自動鍍膜控制裝置使用說明書

ACS

(Gener)

OptorunCo.,Ltd.Japan

350-0801

10-1TakenoKawagoeSaitama-Ken

目錄

TOC\o"1-3"\h\z

開始…

1

術語

2

改版履歷

3

第1章 基本操作

4

1.1. 計算機及系統的起動

4

1.1.1. 計算機的起動

4

1.1.2. 系統的起動

4

1.2. 系統ACS及計算機的關閉

4

1.2.1. 系統的關閉

4

1.2.2. 計算機的關閉

4

1.3. 主操作畫面

5

1.3.1. 文件選擇部分

6

1.3.2. 設定部分

7

1.3.3. 命令項目部分

7

1.3.4. 電子槍控制部分

8

1.3.5. 維護部分

8

1.3.6. 確認部分

9

1.4. ACS文件夾構造

10

第2章 工藝文件

11

2.1. 預熔工藝文件

11

2.1.1. 文件部分

11

2.1.2. 參數部分動作條件

12

2.1.3. 參數EB放射電流控制

12

2.1.4. 參數BeamRotation

13

2.1.5. 參數CUP指定

13

2.1.6. 命令部分

14

2.2. 成膜參數文件

14

2.2.1. 命令部分

15

2.2.2. Barch參數

15

2.2.3. 各層參數

16

2.2.4. Material(Hi)、Material(Lo)

18

2.2.5. IBS

23

2.3.參照Log文件時的操作

23

第3章 材料預熔

24

3.1.參數

25

3.2.處理狀態

25

3.3.EB微調整

25

3.4.Cup狀態

26

第4章 成膜

26

4.1. 成膜處理流程

26

4.2. GP-IB連接器的接續試驗

26

4.3.復原動作的選擇

27

4.4.確認監控片位置

28

4.5.確認TOGGLESWITCH

28

4.6.Filamentanneal

29

4.7.確認成膜開始條件

29

4.8.離子槍暖機

30

4.9.單色儀的初期化

30

4.10.設定離子槍參數

31

4.11.指定層分的成膜

32

4.9.1.表示層處理狀態

33

4.9.2.光量處理關聯

33

4.9.3.各層參數

34

4.9.4.表示各圖表

35

4.9.5.成膜等的設定變更部分

36

第5章監控片測試

40

第6章水晶傳感器檢測

41

第7章維護

42

7.1.維護參數的種類

42

7.2.維護時期的管理

42

7.3.進展條的設定方法

42

第8章異常處理

43

8.1.異常發生時的操作

43

8.2.異常的種類及原因

43

8.3.異常終了時的操作

44

開始…

本使用說明書講述了使用自動鍍膜程序（以后稱為ACS）時必要的操作方法及使用時的注意事項。

本書的使用對象

使用ACS進行鍍膜的用戶

管理ACS鍍膜數據的管理人

注

本使用說明書記載了使用ACS時的必要情報。

使用前請認真讀完本使用說明書并充分理解。讀完該書后也請好好保管本書,隨時放在手邊以便使用。

術語

本使用說明書中用詞的含義,參看下解。

材料預熔

蒸鍍高折射率材料前作準備工作,稱為材料預熔。

EB表示電子槍

GL表示離子槍

ACS本說明書所說明的軟件。

材料預熔數據文件

是指ACS在實行材料預熔時使用的參數文件，為Excel格式的文件。

成膜工藝數據文件

ACS進行自動鍍膜時使用的鍍膜參數文件,為Excel格式的文件。

印刷記錄文件

每層的開始，結束，極值時的狀態記錄保存文件。

圖表記錄文件

每秒的狀態記錄保存文件。

改版履歷

改版號

改版日

改版內容

Rev.1.0

2006年9月

初版

基本操作

本章描述了系統使用時必要的基本操作方法。

計算機及系統的起動

計算機的起動

要使用系統,必須先起動計算機。

操作方法

請按下CRT及其計算機的電源開關。

電源開關打開后,請根據畫面指示進行操作。

系統的起動

計算機起動并登錄系統后,就能起動ACS了。

操作方法

如圖1的D-①所示雙擊桌面的ACS快捷圖標能起動ACS。

系統ACS及計算機的關閉

系統的關閉

關閉計算機前，必須先將系統ACS關閉。

操作方法

在主操作畫面上，點擊退出處。系統ACS關閉。

計算機的關閉

系統ACS關閉后，可關閉計算機。

操作方法

從桌面畫面表示的開始菜單的項目中，選擇關機項。之后請根據畫面指示進行操作。

此外，ACS系統起動中，裝置如感知到停電時，會自動關閉系統后關閉計算機。

主操作畫面

系統起動后，出現以下主操作畫面。

⑥

⑤

④

③

②

①

主操作畫面分為以下幾個領域。

文件選擇部分：進行預溶和成膜時選擇文件的部分。

設定部分：進行預溶和成膜動作設定。

命令項目部分：進行預溶和成膜動作開始及ACS關閉。

電子槍：調整控制電子槍。

維修部分：起動各機械的使用時間表示和使用時間抹除畫面。

檢查部分：起動進行水晶和監控玻璃檢查的畫面。

文件選擇部分

指定成膜的膜層號

表示選擇預熔的文件名

表示選擇成膜的文件名

選擇預熔文件

取消選擇的預熔文件

選擇成膜文件

取消選擇的成膜文件

選擇文件

點擊“預溶““成膜“的選擇項，出現以下畫面。

設定部分

進行ACS動作相關設定。

指定離子槍的電子束暖機時間

實行電子槍燈絲退火時請打勾,未打勾時,不實行電子槍退火..

離子槍使用時請打勾

省略鎖相放大初始化時請打勾

省略分光器時請打勾

設定FilamentAnel時間

要記錄保存請打勾

成膜結束時關閉離子槍時,請打勾.

成膜結束時要保持真空狀態,未打勾時候,進行放氣處理.

用試驗模式(EB的放射電流為0)時請打勾.

命令項目部分

ACS結束。

預熔成膜開始。

可輸入作業者名。

可輸入注釋。

“Lot號”，“作業者名“，“注釋“將保存在印刷Log文件中。指定“Lot號”時，這個“Lot號“為Log文件名。沒有指定“Lot號”時，工藝名為Log文件名。

電子槍控制部分

在主操作畫面的“電子槍“部分進行電子槍控制。

Emission的SV是設定值，PV表示實際的輸出值。

其他，可以掃描，變更位置數值，確認EB的動作狀態。

維護部分

在維修部分可以確認各機器的使用時間。使用時間為紅色的地方是使用時間超過允許值的意思。

使用時間的初期化，允許值的設定可點擊維修部分的Set按鍵，出現以下畫面。

確認部分

表示監控玻璃測試畫面（第5章參照）

表示水晶傳感器確認畫面（第6章參照）

確認部分分有監控玻璃的試驗畫面，水晶傳感器確認畫面、設定是否使用Recorder。

ACS文件夾構造

圖1文件夾構造

ACS文件夾：ACS的文件夾。通常在CDrive下。

SYS文件夾：保存運作ACS的環境文件。

LOG文件夾：保存LOG動作文件夾。有以下的文件夾存在。

Batch:可以了解每個Batch的動作概要。

Err：可以記錄每個Batch發生的報警。

Melting：保存自動預熔的動作Log。

Process：保存自動成膜的動作Log文件夾。有以下的文件夾存在。

Graph文件夾：EB擋板從打開到關閉間每秒的Log。

PrintOUT：每層的開始，結束及極值時的Log。

DATA文件夾：預熔用及成膜工藝文件的文件夾。有以下的文件夾存在。

Melting：保存CUP用預溶工藝文件。

Process：保存成膜工藝文件。

工藝文件

ACS系統使用預熔工藝文件和成膜工藝文件。

預熔工藝文件

預熔參數文件分為5部分。

文件部分：Name的地方指定的名稱為文件名。

參數指定部分：指定各參數。

預溶指定部分：在每個坩堝指定進行預溶的CUP。Hearth1為環狀坩堝，Hearth1的指定無效。

備考欄：表示輸入范圍等。

命令：進行保存，檢查等。

文件部分

評語欄

文件名

圖3預熔參數：文件部分

參數部分動作條件

指定預熔開始和AC的允許范圍等。

指定壓力上限

指定EB的允許范圍

指定開始壓力

指定實行時間的允許范圍.

參數EB放射電流控制

EB放射電流控制部分有以下參數。

RT:指定EB反射電流到達HP指定的放射電流的時間。

HT：指定HP指定的放射電流值保持時間。

HP:指定EB放射值。

XS：指定X掃描值。

YS：指定Y掃描值。

BR：有無使用BeamRotation，及指定種類號。（off是沒有Rotation的意思）

這些參數最大可指定到7個階段。另外，有10種Pattern可以設定。如XS,YS使用BeamRotation

時，在此指定的數值無效。使用在BeamRotation處指定的掃描值。

Copy按鈕表示的Pattern復印到儲存器中。

Paste按鈕將Copy的Pattern粘貼到現在表示的Pattern號處。

參數BeamRotation

BeamRotationEB的Beam最大可在12個位置循環照射。可以指定最大6Pattern。

各參數表示的意思。

StayTime：Beam在位置停留時間。

Locationnumber：指定Beam位置從1號到幾號循環照射。

Xp：指定X方向位置。

Yp：指定Y方向位置。

Xs：指定X掃描。

Ys：指定X掃描。

CircleLocation

點擊此處以在Radius處指定的半徑讓Locationnumber處指定位置為正多角形自動設定Xp,Yp。

參數CUP指定

命令部分

成膜參數文件

成膜參數文件分為4個部分

命令部分：進行文件保存。

注意：文件保存必須使用按鈕。

Sheet選擇部分：可以交換4個Sheet。

Process,Material(Hi),Material(Lo)，IBS。

各層的參數：指定每層的參數。

Batch參數：指定成膜開始壓等Batch全體相關的參數。

命令部分

Barch參數

各層參數

Material(Hi)、Material(Lo)

Step6

BeamRotation最大可以指定到8。使用BeamRotation時掃描值為BeamRotation的掃描值。

阻蒸加熱在使用BeamRotation時無相關參數。

IBS

2.3.參照Log文件時的操作

材料預熔以及鍍膜可以參照使用記錄下來的各種Log文件的內容,備忘錄等的程序。

操作方法

在備忘錄等的文本編輯程序處打開欲參照的文件。

文件的內容被顯示?

再者,各Log文件生成的路徑如下

Batch

C:\ACS\Log\Batch

預熔

C:\ACS\Log\Melting

成膜

C:\ACS\Log\Process\Printout

C:\ACS\Log\Process\Graph

錯誤

C:\ACS\Log\ERR

材料預熔

在主操作畫面選擇“預溶文件”的狀態，點擊開始按鈕，開始進行預溶。

⑤

④

③

②

①

上圖為預熔實行畫面。

預溶實行畫面由5個領域構成。

參數：表示在溶文件中指定的參數。

裝置處理：表示現在的處理狀態。

圖表：用圖表表示真空度和EB放射電流。

EB微調整：表示EB的設定變更和現在值。

Cup狀態：用Cup號可確認該Cup的預溶實施狀態。

3.1.參數

表示預熔文件指定的真空度上限值。

表示預熔文件指定的開始真空度。

表示剩余的要熔藥的CUP數

表示預熔文件的名稱

3.2.處理狀態

現在的真空度表示

預熔中點燈為綠色

確認真空度中點燈為綠色。

坩堝旋轉中點燈為綠色。

超過現在真空度上限值是點燈為綠色。

表示預熔處理經過時間

3.3.EB微調整

表示現在的EB設定值。上下按鈕可以暫時變更設定，從處理階段進入下一個階段時，Emi.和掃描（X-S,Y-S）的設定為預溶文件的設定值。

在此變更過X-P、Y-P的設定在預溶處理結束后，返回原來的設定值。

3.4.Cup狀態

Cup的預溶狀態或在預溶中的Cup號。

用顏色表示Cup的狀態。

黃：預溶結束的Cup。

紅：等待預溶的Cup。

藍:不進行預溶的Cup。

成膜

在主操作畫面選擇“成膜文件”的狀態，點擊開始按鈕，開始進行成膜。“預熔文件”也一起選擇時，先進行預溶。

成膜處理流程

以下為成膜處理順序。

GP-IB連接器的接續試驗

復原動作的選擇

確認監控玻璃位置

確認TOGGLESWITCH

Filamentanneal（省略可能）

確認成膜開始條件

離子槍暖機（使用離子槍時）

單色儀，LOCK-IN放大器的初期化（省略可能）

離子槍設定（使用離子槍時）

指定層分的成膜

GP-IB連接器的接續試驗

實行GP-IB連接器的接續試驗。

ACS系統用GP-IB連接以下的機器。

HOM2-N（分光器）

HOM2-D（Lock-InAmp）

試驗開始時出現以下的窗口。機器沒有問題進入下一個處理階段。

4.3.復原動作的選擇

從下面3個機能中選擇需要機能。

全新的蒸鍍

成膜從１層開始進行時，選擇此機能。

從指定層開始蒸鍍

接前次的成膜繼續對指定層從新進行成膜時指定此處。

前次蒸鍍繼續

接前次的成膜繼續對指定層進行成膜時指定此處。

注：在多次停止層復原機能有可能不能正常動作。此時有必要確認此層是否正常成膜完了。

4.4.確認監控片位置

表示確認監控片位置的窗口。

要檢查監控片時，設定開始號碼和結束號碼，請按Test按鈕。在「相對位置指定」處打勾，指定的監控片在相對位置進行。確認設定，按Continue>>按鈕。

4.5.確認TOGGLESWITCH

確認TOGGLESWITCH的窗口。機器沒有問題進入下一個處理階段。

工件盤旋轉開關用PLC的觸屏面的TOGGLESWITCH自動進行工件盤旋轉。電子槍的各個電子槍控制INT-EXT

SWITCH為EXT。

4.6.Filamentanneal

在主操作畫面的設定“EBFilamentanneal”處打勾，Filamentanneal實行（如下圖）。

注意此處理真空度在3.98E-2Pa以下才可進行。PLC排氣動作手動時也不能進行此處理。排氣選擇自動模式。

4.7.確認成膜開始條件

確認在“成膜文件”處指定的成膜開始條件。

只有在試驗模式動作及復原時，顯示“Skip“按鈕。

條件成立后，自動進入下一個處理階段。

4.8.離子槍暖機

實行離子槍暖機處理。

此處理在主畫面上設定離子槍中「離子槍使用」項打勾時，才有效。否則不能實行。

離子源的暖機和電子束的暖機結束后自動進入下一個處理階段。處理過程中也可使用

跳過

強制跳過按鈕進入下一個處理階段。

4.9.單色儀的初期化

實行單色儀的初期化處理。此處理在主操作畫面設定處“分光器初期化省略”未打勾時可實行。

4.10.設定離子槍參數

設定離子槍參數。

此處理在主畫面上設定離子槍中「離子槍使用」項打勾時，才有效。否則不能實行。

到達指定參數時進入下一階段。

4.11.指定層分的成膜

⑦

⑥

⑤

④

③

②

①

成膜畫面分為以下部分。

表示層處理狀態

光量值處理關聯

各層的參數

表示各圖表

EB等的設定變更部分

接續機器的狀態表示部

動作按鈕部分

4.9.1.表示層處理狀態

4.9.2.光量處理關聯

表示現在的光量值

表示此層檢測出極值數。

雙擊此位置可表示在此層檢測出的極值一覽表。

控制方式選擇“比例”時，表示比例值。

表示預定停止的光量值

表示此層預定的極值數

4.9.3.各層參數

表示監控波長

表示初期光量值

表示初期光量變化方向

表示此層的控制方式，雙擊此處可以暫時切換到

“ManualStop”

表示material的名稱。

表示水晶膜厚控制時的膜厚。

表示成膜最大時間。

表示現在的膜厚。

表示設定比率。

表示成膜速度。

表示膜厚的上限值和下限值。

4.9.4.表示各圖表

縱軸光量變化顯示自動變更。

層終了預定時間

縱軸開始光量指定。按下OffSet更改設定

縱軸比例指定。按下GainSet更改設定

表示1層的光量變化。

使圖左右移動

表示需要的層號，按Enter表示。

表示現在成膜中的層。

表示此次成膜全層的光量變化。

真空度，EB放射電流，成膜比率

用圖表表示各層開始真空度和放射電流，Rate為擋板開后的圖表。

4.9.5.成膜等的設定變更部分

成膜

點擊“蒸鍍”處，出現下圖。

頻率表示現在的頻率。

點擊水晶換下一片按鈕，交換下一片水晶。

“排氣鎖定”打勾后，成膜結束后保持排氣狀態。未打勾時，成膜結束后進行破真空處理。

在此頁也可進行APC/MFC設定變更。

電子槍

點擊“電子槍”處，出現下圖。

EMI:變更放射電流值。

XP：變更X位置。

XS：變更X掃描值。

YP：表更Y位置。

YS：變更Y掃描值。

離子槍

點擊“離子槍”，出現下圖。

圖中Setting標簽之下的值為各離子槍參數的設定值。與此相鄰的Min和Max標簽之下的值為ACS所設定的相關值的最大最小范圍。ACS會監視相關的參數，如果超過此處表示的范圍，則意味著IBS工作狀態不正常，會由ACS給出警報。

被監視的參數有BeamCurrent,BeamVoltage和EmissionCurrent。

成膜速度

點擊“成膜速度”，出現下圖。

可變更成膜的設定比率。

點擊監視開始設定按鈕，從EB擋板開開始在指定的秒數后監視開始。

比率變化量監視機能使用時在此可指定其動作。

光學

點擊光學，表示下圖。

ACS系統，從光學膜厚計輸出得光量值數據處理進行“Optical”和“LightRatioPeak”控制。

為了監視這些控制方法是否正確進行控制，在這頁上表示以下監視項目。

光量逆行

光量值的變化方向為ACS所指方向時呈綠色，反之呈紅色。

光量變化過大

光量值的變化量比指定值多時呈紅色。

光量變化小

光量值變化極少時呈紅色。

極值數

極值的數比設定值多時呈紅色。

過載

光量太強時呈紅色。

最終光量未到達

此錯誤為以“LightRatioPeak”方式控制時，在到達指定的光量值前就檢出極值時發生。此錯誤發生時，ACS自動進入下一層。

發生以上的報警時，有2個方法可指定ACS的動作。

蜂鳴器響

出現錯誤時報警器蜂鳴報警。（成膜部中斷）

蒸鍍停止

指定此處時，中斷成膜。

連接器的狀態表示部

RC,UZ是在“蒸鍍工藝文件”中指定的不感帶和逆反的設定值。之下表示為HOM2-D的感度及HOM2-N的前置擴大器的設定值。

“薄膜指數”表示現在膜的薄膜指數。

連續器的狀態表示

分光器設定結束時點燈。

與PLC通信中點燈

監控片設定結束后點燈。

與XTC2通信中點燈

APC的流量值

APC的設定值

現在的真空度

分光器的濾波器位置

坩堝的CUP位置

監控片的設定位置

監控片的實際位置

水晶位置

電子槍的設定值

電子槍預備加熱時點燈

坩堝設定結束時點燈

工件盤旋轉設定結束后點燈

電子槍準備結束后點燈

動作按鈕部

擋板閉點擊按鈕結束現在的層，進入下一層。

點擊

停止按鈕，成膜暫時停止，表示報警畫面。操作者選擇繼續進行此層成膜或進入下一層。

第5章監控片測試

點擊主操作畫面上監控片測試表示以下畫面。

Check按鈕開始測試。測試結束后，未使用部分呈白色，使用部分呈黃色。

為了使測試正確進行，有必要事先設定作為基礎的監控片號碼及進行測試波長。

設定測試條件可在主畫面上一起按下Ctrl、Alt、Shift3個鍵同時點擊Check按鈕，表示Dialogbox。

在此可設定參數。

第6章水晶傳感器檢測

點擊主操作畫面水晶傳感器按鈕，表示以下畫面。

在此打勾，監視器一直監視設定號碼的頻率和壽命。

如各層開始時頻率低于設定頻率時，自動交換下一片水晶。

表示水晶壽命

設定水晶測試范圍

點擊檢測開始按鈕測試開始。測試結束后，好部分呈白色，不好部分呈黃色。另外，測試前的未測試部分呈灰色。

第7章維護

維護的范圍包括構成設備的部件及設備的管理。

7.1.維護參數的種類

維護的范圍包括

旋轉泵

羅茨機械泵

油擴散泵

工件盤旋轉機構

電子槍１及電子槍２的燈絲

燈泡

中和器

離子束

PenningGauge

7.2.維護時期的管理

前項各部品及設備的維護時期,顯示在主操作畫面的右下部分。可以參考該處。

該區域的進展條隨著各部件及設備的使用時間的增加而延伸。

又、進展條表示的各部分的最大延伸時間可以預先設定。

7.3.進展條的設定方法

設定維護時間

能設定進展條表示的最大時間。

操作方法

請點擊主操作畫面的“Ｓｅｔ“按鈕。維護畫面被表示。

請在各機器及部件的Ｓｅｔ欄,設定維護時間。

設定完了后,請點擊“ＯＫ“按鈕。

使用時間的重新設置

能將使用時間重新設置為“０”。

操作方法

請在主操作