、氣體於接接上設備備前必須須將銜接接測試管管路Purge5分鐘。b、經過Purge的銜接測測試管路路,銜接上微微氧分析析測試儀儀後,打開微氧分分析儀後後,打開微氧氧分析儀儀電源進進行測試試。c、測試時依依微氧分分析儀測測試數值值的狀況況,同時進行行測試與與Purge直到測試試值達到到標準數數值(50PPB)以下,才合格。。a、需測試姞姞果記錄錄於微氧氧分析測測試記錄錄表,以作日後後追溯與識別別用的。。347、水份分析析測試程序序注注意意事事項項選用氣體清淨管路測試結束YESNOa、使用氣體體氧分純純度必須須50PPB以下或經經過純化化器濾過過氮氣或同同等純度度之氣體體。a、將測試管管路或盤盤面進氣氣孔接上上氣源,將測試管管路或盤盤面所有,所有閥件件全部打打開。b、使用設計計壓力氣氣源來Purge測試之盤盤面管路路。c、此Purge程序需維維持30分鐘以上上。a、氣體管路路於銜接接水份分分析儀SENSOR前,必須將銜銜接測試試管路Purge5分鐘,讓銜接測測試管路路內之水水份隨Purge氣體流出。b、並聯氣體體管路之之出氣口口至水份份分析儀儀SENSOR樣品取樣樣進氣口。。(注意:氣體管路路之出氣氣口銜接接水份分分析儀SENSOR時,Purge氣體必須須在流通通的狀況況下,且水份分分析儀必須在在開機的的狀況下下)c、測試時依依水份分分析儀測測試數值值的狀況況,同時進行行測試與與Purge直到水份份分析儀儀測試值值達到標標準數值值(10PPB)以下。a、需將測試試結果記記錄於水水份分析析測試記記錄表上上，以作作日後追溯溯與識別別用。35工安安規規範範一般守守則則a、請於施工工前五天天向工安安部申請請施工許許可。b、不可可將逃指指示燈及及緊急照照明燈取取下使用用。c、工作作中不可可穿拖鞋鞋、高跟跟鞋及赤赤腳。d、遇停停電時，，不得亂亂跑或喧喧嚷，應應先立於於原地不不動；再再依規定定方法離離開現埸埸。e、地上上濺有油油漬應立立即除去去。f、電器器開關、、消防設設施附近近不可擺擺放物品品。g、攀爬爬過程中中禁止踐踐踏管線線以免管管線破裂裂。h、工作作時要配配戴個人人必須之之安全防防護具，，並選擇擇最安全全之工作作方法。。i、各項項作業應應依循標標準作業業程序，，不可擅擅自更改改作業程程序。j、對於於施工環環境認知知不足或或工作執執行有困困難、疑疑問時應應先請示示工程監監督單位位。k、施工工許可/動火許可可單應留留置工作作現場隨隨時備查查。l、進入入廠區工工作應配配戴工作作證m、進入入無塵室室內應依依工程監監督單位位穿戴潔潔淨服，，在FAB一樓應穿穿鞋套。。361、吊裝作業業注意事事項a、工作區域域應標示示禁止人人員通過過，並有有專人在在現場指指揮作業業。b、吊掛掛作業人人員應具具法定合合格執照照。c、作業業前應對對吊索、、吊鍊、、吊環、、吊鉤等等進行檢檢查，確確定正常常方可開開始作業業。d、起吊吊物不得得越過人人員上方方。e、起吊吊物不可可超過負負載。f、吊鉤鉤應盡量量移掛於於起重物物重心之之上。g、不可可以單索索吊等不不穩定方方法起吊吊。h、起吊吊長形物物或不安安定物料料時，應應使用導導引索，，並以安安全的方方法操作作。2、高空作業業注意事事項a、高處作業業應使用用安全帶帶、安全全索、安安全鞋、、安全帽帽及其它它必需之之安全防防護具。。b、高處處作業應應防止工工具、材材料落下下傷人。。c、不可可將兩架架梯連接接當長梯梯使用。。d、上下下梯子應應面向梯梯子，以以雙手扶扶梯。e、梯子子應避免免置於入入口，否否則門應應加鎖。。f、金屬屬梯不可可靠近電電氣設施施以防止止漏電。。37g、使用架空空板、鷹鷹架及梯梯子應先先檢查確確定安全全後方可可使用。。h、遇有有大雨等等惡劣天天候應停停止工作作。i、施工工區域應應作標示示，並注注意地面面行人安安全。3、動火作業業注意事事項a、需於施工工前三天天向工安安部申請請動火許許可。b、應於於施工現現場備妥妥滅火器器方可正正式動火火。c、搬運運電焊機機應切斷斷電源。。d、在高高處電焊焊時應設設置防制制他人從從下方通通過。e、不得得在易燃燃易爆物物附進近近從事電電焊作業業。f、在潮潮濕地點點從事電電焊作業業時，應應穿著絕絕緣良好好之安全全鞋。g、應穿穿著防護護衣、手手套及護護目鏡。。h、搬運運氣體鋼鋼瓶應將將瓶閥關關閉，並並用鐵鍊鍊條繫牢牢，嚴禁禁棄置地地面。i、按照照正常程程操作，，防