標準解讀

《GB/T 13387-1992 電子材料晶片參考面長度測量方法》是一項由中國發布的國家標準，旨在規定電子材料領域內晶片參考面長度的測量原則、程序和要求，以確保測量結果的準確性和可比性。該標準適用于半導體材料、集成電路基板等電子材料晶片參考面長度的測定。以下是該標準的主要內容概述：

  1. 范圍：明確了本標準適用的對象為電子材料晶片，特別是其參考面上的長度測量。參考面通常指晶片加工或特性評估中作為基準的平面。

  2. 術語和定義：對涉及的術語進行了明確界定，如晶片、參考面、長度等基本概念，確保了在執行測量時各方有統一的理解基礎。

  3. 測量原理：介紹了采用光學、電子顯微鏡或其他合適手段進行長度測量的基本原理，這些方法需保證非接觸、高精度且不對晶片造成損傷。

  4. 測量設備：詳細說明了用于測量的儀器設備應滿足的要求，包括但不限于分辨率、精度、重復性等技術指標，確保測量工具的可靠性。

  5. 樣品制備與處理：規定了晶片在測量前的準備步驟，如清潔、固定等，以避免外部因素干擾測量結果。

  6. 測量步驟：詳細闡述了測量過程中的具體操作步驟，包括如何定位參考點、選擇合適的測量區域、實施測量以及數據記錄等，確保測量流程的標準化。

  7. 數據處理與誤差分析：提供了數據處理的方法，如平均值計算、異常值剔除及測量誤差的評估準則，幫助用戶正確分析測量結果并合理評估不確定性。

  8. 質量控制：強調了實施質量控制的重要性，建議通過定期校準測量設備、比對實驗等方式來監控和保證測量結果的準確性。

  9. 安全與環境保護：簡要提及了在測量過程中應注意的安全措施和環境保護要求，確保操作人員安全及環境不受損害。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現行標準GB/T 13387-2009
  • 1992-02-19 頒布
  • 1992-10-01 實施
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UDC669.782-172-415：531.71H21中華人民共和國國家標準GB/T133877—92電子材料晶片參考面長度測量方法Testmethodformeasuringflatlengthonslicesofelectronicmaterials1992-02-19發布1992-10-01實施國家技術監督局發布

中華人民共和國國家標準電子材料晶片參考面長度測量方法GB/T13387-92Testmethodformeasuringflatlengthonslicesofelectronicmaterials主題內容與適用范圍本標準規定了電子材料品片參考面長度的測量方法。本標準適用于測量各種直徑的硅拋光片、研磨片和切割片的參考面長度。i。也適用于測量砷化鏢、藍寶石和乳鏢石榴石等材料品片的參考面長度。2引用標準GB2828逐批檢查計數抽樣程序及抽樣表(適用于連續批的檢查）3方法提要利用光學投影儀，把品片參考面投影到顯示屏上，使參考面一端與顯示屏上的基準點對準,記錄測微計讀數。然后調節載物臺，使參考面另一端與基準點對準，再次記錄測微計該數。兩次讀數之差即為晶片的參考面長度。4測量儀器4.1光學投影儀，由以下幾部分構成4.1.1光學系統，放大倍數為20倍。4.1.2載物臺.X軸行程應大于品片的參考面長度，Y軸行程為0～25mm，X軸測微計精度優于2S：m4.1.3顯示屏，最小直徑為254mm?！?1.4輪廊板，由半透明材料制成,板上有兩條相互垂直的基準線相交于中央，在垂直基準線的中心上下,各有10個1mm間隔的刻度，

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