1、激光顯微共焦拉曼光譜系統 附件一一貨物需求：顯微共焦拉曼光譜儀系統一套。二詳細技術參數：系統的主要技術指標：1) 250mm焦長，系統總通光效率大于30%。2）波長范圍：200nm1050nm。3）光譜掃描范圍： 325nm 激發Raman(200-4000cm-1)，532nm 激發158000 cm-1，632.8nm 激發100-6000 cm-1，785nm 激發15-3200cm-1,1064nm激發100-3200 cm-1。4）光譜分辨率：可見全譜段等于或小于1cm-1, 紫外(325nm)段3cm-1，紅外（1064nm）段3cm-1。5）光譜重復性（測量多少次50次）：0.1

2、5cm-1。6）空間分辨率：橫向 0.5微米 ，光軸方向 2微米。 7）靈敏度：硅三階峰信噪比好于 15: 1,并可見四階峰；(指光譜儀無低波數附件時的靈敏度)。8）低波數：小于或等于15cm-1(785nm激發)，15cm-1(532nm激發)；9) CCD探測器：應使用紫外和近紅外同時增強深耗散層型CCD探測器，優質芯片，半導體制冷到-70C,為確保圖像質量，避免邊緣畸變，芯片尺寸應 138.5mm，像元尺寸22 mm。10）第二探測器組件（InGaAs探測器）：0.9 um1.65 um，包含軟件包，液氮或半導體制冷。11）光源及控制系統：632.8nm，17毫瓦；785nm, 275毫

3、瓦；514.5nm，40毫瓦,325nm激光器30毫瓦。12）可導入脈沖激光光源（405nm）進行瞬態測量，信號光可引入TCSPC，提供TCSPC探測器接口，（需考慮放濾光片位置）。包含附件：1.直接二維拉曼成像功能（532/785 nm激發）。2.大面積快速掃描拉曼成像功能。3.三維拉曼成像功能。3.冷熱臺及控制器（-195 oC to +600 oC）4.冷熱臺及控制器（室溫 to +1500 oC）5.催化反應拉曼原位池（室溫 to +1000 oC）6.TCSPC系統7.自動xyz三維平臺。8.拉曼偏振測量附件。系統的詳細技術規格：一、 顯微鏡：研究級正置徠卡顯微鏡。1、原配物鏡：5、

4、20、50和100物鏡，15和40紫外物鏡.2、配置50x長焦物鏡（WD8.1 mm）和100x長焦物鏡（WD3.4mm）3、彩色攝像頭，4、XY 手動樣品臺5、顯微鏡攝像機可觀察紫外激光光斑含反、透射照明系統（含聚光透鏡）二、光譜儀要滿足低波數、高靈敏度、高分辨率要求，盡量同時滿足低波數、高靈敏度、高分辨率要求，詳見以下指標：1、 拉曼頻移范圍：325nm 激發200-4000cm-1，532nm 激發158000 cm-1，632.8nm 激發100-6000 cm-1，785nm 激發15-3200cm-1,1064nm激發100-3200 cm-1。2、 焦長250mm，通光效率30%

5、3、 高靈敏度：硅三階峰的信噪比好于15:1，并能觀察到四階峰，要求靈敏度盡量高。檢測條件：使用單晶硅片，波長532nm，到樣品上功率10mW，狹縫寬度（或針孔）小于50微米，光柵大于等于600g/mm，曝光時間100 秒，累加次數3 次，binning等于1。顯微鏡頭為X100倍。4、 光譜重復率： 0.2cm-15、 光譜分辨率：可見全譜段=1cm-1, 紫外(325nm)全譜段3cm-1,紅外（1064 nm）全譜段3 cm-1 要求光譜分辨率盡量高。6、 光譜分辨率和靈敏度的綜合性能：在滿足1cm-1分辨率時的靈敏度需盡量高，在50%，在300nm 處30%（見響應文件的響應曲線）5、

6、 暗噪聲0.005 電子/秒/像元6、 讀出噪聲7 電子/像元四、共焦技術1、具備共焦性能。 2、空間分辨率橫向（光斑直徑）小于0.5 m，縱向小于2m，共焦深度連續可調。五、計算機奔騰以上機型，Windows 操作系統。Windows 下光譜專業軟件包 - 包括儀器控制，數據采集、計算和處理及曲線擬合等各項功能。軟件具有加、減、乘、除、熒光扣除等功能。數據庫包括：譜庫搜索軟件，礦物數據庫，高分子數據庫。六、激發波長1、325nm激發波長1.1、325nm激光器，30mw, kimmon產，相關波長30cm, TEMoo模，要求線寬窄，頻率穩定性好；帶電源及該激光器運行所需配件。1.2 兩臺3

7、25nm激光器。2、532nm激發波長2.1、532nm激光器，50mw, TEMoo模，要求線寬窄，頻率穩定性好；帶電源及該激光器運行所需配件。3、632nm激發波長。3.1、632nm激光器，17mw, TEMoo模，要求線寬窄，頻率穩定性好；帶電源及控制。帶電源及該激光器運行所需配件。4、785nm激發波長4.1、785nm激光器，250mw, TEMoo模，單縱模，要求線寬窄，頻率穩定性好；帶電源及控制。帶電源及該激光器運行所需配件。5、1064nm激發波長5.1、1064nm激光器，200mw, TEMoo模，單縱模，要求線寬窄，頻率穩定性好；帶電源及控制。帶電源及該激光器運行所需配

8、件。七、外購附件1、液氦低溫樣品臺，4K至室溫，振動幅度3-5 nm，帶微位移平臺；2、20x常規焦距暗場鏡頭，NA：0.50，WD：1.27mm50x常規焦距暗場鏡頭，NA：0.80，WD：0.37mm100x常規焦距暗場鏡頭，NA：0.90，WD： 0.29mm50x長焦距暗場鏡頭，NA：0.50，WD：8.1mm100x長焦距暗場鏡頭，NA：0.75，WD：3.7mm3、TCSPC系統4、532nm和785nm波長均配拉曼偏振測量附件5、4GHz高速示波器，4通道6、超連續白光激光光源，總功率4W，脈沖重復頻率40 MHz，單波長功率2mW，400nm2200nm，含聲光調制光柵；7、脈

9、沖激光光源，532 nm/266 nm，脈寬10 ns；8、連續激光光源，808 nm、473 nm、403 nm；7、鎖相放大器及斬波器；8、 高精度電流源表（雙通道，2臺）；八、與掃描電鏡耦合部件特殊設計的SEM/Raman接口允許掃描電鏡成像和拉曼光譜采集在SEM樣品倉內同時進行，首次實現在SEM上原位測試樣品化學結構信息。在不進行拉曼采集時，拉曼元件可收回，完全不影響SEM任何功能。雙波長SEM-Raman接口裝置內置的計算機控制的顯微攝像頭集成計算機控制的照明光源，允許同時觀察樣品白光照明情況和激光光斑。采用單模光纖的共焦拉曼探頭，用于532 /785nm激發，集成130/100波數

10、瑞利濾光片，5米長光纖。常規拉曼測試模式與聯用測試模式的快速切換機構，計算機自動控制。拉曼測試點精確重復定位裝置，保證拉曼測試點與電子束掃描及x熒光分析樣品點精確重復。為實現聯用需升級的部件:拉曼信號收集光纖光路（雙波長），含固定于濾光片轉臺上的光學元件。激光傳遞光路自動切換裝置，完成常規測試和聯用測試模式的激光傳遞切換。光譜儀內自動控制切換的反射鏡單模光纖光路切換裝置及激光安全鎖（雙波長）。譜儀系統固定于光學平臺上的固定裝置3、工作條件： 1)、電源電壓 220V 2)、環境溫度 15283)、相對濕度 60%4、售后服務: 廠家負責免費安排安裝、調試、培訓和驗收，并承擔由此發生的一切費用,

11、并提交經買方簽字認可的安裝調試報告。設備出現故障時，廠家保證在接到用戶通知后24小時內響應，如有必要48小時內派出維修人員到達現場進行服務5、交貨時間:收到信用證后3個月內.6、質量保證: 設備保修期自最終驗收協議簽署生效之日起三年，在保修期內，任何由制造商選材和制造不當引起的質量問題，廠家負責免費維修, 免費保修期后，廠家提供終身維修，并保證零配件的供應，提供軟件終生免費升級。7、技術文件：提供全套書面和光盤的技術資料，包括操作說明書，維護說明書，質量認證等。掃描電鏡部分1工作條件:1.1電源: 220V/50Hz1.2運行環境溫度: 15-25C1.3 運行環境：相對濕度280mm 分析工

12、作距離 10 mm3.3檢測器：高真空模式二次電子檢測器；*3.3.2 低真空模式二次電子檢測器及環境真空下的氣體二次電子檢測器 背散射電子檢測器3.3.3 樣品室紅外CCD相機3.4數字圖像記錄系統3.4.1圖像處理：最大6144x 4096像素3.4.2圖像顯示：單幅圖像顯示或4幀圖像同時顯示*3.4.3圖像記錄: TIFF, BMP或JPEG; 自動記錄數字電影(.avi)功能 幾何量實時測量3.5控制和數據處理系統3.5.1 基于以太網架構的數據傳輸系統3.5.2 Intel雙核控制和操作計算機系統3.5.3 Windows 7操作系統3.5.4 顯示器：24英寸LCD顯示器3.6真空

13、系統3.6.1渦輪分子泵250l/sec和兩個離子泵3.6.2前級機械泵3.6.3透鏡內壓差真空系統, 低真空模式下抽氣區域不少于3個*3.6.4 樣品室真空度：高真空模式下優于610-4Pa低真空模式下10Pa130Pa環境真空模式下10Pa4000Pa3.7標準應用軟件3.7.1 樣品圖像導航3.7.2 鼠標拖曳式放大及對中功能3.7.3 直方圖和在線測量3.7.4 數字動畫記錄原子力顯微鏡/近場光學顯微鏡部分原子力顯微鏡/掃描探針近場光學顯微鏡一臺。主要技術要求：本系統由主機、反射光路、透射光路、輔助光學觀測系統、控制測量軟件等部分組成，能與拉曼光譜儀聯用，實現AFM-SNOM-Rama

14、n功能。要求該系統能完全兼容325nm785nm激光器的光路，實現AFM-SNOM-Raman聯用功能；能實現325nm1064nm近場光學顯微鏡的照明和收集模式功能。制造商應保證所提供的設備具有先進的設計和工藝。（一）具體技術要求：*1. AFM成像功能需包括：接觸式AFM/ 側向力模式/ 振動模式(半接觸 +非接觸模式AFM)/ 相位成像模式/ 力調制模式 (粘彈性)/ 磁力顯微鏡/ 靜電力顯微鏡/ 表面電勢/ 橫向力LFM/ 導電原子力CFM/ 頻率調制/ 粘附力成像/ AFM 力刻蝕/ AFM 電場刻蝕/ 掃描電容成像/ 掃描開爾文探針顯微鏡/ 擴展電阻成像/ 掃描隧道顯微鏡/ 掃描隧

15、道譜。以上功能均能夠與拉曼光譜儀聯用，同時獲得樣品的AFM成像和拉曼成像（即一次掃描能夠同時獲取AFM信號和Raman信號）。*2. SNOM成像功能需包括： 開孔懸臂透射照明模式，開孔懸臂透射收集模式，開孔懸臂梁反射照明模式，開孔懸臂梁反射收集模式，光纖探針反射照明模式，光纖探針反射收集模式，光纖探針透射照明模式，光纖探針透射收集模式。樣品臺xy調節范圍5mm，定位精度2 m。*3. 樣品掃描模式掃描范圍90m90m9m，無需更換掃描器；更換針尖和樣品不需要拆下或打斷掃描頭的校準。更換完針尖，針尖由電腦控制自動校準，回歸到原來位置，誤差 5m；三維全量程閉環控制掃描器，XY非線性度0.05，

16、Z方向噪聲水平0.03nm，XY方向噪聲水平0.02nm。高分辨率掃描器：XYZ 1m1m1m。4. SPM掃描平臺：閉環掃描器，非線性0.05%；XY共振頻率7 kHz；Z共振頻率15 kHz；樣品尺寸405015 mm；掃描速度40 Hz。5. SPM掃描頭：頂部側面同時光學接入；全自動激光和發光二極管校準；紅外激光xx nm；系統噪音0.03 nm。*6. AFM懸臂梁光學工作模式：同時具備AFM懸臂梁頂部照明模式，AFM懸臂梁底部照明模式，AFM懸臂梁反射收集模式和透射收集模式；同時整套光路可與邊照射模式（激發和收集）兼容；完整頂部照明光路兩套，一套采用紫外增強物鏡及通光光路（325

17、nm600 nm），物鏡數值孔徑0.4-0.5，采用670 nm激光定位；另外一套采用可見增強物鏡及通光光路（400 nm800 nm），物鏡放大倍數100，數值孔徑0.7，采用830 nm激光定位；完整底部光路一套，可進行照明和信號收集，底部光路與拉曼光譜儀光路兼容（即可采用拉曼譜儀激光進行激發，信號可沿原光路返回拉曼譜儀進行收集）；同時整套光路可與邊照射模式（激發和收集）兼容；在AFM懸臂梁工作模式下，保證進行AFM成像的同時可進行拉曼光譜的采集和成像。*7. SNOM懸臂梁工作模式：同時具備開孔懸臂透射照明模式，開孔懸臂透射收集模式，開孔懸臂梁反射照明模式，開孔懸臂梁反射收集模式；完整頂

18、部照明光路兩套，一套采用紫外增強物鏡及通光光路（325 nm600 nm），物鏡數值孔徑0.4-0.5，采用670 nm激光定位；另外一套采用可見增強物鏡及通光光路（400 nm800 nm），物鏡放大倍數100，數值孔徑0.7，采用830 nm激光定位；具有激光掃描模塊，可在頂部照明工作模式下將激光光斑定位于懸臂梁的小孔中，并可通過視頻可見；完整底部光路一套，可進行照明和信號收集，底部光路與拉曼光譜儀光路兼容（即可采用拉曼譜儀激光進行激發，信號可沿原光路返回拉曼譜儀進行收集）；同時整套光路可與邊照射模式（激發和收集）兼容；在SNOM懸臂梁工作模式下，保證進行SNOM成像的同時可進行AFM成像

19、及拉曼光譜的采集和成像。*8. 紅外波段SNOM懸臂梁工作模式：具備紅外波段優化通光、照明和收集光路（1000 nm1600 nm）；同時具備頂部照明（收集）和底部照明（收集）光路；頂部照明光路采用紅外增強物鏡及通光光路，100紅外物鏡，數值孔徑0.5，采用670 nm激光定位；同時整套光路可與邊照射模式（激發和收集）兼容；在SNOM懸臂梁工作模式下，保證進行SNOM成像的同時可進行AFM成像及拉曼光譜的采集和成像。*9. 邊照射模式：35度入射。可進行針尖增強拉曼散射實驗。*10. SNOM光纖工作模式：具備樣品掃描和光纖掃描模式；光纖探針掃描模式掃描范圍90m90m9m，三維全量程閉環控制

20、掃描器，XY非線性度0.15，Z方向噪聲水平0.04nm，XY方向噪聲水平0.2nm；最大樣品尺寸：直徑40mm，厚度15mm，最大樣品質量100g；具備光纖探針反射照明模式，光纖探針反射收集模式，光纖探針透射照明模式和光纖探針透射收集模式；激光耦合裝置，V型槽耦合，XYZ三維可調，定位精度1 m，采用40物鏡；透射光路采用40物鏡耦合，工作距離0.4 mm；具備近紅外SNOM透射收集模式，工作范圍900 nm1660 nm，配備低溫冷卻近紅外光電倍增管；配備紫外可見PMT光纖探針反射工作模式采用特殊物鏡進行耦合，物鏡數值孔徑0.45，工作距離30 mm，提供有效耦合模塊；*11. CCD及成

21、像系統：彩色CCD，配備視頻顯微鏡，采用LED白光照明，視場范圍（采用100物鏡）80 m80 m。12. SPM控制器：模塊化全數字擴展控制器，輸入電壓：90-240 V，工作頻率50 Hz/60 Hz。13. 數字/模擬信號輸入/輸出接口，便于集成外置設備，包括PLL和DFM模式。14. 噪音水平：電容傳感器開啟時，200 Hz頻帶寬度狀態下，在XY方向噪音水平為0.1 nm；電容傳感器關閉時，100 Hz頻帶寬度狀態下，在XY方向噪音水平為0.02 nm；1000 Hz頻帶寬度狀態下，Z電容傳感器噪音水平0.04 nm。15. 高分辨率光學顯微鏡，XY方向定位尋找樣品測量位置。16 納米

22、操縱：可實現在納米和分子級別的納米操縱和刻蝕，可通過輸入位圖和矢量圖自動控制。（二）附件及零配件隨整套設備配套提供計算機、顯示器、系統軟件操作系統等。控制測量軟件：能夠高精度地同步完成所有系統部件的控制和測量動作；能夠讀取信號、采集數據、實時處理數據、數據后期處理等。控制系統及軟件能夠兼容AFM反饋模式掃描，要求該系統的掃描控制部件具有閉環掃描控制功能，多次重復掃描時漂移5nm；全部功能控制軟件終身免費升級。并與拉曼光譜儀控制軟件互相通訊。提供常規AFM探針200枚，鼻型光學AFM探針50枚，各波段（305450 nm、450600 nm、600770 nm、780970 nm、9801600 nm）光纖SNOM探針各10枚，50nm孔徑的SNOM懸臂10枚，100nm孔徑的SNOM懸臂10枚，鼻型導電AFM探針50枚。提供詳細的設備安裝指南、操作指南、用戶培訓手冊。供應商長期提供耗材的購置優惠，根據用戶需求設計制作各種規格、尺寸的探針。提供常規NTEGRA工具包、SNOM工具包和STM工具包，（三）技術服務條款1) 貨到后3周內完成現場安裝和調試，并且負責免費現場培訓3名操作人員，安裝調試和培訓