1T/ACCEMXXXX—XXXX真空擴(kuò)散焊接設(shè)備本文件規(guī)定了真空擴(kuò)散焊接設(shè)備（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“設(shè)備”）術(shù)語(yǔ)和定義、分類(lèi)與設(shè)備參數(shù)、設(shè)備構(gòu)成及技術(shù)指標(biāo)、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存等內(nèi)容。本文件適用于通過(guò)加熱和施加壓力促使材料原子間擴(kuò)散連接的真空擴(kuò)散焊接設(shè)備。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB2894安全標(biāo)志及其使用導(dǎo)則GB/T3163-2024真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)GB/T5226.1-2019機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備第1部分:通用技術(shù)條件GB/T7932氣動(dòng)對(duì)系統(tǒng)及其元件的一般規(guī)則和安全要求GB/T8196-2018機(jī)械安全防護(hù)裝置固定式和活動(dòng)式防護(hù)裝置的設(shè)計(jì)與制造一般要求GB/T9452-2023熱處理爐有效加熱區(qū)測(cè)定方法GB/T13306標(biāo)牌GB/T18443.2-2010真空絕熱深冷設(shè)備性能試驗(yàn)方法第2部分：真空度測(cè)量GB/T20438.1電氣/電子/可編程電子安全相關(guān)系統(tǒng)的功能安全第1部分：一般要求GB/T41349機(jī)械安全急停裝置技術(shù)條件3術(shù)語(yǔ)和定義GB/T3163-2024界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。3.1真空擴(kuò)散焊接vacuumdiffusionwelding利用多軸加壓結(jié)構(gòu)以及擴(kuò)散焊孔洞閉合模型，促使固態(tài)金屬接合面達(dá)到原子間距離，進(jìn)行原子互相擴(kuò)散而實(shí)現(xiàn)焊接的固相結(jié)合過(guò)程。4分類(lèi)與參數(shù)4.1設(shè)備按溫區(qū)尺寸分為ZTF2、ZTF3、ZTF4、ZTF666、ZTF696、ZTF6624、ZTF1212、ZTF8825共9種型號(hào)。4.2設(shè)備基本參數(shù)見(jiàn)表1所示。表1設(shè)備基本參數(shù)2T/ACCEMXXXX—XXXX5設(shè)備構(gòu)成及技術(shù)指標(biāo)5.1真空擴(kuò)散焊接設(shè)備主要由機(jī)架、真空爐體系統(tǒng)、抽真空系統(tǒng)、加壓系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、水冷循環(huán)系統(tǒng)和產(chǎn)品輸送系統(tǒng)組成。設(shè)備主視圖如圖1所示。5.2設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo)如表2所示。標(biāo)引序號(hào)說(shuō)明：1—機(jī)架；2—真空爐體系統(tǒng)；3—抽真空系統(tǒng)；4—加壓系統(tǒng)。圖1真空擴(kuò)散焊接設(shè)備主視圖表2技術(shù)指標(biāo)≤5×10Pa（冷態(tài)、空爐、充分烘爐后，擴(kuò)散泵預(yù)≤45min到達(dá)工作真空度5×10Pa（冷態(tài)、空載、干燥），≤±3℃（600℃~1050℃)（空爐，9點(diǎn)測(cè)溫）T/ACCEMXXXX—XXXX3表2技術(shù)指標(biāo)（續(xù)）----6技術(shù)要求6.1外觀與結(jié)構(gòu)6.1.1外觀設(shè)備外觀應(yīng)平整、光潔，無(wú)明顯劃痕、凹陷、變形等缺陷。表面涂層應(yīng)均勻、牢固，無(wú)剝落現(xiàn)象。設(shè)備各部件連接處應(yīng)平整，縫隙均勻。6.1.2結(jié)構(gòu)各部件連接牢固，安裝正確。焊接部位焊縫應(yīng)平整、光滑，無(wú)虛焊、漏焊等缺陷。設(shè)備的可移動(dòng)部件應(yīng)運(yùn)動(dòng)靈活，無(wú)卡滯現(xiàn)象。6.2真空系統(tǒng)性能6.2.1極限真空度爐內(nèi)極限真空度應(yīng)不小于5×10-4Pa。6.2.2抽真空速率設(shè)備應(yīng)在45min內(nèi)將設(shè)備內(nèi)壓力從常壓抽到5×10-3Pa。6.2.3壓升率設(shè)備的壓升率應(yīng)不大于0.5Pa/h。6.3加熱系統(tǒng)性能T/ACCEMXXXX—XXXX46.3.1最高工作溫度設(shè)備的最高工作溫度為1300℃。6.3.2溫度均勻性在工作區(qū)內(nèi)，溫度均勻性應(yīng)控制在±3℃范圍內(nèi)。6.4電氣安全要求6.4.1設(shè)備電氣控制系統(tǒng)應(yīng)符合GB/T5226.1的規(guī)定，各電氣接頭應(yīng)聯(lián)接牢固并加以編號(hào)，操作按鈕靈活可靠，指示燈顯示應(yīng)正常。6.4.2設(shè)備動(dòng)力電路導(dǎo)線和保護(hù)聯(lián)結(jié)電路間施加DC500V時(shí)，絕緣電阻不應(yīng)小于1MΩ。6.4.3設(shè)備的電氣部件應(yīng)有可靠的接地裝置，并有明顯的接地標(biāo)識(shí)。6.4.4設(shè)備外露可導(dǎo)電部分應(yīng)按GB/T5226.1-2019中8.2要求連接到保護(hù)聯(lián)結(jié)電路上。接地端子或接地觸點(diǎn)與接地金屬部件之間的連接，其電阻值不應(yīng)超過(guò)0.1Ω。6.4.5設(shè)備的動(dòng)力電路導(dǎo)線和保護(hù)聯(lián)結(jié)電路質(zhì)檢應(yīng)經(jīng)受至少1s時(shí)間的耐電壓試驗(yàn)。6.4.6設(shè)備電氣安全應(yīng)符合GB/T5226.1和GB/T20438.1的規(guī)定。6.5機(jī)械安全6.5.1設(shè)備零部件的連接和安裝應(yīng)可靠，不應(yīng)因震動(dòng)而脫落。6.5.2設(shè)備的防護(hù)裝置應(yīng)分別符合GB/T8196-2018中3.2、3.3的規(guī)定。6.5.3設(shè)備應(yīng)有符合GB/T8196-2018中3.5規(guī)定的聯(lián)鎖防護(hù)裝置，具有連鎖裝置（有或無(wú)防護(hù)鎖定）的防護(hù)裝置，在防護(hù)裝置關(guān)閉前，被其“抑制”的危險(xiǎn)的機(jī)器功能不能執(zhí)行。6.5.4設(shè)備上應(yīng)有清晰醒目的操縱、潤(rùn)滑、防燙等標(biāo)志。安全標(biāo)志應(yīng)符合GB2894的規(guī)定。6.5.5設(shè)備氣動(dòng)系統(tǒng)的安全性能應(yīng)符合GB/T7932的規(guī)定。6.5.6急停裝置按下和手動(dòng)復(fù)位時(shí)，應(yīng)動(dòng)作靈活，不應(yīng)有卡滯現(xiàn)象，手能夠觸及的部位應(yīng)無(wú)銳邊、尖角或可能導(dǎo)致受傷的粗糙表面，要求應(yīng)符合GB/T41349的規(guī)定。7試驗(yàn)方法7.1外觀與結(jié)構(gòu)7.2極限真空度按GB/T18443.2-2001中7.1條規(guī)定的方法檢測(cè)。7.3抽真空速率按GB/T18443.2-2001中7.1條規(guī)定的方法檢測(cè)，并記錄將設(shè)備內(nèi)壓力從常壓抽到5×10-3Pa的時(shí)間。7.4壓升率將設(shè)備從常壓抽到5×10-3Pa后，每隔0.5h記錄一次壓力變化值，連續(xù)記錄三次壓力變化值后，按公式（1）計(jì)算壓升率（P），以三次計(jì)算結(jié)果的算術(shù)平均值表示，精確至0.1Pa/h。式中：P—壓升率；Ps—記錄開(kāi)始時(shí)壓力值；Pe—記錄結(jié)束時(shí)壓力值；H—記錄間隔時(shí)間。7.5最高工作溫度T/ACCEMXXXX—XXXX5將設(shè)備溫度設(shè)置為1300℃,待達(dá)到設(shè)置溫度后，按GB/T9452-2023第7章規(guī)定的方法（空載試驗(yàn)）檢驗(yàn)。7.6溫度均勻性按GB/T30825-2014第6章規(guī)定的方法檢驗(yàn)，測(cè)溫點(diǎn)為9點(diǎn)。7.7電氣安全試驗(yàn)7.7.1按GB/T5226.1—2019的規(guī)定檢查設(shè)備的電路控制系統(tǒng)。7.7.2用絕緣電阻表按GB/T5226.1-2019中18.3的規(guī)定測(cè)量其絕緣電阻。7.7.3檢查接地裝置和標(biāo)識(shí)。在切斷電氣裝置電源，從空載電壓不超過(guò)12V（交流或直流）的電源取得恒定電流，且該電流等于額定電流的1.5倍或25A（取二者中較大者）的情況下，讓該電流輪流在接地端子與每個(gè)易觸及金屬部件之間通過(guò)。測(cè)量接地端子與每個(gè)易觸及金屬部件之間的電壓降，由電流和電壓降計(jì)算出電阻值。7.7.4用耐壓測(cè)試儀按GB/T5226.1-2019中18.4的規(guī)定做耐電壓試驗(yàn)，最大試驗(yàn)電壓取兩倍的額定電源電壓值或1000V中較大者。7.8機(jī)械安全防護(hù)檢查7.8.1設(shè)備運(yùn)行時(shí)，檢查各部件的安全防護(hù)、各部位聯(lián)鎖保護(hù)裝置以及操作與維護(hù)裝置。7.8.2目視檢查設(shè)備各部位標(biāo)識(shí)、標(biāo)志。7.8.3設(shè)備運(yùn)行時(shí)，檢查運(yùn)動(dòng)部位緊固件防松措施，檢查往復(fù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的限制裝置。7.8.4檢查設(shè)備的急停裝置。7.8.5檢查設(shè)備裸露的運(yùn)動(dòng)部件以及存在潛在危險(xiǎn)或可能造成人員受傷的部位是否有安全防護(hù)裝置。7.8.6通過(guò)查閱氣動(dòng)元件的檢測(cè)報(bào)告、檢查控制系統(tǒng)的過(guò)壓報(bào)警、機(jī)械運(yùn)動(dòng)、氣流回路的消聲、泄漏等方式檢查氣動(dòng)系統(tǒng)安全。8檢驗(yàn)規(guī)則8.1檢驗(yàn)分類(lèi)分為出廠檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)。8.2出廠檢驗(yàn)8.2.1每臺(tái)設(shè)備應(yīng)經(jīng)制造廠的質(zhì)量檢驗(yàn)部門(mén)按本文件檢驗(yàn)合格，并附有產(chǎn)品合格證方可出廠。8.2.2每臺(tái)設(shè)備均應(yīng)做出廠檢驗(yàn)，檢驗(yàn)項(xiàng)目6.1、6.2、6.3。8.3型式檢驗(yàn)8.3.1有下列情況之一時(shí)，應(yīng)進(jìn)行型式檢驗(yàn)：——產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)或新產(chǎn)品試制定型鑒定；——正式生產(chǎn)后，如材料、結(jié)構(gòu)、工藝有較大差異，可能影響設(shè)備性能時(shí)；——正常生產(chǎn)時(shí)，積累一定產(chǎn)量后，應(yīng)每年定期進(jìn)行一次檢驗(yàn)；——長(zhǎng)期停產(chǎn)后恢復(fù)生產(chǎn)；——出廠檢驗(yàn)結(jié)果與上次型式檢驗(yàn)有較大差異；——國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督機(jī)構(gòu)提出型式檢驗(yàn)要求。8.3.2型式檢驗(yàn)項(xiàng)目為本文件第6章規(guī)定的全部項(xiàng)目。8.4判定規(guī)則8.4.1如有一項(xiàng)及一項(xiàng)以上檢驗(yàn)項(xiàng)目不合格，應(yīng)自出廠待銷(xiāo)合格產(chǎn)品中雙倍抽樣后復(fù)檢，如仍不合格，則判該批產(chǎn)品不合格。否則，判為合格。8.4.2出廠檢驗(yàn)中涉及安全項(xiàng)目應(yīng)100%合格，如有一臺(tái)不合格，則判定該批產(chǎn)品不合格。9標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存T/ACCEMXXXX—XXXX69.1標(biāo)志9.1.1每臺(tái)設(shè)備的適當(dāng)位置應(yīng)有固定的標(biāo)牌，并應(yīng)符合GB/T13306規(guī)定。9.1.2設(shè)備的標(biāo)志應(yīng)包括以下內(nèi)容：——制造商名稱(chēng)及地址；——產(chǎn)品型號(hào)及名稱(chēng)；——品牌及商標(biāo)；——凈重和毛重；——包裝箱外形尺寸；——產(chǎn)品執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)；——儲(chǔ)