ICS1304035

C70..

中華人民共和國國家標準

GB/T259159—2018/ISO14644-92012

.:

潔凈室及相關受控環(huán)境

第9部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級

:

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part9Classificationofsurfacecleanlinessbarticleconcentration

:yp

(ISO14644-9:2012,IDT)

2018-06-07發(fā)布2018-10-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T259159—2018/ISO14644-92012

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

縮略語

4……………………2

分級體系

5…………………2

符合性的證實

6……………5

附錄資料性附錄表面特性

A()…………7

附錄資料性附錄特定粒徑范圍描述符

B()……………10

附錄資料性附錄影響分級的參數(shù)

C()SCP…………12

附錄資料性附錄按粒子濃度確定表面潔凈度的測量方法

D()………14

參考文獻

……………………21

Ⅰ

GB/T259159—2018/ISO14644-92012

.:

前言

潔凈室及相關受控環(huán)境包含個部分

GB/T25915《》10:

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

———1:;

第部分證實持續(xù)符合的監(jiān)測和定期測試技術條件

———2:GB/T25915.1;

第部分檢測方法

———3:;

第部分設計建造和啟動

———4:、;

第部分運行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風罩手套箱隔離器微環(huán)境

———7:(、、、);

第部分按化學物濃度劃分空氣潔凈度等級

———8:;

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級

———9:;

第部分按化學物濃度劃分表面潔凈度等級

———10:。

本部分為的第部分

GB/T259159。

本部分按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本部分使用翻譯法等同采用潔凈室及相關受控環(huán)境第部分按粒子濃度劃

ISO14644-9:2012《9:

分表面潔凈度等級

》。

本部分由全國潔凈室及相關受控環(huán)境標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本部分起草單位中天道成蘇州潔凈技術有限公司深圳市吉隆潔凈技術有限公司蘇州安泰空

:()、、

氣技術有限公司蘇州工業(yè)園區(qū)嘉合環(huán)境技術工程有限公司蘇州凈化工程安裝有限公司中國電子工

、、、

程設計院中電投工程研究檢測評定中心中國電子學會潔凈技術分會深圳市億天凈化技術有限公司

、、、、

北京世源希達工程技術公司中國工程物理研究院八所深圳新科特種裝飾工程公司

、、。

本部分主要起草人姜皓遐殷曉冬王大千黃吉輝金真袁曉東蔣乃軍王堯張利群夏群艷

:、、、、、、、、、、

蘇鋼民吳曉媛石小雷邴紹同

、、、。

Ⅲ

GB/T259159—2018/ISO14644-92012

.:

引言

潔凈室及相關受控環(huán)境按照對污染敏感的作業(yè)所適用的水平提供污染控制受益于污染控制的產(chǎn)

。

品和工藝包括航空航天微電子光學核能和生命科學制藥醫(yī)療器械食品醫(yī)療等工業(yè)

、、、(、、、)。

是專門針對懸浮粒子和化學污染的

GB/T25915.1—2010~GB/T25915.8—2010,

和是針對生物污染的在潔凈室及其他受控環(huán)境的設計

GB/T25916.1—2010GB/T25916.2—2010。、

技術條件運行和控制中除了表面潔凈度分級外還應考慮許多因素這些因素在和

、,,。GB/T25915

的其他部分中有詳細說明

GB/T25916。

本部分是通過測定粒子濃度表示表面潔凈度分級本部分還列出了測定表面粒子濃度的步驟和一

。

些測試方法

。

若監(jiān)管機構有相關規(guī)定或指南可對測試步驟予以適當修改

,。

Ⅳ

GB/T259159—2018/ISO14644-92012

.:

潔凈室及相關受控環(huán)境

第9部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級

:

1范圍

的本部分闡明了在潔凈室及相關受控環(huán)境中按粒子濃度來劃分固體表面潔凈度等

GB/T25915,

級附錄附錄中給出了關于表面特性的信息以及推薦的檢測和測量方法

。A~D。

本部分適用于潔凈室及相關受控環(huán)境中的所有固體表面如墻壁頂棚地板生產(chǎn)環(huán)境工具設備

,、、、、、

和產(chǎn)品按粒子濃度劃分的表面潔凈度等級限于粒徑的粒子

。(SCP)0.05μm~500μm。

本部分對以下事項未予考慮

:

特定工藝的潔凈度及適合性要求

———;

表面的清潔步驟

———;

材料特性

———;

涉及相互結合力或通常與時間和工藝過程有關的事項

———;

分級和測試統(tǒng)計方法的選擇和使用

———;

粒子的其他特性如靜電電荷離子電荷微生物等狀況

———,、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

潔凈室及相關受控環(huán)境第部分詞匯

GB/T25915.6—20106:(IS