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文檔簡介

1、改變世界的改變世界的MEMSMEMS背景背景 在過去的40 多年里, 集成電路的集成度和性能一直在按照摩爾定律不斷地提高, 但CMOS 晶體管的尺寸縮小終將遇到物理極限，研究人員一方面在積極尋找新的替代器件和電路結構, 另一方面將目光投到整個系統的尺寸縮小和性能提高上。 1988 年美國加州大學伯克利分校的Tai等成功地用微電子平面加工技術研制出了直徑僅有100 微米左右硅微機械馬達, 使人們看到了將可動機械結構與電路集成在一個芯片內, 構成完整的微型機電系統的可能. 微機電系統MEMS 的概念應運而生。 當微機電系統的特征尺寸縮小到100 納米以下時, 又被稱為 納機電系統NEMS, 由于尺

2、寸更小及納米結構所導致的新效應, NEMS 器件可以提供很多MEMS 器件所不能提供的特性和功能, 例如超高頻率、低能耗、高靈敏度、對表面質量和吸附性前所未有的控制能力等.MEMS基本工藝基本工藝光刻剝離濕法刻蝕 干法刻蝕氧化摻雜化學氣相沉積真空鍍膜MEMS工藝流程工藝流程MEMS傳感器分類傳感器分類MEMS系統組成系統組成MEMSMEMS的應用的應用MEMS在汽車領域的應用在汽車領域的應用傳感器對汽車的作用傳感器對汽車的作用：汽車是傳感器第二大市場，每臺車40到上百個傳感器汽車發展趨勢（智能化）需要更多傳感器，特別是安全方面應用位置應用位置：安全氣囊、ABS制動、測速、防撞、發動機燃燒狀態、減振等主要應用產品主要應用產品：MEMS加速度傳感器、 MEMS壓力傳感器MEMS在醫療領域的應用在醫療領域的應用 替代器官植入 體內量微手術 微量檢測 醫學成像 微流控微流控MEMS在軍事領域的應用在軍事領域的應用武器制導和個人導航芯片上的慣性導航組合超小型、超低功率無線通信（RF MEMS）的機電信號處理軍備跟蹤、環境監控、安全勘測的無人值導分布式傳感器系統小型分析儀器、推進和燃燒控制的集成微流量系統微型無人駕駛飛機微型無人駕駛飛機MEMSMEMS發展

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