-.z.如何向劃片去離子水加CO2我們用DAD321劃片，最近有些品種的芯片劃片時(shí)清洗不干凈，因此想加CO2試試。請問如何加？加多少？哪里有這樣的設(shè)備？加ＣＯ２主要是防ＥＳＤ的,另外３００－５００的設(shè)置太小了，酸性太高了，小心切割的時(shí)候遇到Ｏ化物比擬多，并且無保護(hù)層的產(chǎn)品，ＰＡＤ會(huì)腐蝕加co2只能是防靜電，和清洗沒關(guān)系的，看看你們的DIwater有沒有問題，還有水流量大小。首先確保所用的純水質(zhì)量,一般要求除掉鹽分制成電阻率16M以上的水，要求高的需要18M以上，不含任何雜質(zhì)的理論純水電阻率在18.24M。水主要靠溶解在水中的鹽離子導(dǎo)電，水越純電阻率越高，導(dǎo)電性越差，高速?zèng)_擊下越容易產(chǎn)生靜電。靜電對(duì)于芯片加工的危害主要表現(xiàn)在兩方面：1是靜電直接放電損傷芯片,靜電積累放電造成放電氧化或擊穿;2是硅屑等微粒產(chǎn)生靜電吸附造成芯片外表不容易清洗干凈。

CO2參加純水可降低純水電阻率，防止靜電產(chǎn)生。烘干后，CO2變成氣體揮發(fā)掉，芯片外表保持純潔,但是CO2過量參加水中會(huì)產(chǎn)生酸性腐蝕，影響刀片壽命，因此必須嚴(yán)格控制CO2的參加量。

一般切片過程，將水電阻率控制在0.5-1M，低于0.4容易腐蝕刀片，同時(shí)注意0.5的用氣量是1.0的5倍,清洗時(shí)控制在0.2-0.5M。所以如何控制電阻率，是在保證效果的情況下盡量高,清洗電阻率通常控制在0.2-0.5，看效果也是電阻率設(shè)置越高越省,氣純度99.95以上，幾十塊一瓶，一般可以用半個(gè)月到1個(gè)月。2.水溫對(duì)刀蠻有影響的吧，刀痕會(huì)有深淺；還有氧化問題。對(duì)沾污可能沒有直接關(guān)系，摟住的溫度和我們差不多，機(jī)器速度也差不多，不過水壓和我們比好似低了點(diǎn)〔記不清楚了〕。

DIWater和CO2混合使用在DIeSaw制程。主要是降低溫度，減少水分子外表力，增加刀片的壽命！

我是Diamaflow產(chǎn)品的銷售，它其實(shí)和DiWater,CO2一起使用！效果是比擬理想的！純水高阻抗會(huì)引起的靜電效應(yīng)問題！參加CO2，可降低電阻率，同時(shí)也

會(huì)產(chǎn)生酸性。要根據(jù)實(shí)際情況來設(shè)置DIWater的水阻值！可以有效防止wafer外表硅屑沾污＋ＣＯ２主要是為了產(chǎn)品不受到或者少受到靜電影響其他也沒什么大的作用，，其實(shí)不加也沒什么問題，做好工作臺(tái)接地，設(shè)備接地，人員ＥＳＤ防護(hù)裝備等，對(duì)現(xiàn)在中國加工的９０％以上的產(chǎn)品沒有任何影響，，

加大水壓水流量調(diào)整好設(shè)備切割噴水角度．控制切割水溫度．才是最好最省錢最直接的解決切割的純水電阻值多少才適宜請教大家切割的純水電阻值多少才適宜,是越大越好嗎.我司的純水電阻值到達(dá)14兆了，對(duì)晶圓切割和刀片有不良影響嗎.近期切割的園片有氧化現(xiàn)象,跟水的電阻值有關(guān)嗎,還與什么有關(guān)"產(chǎn)生氧化的原因可能是晶片上的水分沒吹干凈，不知道你們無塵車間的濕溫管控如何？純水電阻國家標(biāo)準(zhǔn)是不低于10MΩ。有一些弱酸性，接近中性。

是普通水通過一系列滲透后制成，目的是去除水中的金屬離子等雜質(zhì)。一般切割的純水要求〉10〔在未參加co2)的結(jié)果，參加co2后才能去切割，阻值在左右為比擬適宜，你反映的問題有可能是在切割過程中，水量缺乏，導(dǎo)致硅粉沉積在鋁墊上的結(jié)果，加上清洗機(jī)的清洗效果不好，所以檢查為氧化的問題，所以應(yīng)該檢查的問題較多，應(yīng)該每一步驟進(jìn)展分析及追查我們切割的產(chǎn)品現(xiàn)在有時(shí)有輕微氧化,在水質(zhì)4兆多是沒氧化,在水質(zhì)到達(dá)8兆多時(shí)又有氧化,切割時(shí)間也才20分鐘啊,片厚500um.氧化的問題真的煩人啊,難道真的是與水有關(guān)嗎.但問過搞品質(zhì)的又說應(yīng)是wafer在流線時(shí)沒弄干凈.有的公司會(huì)用到發(fā)泡機(jī),就是在diesaw前往DIwater中混入二氧化碳,以降低水阻值.

未參加二氧化碳的DIwater一般要求水阻值大于10M歐姆,參加二氧化碳后的DIwater水阻值一般要求在0.1--1.0M歐姆.水處理常見問題集水處理常見問題集

水處理中經(jīng)常碰到一些問題，稍不留心又忽略，下面小弟特把這些問題收集整理，以供有興趣的你學(xué)習(xí)。

什么是水的硬度"

水中有些金屬陽離子，同一些陰離子結(jié)合在一起，在水被加熱的過程中，由于蒸發(fā)濃縮，容易形成水垢，附著在受熱面上而影響熱傳導(dǎo)，我們抒水中這些金屬離子的總濃度稱為水的硬度。如在天然水中最常見的金屬離子是鈣離子〔Ca2+〕和鎂離子〔Mg2+〕，它與水中的陰離子如碳酸根離子〔CO32-〕、碳酸氫根離子〔HCO3-〕、硫酸根離子〔SO42-〕、氯離子〔CL-〕、以及硝酸根離子〔NO3-〕等結(jié)合在一起，形成鈣鎂的碳酸鹽、碳酸氫鹽、硫酸鹽、氯化物、以及硝酸鹽等硬度。水中的鐵、錳、鈄等金屬離子也會(huì)形成硬度，但由于它們在天然水中的含量很少，可以略去不計(jì)。因此，通常就把Ca2+、Mg2+的總濃度看作水的硬度。水的硬度對(duì)鍋爐用水的影響很大，因此，應(yīng)根據(jù)各種不同參數(shù)的鍋爐對(duì)水質(zhì)的要求對(duì)水進(jìn)展軟化或除鹽處理。水的硬度有哪幾種？

水的硬度分為碳酸鹽硬度和非碳酸鹽硬度兩種。

碳酸鹽硬度

主要是由鈣、鎂的碳酸氫鹽[Ca(HCO3)2、Mg(HCO3)2]所形成的硬度，還有

少量的碳酸鹽硬度。碳酸氫鹽硬度經(jīng)加熱之后分解成沉淀物從水中除去，故亦稱為暫時(shí)硬度。

非碳酸鹽硬度

主要是由鈣鎂的硫酸鹽、氯化物和硝酸鹽等鹽類所形成的硬度。這類硬度不能用加熱分解的方法除去，故也稱為永久硬度，如CaSO4、MgSO4、CaCl2、MgCl2、Ca(NO3)2、Mg(NO3)2等。

碳酸鹽硬度和非碳酸鹽硬度之和稱為總硬度。

水中Ca2+的含量稱為鈣硬度。

水中Mg2+的含量稱為鎂硬度。

當(dāng)水的總硬度小于總堿度時(shí)，它們之差，稱為負(fù)硬度。

什么是半逆流再生"

半逆流再生是四床五塔式除鹽系統(tǒng)，離子交換處理的工藝流程為：陽床-脫碳-陰床-陽床-陰床。陰、陽樹脂均為強(qiáng)堿、強(qiáng)酸性交換樹脂。第一臺(tái)陽床及陰床裝有較多的樹脂，可根本上除去所有的離子；第二臺(tái)陽床及陰床的樹脂較少，起精制作用。再生時(shí)，酸、堿再生液分別先進(jìn)入第二臺(tái)陰、陽床，再串聯(lián)至第一臺(tái)的陰、陽床進(jìn)展再生。各臺(tái)交換器均采用順流再生，操作較簡便。此法具有分層再生的意思，由于樹脂失效時(shí)，其型態(tài)排列陽床為：Ca型-Mg型-Na型-H型，當(dāng)再生時(shí)按其反方向進(jìn)展，即H型-Na型-Mg型-Ca型，這樣的再生效率較高，因?yàn)镠置換出Na，又可以繼而置換出Ca、Mg。因此，大大減輕屯由H來置換的負(fù)擔(dān)，取得了逆流再生相似的效益，故稱為半逆流再生。此法適用于含鹽量較高的除鹽水處理。便投資較大，設(shè)備較多。

何謂離子水"

何謂離子水？安康離子水即電解復(fù)原堿性離子水的簡稱.它是適合人體機(jī)能的最正確飲用水，它能幫助排除人體的各種有害毒素，中和體的酸性物質(zhì)，調(diào)節(jié)人體的酸堿度，使之維持在弱堿性的安康體質(zhì)，從而可以預(yù)防各類疾病的產(chǎn)生，保障人體的安康，活力，長壽，離子水的根本原理是：自來水通過高品質(zhì)的過濾系統(tǒng)，去除水中的氯，有害菌類及鐵銹等雜質(zhì)，再經(jīng)過電解生成堿性離子水和酸性離子水，并把大水分子團(tuán)分割成小水分子團(tuán)，增強(qiáng)了水的活性、滲透力及溶解力。何謂水的電阻率"

在測定水的導(dǎo)電性時(shí)，與水的電阻值大小有關(guān)，電阻值大，導(dǎo)電性能差，電阻值小，導(dǎo)電性能就良好。根據(jù)歐姆定律，在水溫一定的情況下，水的電阻值R大小與電極的垂直截面積F成反比，與電極之間的距離L成正比，如下式：R=ρ?L/F式中ρ--電阻率，或稱比電陰。電陰的單位為歐姆〔歐，代號(hào)Ω〕，或用微歐〔μΩ〕，1Ω等于1000000μΩ；電阻率的國際制〔SI〕單位為歐米〔Ω?m〕。如果電極的截面積F做成1cm2，兩電極間的距離L為1cm，則電阻值就等于電阻率。水的電阻率的大小，與水中含鹽量的大小、水中離子濃度、離子的電荷數(shù)以及離子的運(yùn)動(dòng)速度有關(guān)。因此，純潔的水電阻率很大，超純水電阻率就更大。水越純，電阻率越大。

什么是水中的懸浮物質(zhì)？

水中的懸浮物質(zhì)是顆粒直徑約在0.0001mm以上的顆粒。肉眼可見。這些微粒主要是由泥沙、沾土、原生動(dòng)物、藻類、細(xì)菌、病毒、以及高分子有機(jī)物等組成，常常懸浮在水流之中，水產(chǎn)生的渾蝕現(xiàn)象，也都是由此類物質(zhì)所造成。這些微粒很不穩(wěn)定，可以通過沉淀和過濾而除去。水在靜置的時(shí)候，重的微粒〔主要是砂子和粘土一類的無機(jī)物質(zhì)〕會(huì)沉下來。輕的微粒〔主要是動(dòng)植物及其殘骸的一類有機(jī)化合物〕會(huì)浮于水面上，用過濾等別離方法可以除去。懸浮物是造成濁度、色度、氣味的主要來源。它們在水中也不穩(wěn)定，往往隨著季節(jié)、地區(qū)的不同而變化。

什么是水中的膠體物質(zhì)？

水中的膠體物質(zhì)是指直徑在0.0001-0.000001mm之間的微粒。膠體是許多分子和離子集合物。天然水中的元機(jī)礦物質(zhì)膠體主要是鐵、鋁和硅的化合物。水中的有機(jī)膠體物質(zhì)主要是植物或動(dòng)物的肢體腐爛和分解而生成的腐殖物。其中以湖泊水中的腐殖質(zhì)含量最多，因此常常使水呈黃綠色或褐色。

由于膠體物質(zhì)的微粒小，重量輕，單位體積所具有的外表積很大，故其外表具有較大的吸附能力，常常吸附著多量的離子而帶電。同類膠體因帶有同性的電荷而相互排斥，它膠在水中不能相互粘合而處于穩(wěn)定狀態(tài)。所以，膠體顆粒不能藉重力自行沉降而去除，一般是在水中參加藥劑破壞其穩(wěn)定，使膠體顆粒增大而沉降予以去除。什么是水中的溶解物質(zhì)？

水的溶解物質(zhì)是直徑小于或等于0.000001mm的微小顆粒。主要是溶于水中的以低分子存在的溶解鹽類的各種離子和氣體。溶解物質(zhì)可以用離子交換或除鹽等方法予以去除。

水中的有機(jī)物質(zhì)是指什么？

水中的有機(jī)物質(zhì)主要是指腐殖酸和富里酸的聚羧酸化合物、生活污水和工業(yè)廢水的污染物。其中前者多官能團(tuán)芳香族類大分子的弱性有機(jī)酸，占水中溶解的有機(jī)物質(zhì)95%以上。腐殖物質(zhì)是水生物一類的生命活動(dòng)過程的產(chǎn)物。生活污水主要是人體排泄物和垃圾廢物。各種工業(yè)廢水中的有機(jī)物有動(dòng)植物纖維、油脂、糖類、染料、有機(jī)酸、各種有機(jī)合成的工業(yè)制品、有機(jī)原料等。這些有機(jī)物污染著水體，并使水質(zhì)惡化。有機(jī)物對(duì)水體有什么危害？

水在的有機(jī)有個(gè)共同特點(diǎn)，就是要進(jìn)展生物氧化分解，需要消耗水中的溶解氧，而導(dǎo)致水中缺氧。同時(shí)會(huì)發(fā)生腐敗發(fā)酵，使細(xì)菌滋長，惡化水質(zhì)，破壞水體；工業(yè)用水的有機(jī)污染，還會(huì)降低產(chǎn)品的質(zhì)量。有機(jī)物質(zhì)是引起水體污染的主要原因之一。

什么是水的總固體、溶解固體和懸浮固體？

水中除了溶解氣體之外的一切雜質(zhì)稱為固體。而水中的固體又可分為溶解固體和懸浮固體。這二者的總和即稱為水的總固體。溶解固體是指水經(jīng)過過濾之后，那些仍然溶于水中的各種無機(jī)鹽類、有機(jī)物等。懸浮固體是指那些不溶于水中的泥砂、粘土、有機(jī)物、微生物等懸浮物質(zhì)。總固體的測定是蒸干水分再稱重得到的。因此選定蒸干的溫度有很大的關(guān)系，一般規(guī)定控制在105-110℃。

水的含鹽量〔也稱礦化度〕是表示水中所含鹽類的數(shù)量。由于水中各種鹽類一般均以離子的形式存在，所以含鹽量也可以表示為水中各種陽離子的量和陰離子的量的和。

水的含鹽量與溶解固體的含義有所不同，因?yàn)槿芙夤腆w不僅包括水中的溶解鹽類，還包括有機(jī)物質(zhì)。同時(shí)，水的含鹽量與總固體的含義也有所不同，因?yàn)榭傄蛐莶粌H包括溶解固體，還包括不溶解于水的懸浮固體。所以，溶解固體和總固體在數(shù)量上都要比含鹽量高。但是在不很嚴(yán)格的情況下，當(dāng)水比擬清凈時(shí)，水中的有機(jī)物質(zhì)含量比擬少，有時(shí)候也用溶解固體的含量來近似地表示水中的含鹽量。當(dāng)水特別清凈的時(shí)候，懸浮固體的含量也比擬少〔如地下水〕，因此有時(shí)也可以用總固體的含量來似表示水中的含鹽量。

什么叫滲析？什么叫電滲析？

滲析是屬于一種自然發(fā)生的物理現(xiàn)象。如將兩種不同含鹽量的水，用一滲透膜隔開，就會(huì)發(fā)生含鹽量大的水的電介質(zhì)離子穿過膜向含鹽量小的水中擴(kuò)散，這個(gè)現(xiàn)象就是滲析。這種滲析是由于含鹽量濃度不同而引起的，稱為濃差滲析。滲析過程與濃度差的大小有關(guān)，濃差越大，參析的過程越快，否則就越慢。因?yàn)槭且詽獠钭鳛橥苿?dòng)力的，因此，擴(kuò)散速度始終是比擬慢的。如果要加快這個(gè)速度，就可以在膜的兩邊施加一直流電場。電解質(zhì)離子在電場的作用下，會(huì)迅速地通過膜，進(jìn)展遷移過程，這就稱為電滲析。滲析膜是用高分子材料制成的一種薄膜，上面有離子交換活性基團(tuán)。膜含有酸性活性基團(tuán)的稱為陽膜；如有堿性活性基團(tuán)的稱陰膜。從膜的構(gòu)造上分，又可分為異相膜、均相膜、半均相膜三種。什么是水的渾濁度？

由于水中含有懸浮及膠體狀態(tài)的微粒，使得原來無色透明的水產(chǎn)生渾濁現(xiàn)象，其渾濁的程度稱為渾濁度。渾濁度的單位是用度來表示的，就是相當(dāng)于1L的水中含有1mg.的SiO2〔或是非曲直mg白土、硅藻土〕時(shí)，所產(chǎn)生的渾濁程度為1度，或稱杰克遜。濁度單位為JTU，1JTU=1mg/L的白土懸浮體。現(xiàn)代儀器顯示的濁度是散射濁度單位NTU，也稱TU。１TU＝１JTU。最近，國際上認(rèn)為，以烏洛托品－硫酸肼配制濁度標(biāo)準(zhǔn)重現(xiàn)性較好，選作各國統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)FTU。１FTU＝１JTU。渾濁度是一種光學(xué)效應(yīng)，是光線透過水層時(shí)受到阻礙的程度表示水層對(duì)于光線散射和吸收的能力。它不僅與懸浮物的含量有關(guān)，而且還與水中雜質(zhì)的成分、顆粒大小、形狀及其外表的反射性能有關(guān)。控制渾濁度是工業(yè)水處理的一個(gè)重要容，也是一項(xiàng)重要的水質(zhì)指標(biāo)。根據(jù)水的不同用途，對(duì)渾濁度有不同的要求，生活飲用水的渾濁度不得超過５度；要求循環(huán)冷卻水處理的補(bǔ)充水渾濁度在２～５度；除鹽水處理的進(jìn)水〔原水〕渾濁度應(yīng)小于３度；制造人造纖維要求水的渾濁度低于0.3度。由于構(gòu)成渾濁度的懸浮及膠體微粒一般