標準解讀
《GB/T 12964-2003 硅單晶拋光片》標準相比于《GB 12964-1996》，主要在以下幾個方面進行了更新和調整：
-
范圍擴展：新標準可能對硅單晶拋光片的適用范圍進行了細化或拓展，以適應技術進步和市場需求的變化，涵蓋了更廣泛的硅單晶材料類型或增加了新的應用領域。
-
技術指標優化：針對硅單晶拋光片的物理、化學及電學性能指標進行了修訂，可能包括尺寸精度、表面粗糙度、晶體缺陷密度、電阻率均勻性等方面的更嚴格要求，以提升產品質量和一致性。
-
檢測方法改進：更新了檢測和測量方法，引入了更先進、精確的測試技術和設備，確保測試結果的準確性和可重復性。這可能涉及光學測量、掃描電子顯微鏡（SEM）、四探針法電阻率測量等方面的技術更新。
-
質量控制增強：加強了生產過程中的質量控制要求，可能新增或修訂了有關原材料篩選、生產環境、工藝控制、成品檢驗等方面的條款，以保證最終產品的高質量輸出。
-
標準結構與表述：對標準的結構進行了調整，使其更加條理化、清晰易懂。同時，更新了術語定義，采用國際通用標準語言，提高了標準的國際化水平，便于國內外企業遵循和交流。
-
環保與安全要求：隨著時代發展，新標準可能加入了環境保護和生產安全的相關要求，強調在硅單晶拋光片的制造過程中應遵循的環保規定和操作安全規范。
這些變化旨在適應科技進步、提升產品質量、促進產業升級，并與國際標準接軌，滿足全球市場的需求。
如需獲取更多詳盡信息，請直接參考下方經官方授權發布的權威標準文檔。
....
查看全部
文檔簡介
犐犆犛２９．０４５
犎８２
中華人民共和國國家標準
犌犅／犜１２９６４—２００３
代替ＧＢ／Ｔ１２９６４—１９９６
硅單晶拋光片
犕狅狀狅犮狉狔狊狋犪犾犾犻狀犲狊犻犾犻犮狅狀狆狅犾犻狊犺犲犱狑犪犳犲狉狊
２００３０６１６發布２００４０１０１實施
中華人民共和國發布
國家質量監督檢驗檢疫總局
書
中華人民共和國
國家標準
硅單晶拋光片
ＧＢ／Ｔ１２９６４—２００３
中國標準出版社出版發行
北京西城區復興門外三里河北街１６號
郵政編碼：１０００４５
ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｂｚｃｂｓ．ｃｏｍ
電話：６３７８７３３７、６３７８７４４７
２００３年１０月第一版２００４年１１月電子版制作
書號：１５５０６６·１１９８６８
版權專有侵權必究
舉報電話：（０１０）６８５３３５３３
書
犌犅／犜１２９６４—２００３
前言
本標準修改采用半導體設備和材料國際組織標準ＳＥＭＩＭ１—０９９７《硅單晶拋光片規范》中的有關
內容，對ＧＢ／Ｔ１２９６４—１９９６進行修訂而成的。主要在原標準的內容上增加了直徑２００ｍｍ直拉硅單
晶拋光片的內容。
本標準由中國有色金屬工業協會提出。
本標準由中國有色金屬工業標準計量質量研究所負責歸口。
本標準由北京有色金屬研究總院、洛陽單晶硅有限責任公司負責起草。
本標準主要起草人：翟富義、孫燕、董慧燕、盧立延、曹孜、孫文海。
本標準所代替標準的歷次版本發布情況為：
———ＧＢ／Ｔ１２９６４—１９９１、ＧＢ／Ｔ１２９６４—１９９６。
Ⅰ
書
犌犅／犜１２９６４—２００３
硅單晶拋光片
１范圍
本標準規定了硅單晶拋光片（簡稱硅拋光片）的必要的相關性術語、產品分類、技術要求、試驗方法、
檢測規則以及標志、包裝、運輸、貯存等。
本標準適用于直拉硅單晶研磨片經腐蝕減薄后進行單面拋光制備的硅拋光片。產品主要用于制作
集成電路等半導體器件或做為硅外延沉積的襯底。
２規范性引用文件
下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有
的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方研究
是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。
ＧＢ／Ｔ１５５０—１９９７非本征半導體材料導電類型測試方法
ＧＢ／Ｔ１５５２—１９９５硅、鍺單晶電阻率測定直排四探針法
ＧＢ／Ｔ１５５４—１９９５硅晶體完整性化學擇優腐蝕檢驗方法
ＧＢ／Ｔ１５５５—１９９７半導體單晶晶向測定方法
ＧＢ／Ｔ１５５８—１９８３測定硅晶體中代位碳含量的紅外吸收方法
ＧＢ／Ｔ２８２８—１９８７逐批檢查計數抽樣程序及抽樣表（適用于連續批的檢查）
ＧＢ／Ｔ４０５８—１９９５硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法
ＧＢ／Ｔ６６１６—１９９５半導體硅片電阻率及硅薄膜薄層電阻測定非接觸渦流法
ＧＢ／Ｔ６６１８—１９９５硅片厚度和總厚度變化測試方法
ＧＢ／Ｔ６６１９—１９９５硅片彎曲度測試方法
ＧＢ／Ｔ６６２０—１９９５硅片翹曲度非
溫馨提示
- 1. 本站所提供的標準文本僅供個人學習、研究之用，未經授權，嚴禁復制、發行、匯編、翻譯或網絡傳播等，侵權必究。
- 2. 本站所提供的標準均為PDF格式電子版文本（可閱讀打印），因數字商品的特殊性，一經售出，不提供退換貨服務。
- 3. 標準文檔要求電子版與印刷版保持一致，所以下載的文檔中可能包含空白頁，非文檔質量問題。
評論
0/150
提交評論