特氣管道施工工藝標準特氣管道施工工藝標準特氣管道施工工藝標準資料僅供參考文件編號：2022年4月特氣管道施工工藝標準版本號：A修改號：1頁次：1.0審核：批準:發布日期：Forpersonaluseonlyinstudyandresearch;notforcommercialuseQG/ZDⅡ-T03-12-2003中國電子系統工程第二建設公司潔凈廠房高純氣體管道施工工藝標準擬稿單位：總工程師辦公室編制：鄧順志審核：王開源批準：侯憶二OO三年一月二十五日目錄1、總則----------------------------------------------------------------------------------12、高純氣體的三個主要參數-------------------------------------------------------13、管道材料選擇----------------------------------------------------------------------24、施工程序----------------------------------------------------------------------------45、圖紙會審----------------------------------------------------------------------------56、工程測定----------------------------------------------------------------------------57、繪制管段圖-------------------------------------------------------------------------58、設置預制潔凈房-------------------------------------------------------------------69、材料檢查確認----------------------------------------------------------------------610、保護氣體的供給和管理---------------------------------------------------------911、管段預制--------------------------------------------------------------------------1112、現場配管施工--------------------------------------------------------------------1313、壓力試驗--------------------------------------------------------------------------1914、系統吹掃--------------------------------------------------------------------------2015、系統測試--------------------------------------------------------------------------21附錄1露點、含濕量、絕對濕度換算表---------------------------------------24附錄2潔凈室及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級------------------------26附錄3EP/BA管自動氬弧焊接鎢棒尺寸表------------------------------------27總則本標準適用于潔凈廠房高純氣體管道配管施工。氣體管道的干管，應敷設在上下技術夾層或技術夾道內，當與水、電管線共架時應設在其上部。當采用碳素鋼支吊架、碳素鋼管卡時必須是鍍鋅件，且不銹鋼管道與其接觸處應采用不產塵的非金屬材料隔離。高純氣體管道的設計應符合下列要求：a.按氣體流量、壓力或生產工藝需要確定管徑，氣體管道最小管徑不小于φ6×1mm；b.管道系統應盡量短；c.不應出現不易吹除的盲管、死角；d.管道系統應設必要的吹除口和測試取樣口。氣體管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施，并用裝飾板封堵?？扇細怏w和氧氣管道的末端或最高點應設放散管。放散管引至室外應高出屋脊1米，并應有防雨、防雜物侵入的措施。可燃氣體和氧氣管道還應符合《潔凈廠房設計規范》安全技術措施的有關要求。高純氣體終端過濾器應設在靠近用氣點處。高純氣體的三個主要參數所謂高純氣體管道的潔凈技術控制，主要是指氣體純度、干燥度、潔凈度的控制（即三度控制）。氣體純度指氣體中雜質氣氛的含量，通常用氣體純度的百分數表示，如%（俗稱6個9），也可用雜質氣氛含量的體積比ppm、ppb表示。潔凈廠房高純氣體管道系統建成的各個環節必須做到上流的合格氣體流經廠房管道系統到達用氣點的氣體純度仍能滿足工藝對用氣純度的要求。干燥度氣體中微量水分的含量，通常以露點表示，如露點-70℃潔凈度指氣體中含有污染物粒子的數量，粒徑為μm的粒子的個數，pc/m3。高純氣體管道通常使用在潔凈的生產環境當中，對應的潔凈環境等級，在《潔凈廠房設計規范GB50073-2001》中，直接采用國際標準ISO14644-1（詳見附錄2）對高純氣體潔凈度的控制，當設計未加特別注明時，施工中對潔凈度的控制應與使用空間的潔凈度等級保持一致，嚴防氣體中的污染物粒子超過規定值，而造成管路系統或潔凈生產空間的污染。潔凈廠房高純氣體管道的設計、施工管理，不同于一般工業氣體管道，任何一個環節稍有失控，就可能影響輸送氣體的質量，從而導至無法生產出合格的產品。管道材料選擇將高純潔凈氣體輸送到各用氣點而不被污染，在很大程度上受管路諸多因素的影響，其中管材的選擇顯得十分重要。用于輸送高純氣體的管道應具備以下性能a.管材的透氣性要??；b.管材內表面吸附解吸氣體的作用要小；c.內壁光滑、耐磨損；d.有良好的抗腐蝕性能；e.性能穩定，含碳量低。管道材料選擇管道材料由設計選定，自行設計時應遵守《潔凈廠房設計規范》的有關規定。a.能滿足上述要求的管材，對于氣體純度在%以上或在空氣潔凈度等級中1~6級潔凈室內時，以316L內壁經電拋光的不銹鋼管（EP）為最佳選擇，由于施工現場條件限制，管材應在制造廠脫脂、清洗、干燥，并有雙重膜包裝，對于氣體純度為%的潔凈管道和干燥空氣管道可選用內壁經機械拋光的304不銹鋼管（BA）。注：316L的國內對應牌號為00Cr17Ni12Mo2Ti 304的國內對應牌號為0Cr18Ni9b.閥門及其它附件的選擇閥門及其它附件的材質應與管材選用原則一致，在采用不銹鋼管材的管路系統中，不得采用銅材質的閥門，為確保閥門及管道系統的嚴密性和介質不受污染，應采用兩端為焊接連接的無填料波紋管閥或隔膜閥。對于系統終端采用螺紋連接時，應采用VCR卡套連接；非焊接連接的墊片，對于氫、氧管道應采用金屬墊片，其它高純介質管道可采用聚四氟乙烯墊片，三通、彎頭應采用與管材同材質的成品，為適應公司現有自動焊頭的施焊條件，訂貨應注明對頸長L的要求（見下表）管子外徑（mm）L（mm）圖示6~~~≥36≥48≥55施工程序圖紙會審圖紙會審工程測定工程測定支吊架制作支吊架安裝支吊點劃線整理竣工資料系統測試系統吹掃壓力試驗現場配管管段預制材料檢查確認設置預制潔凈房繪制管段圖支吊架制作支吊架安裝支吊點劃線整理竣工資料系統測試系統吹掃壓力試驗現場配管管段預制材料檢查確認設置預制潔凈房繪制管段圖交工 交工圖紙會審圖紙會審應著重解決以下問題，為繪制管段圖做好準備。圖紙是否出自注冊設計單位；設計選材能否滿足介質純度、干燥度、潔凈度要求；用氣工藝設備位置是否最終確定；管道走向應排除與其他管線打架現象，并最終確定走向；各支管三通位置的確定；管道支吊型式及支吊架材質的選定；檢測口、吹掃口和放散管（氫氣）位置的選定；氫、氧管道防靜電接地的型式。工程測定將土建專業提供的基準標高和基準軸線，用測量儀器移值到安裝場所墻柱的適當位置，并作出標識，以此確定管道所處位置。如與建筑結構發生矛盾時，再與有關方面協商調整，但最終應反應到竣工圖上。繪制管段圖凡施工圖已提供透視圖的，可利用透視圖作為管段圖，無透視圖時應在施工前繪制管段圖。不可將幾個管道系統繪制在一張圖上，一個小系統，可繪制在一張圖紙上，大系統可分段繪制在幾張圖上，但應標出連接符號。無論是利用透視圖還是自繪管段圖均應標注各管段直徑、長度、標高和閥門、三通、法蘭等的位置，還應分別標出預制組件的焊口（即死口）和現場焊接的焊口（即活口）位置，并在圖中順序標出焊口號。圖中標注的各項尺寸應是現場實測的尺寸。對一個系統分段予制的原則是：盡可能減少現場（安裝場所）焊接的焊口數，大量的焊接工作盡可能在預制間完成；現場焊接的焊口應設在便于操作的位置；予制組件的大小應盡可能大一些，但不可無限制的大，既要考慮預制房面積的限制，也要考慮搬運安裝所經通道和門洞的限制。設置預制潔凈房潔凈廠房內高純氣體管道的預制場所，其潔凈要求應與管道安裝場所的潔凈度要求一致，否則將很難控制所預制的管道不受污染，因此預制房的搭建是不容忽視的。管道可能安裝在不同潔凈等級的房間，應按安裝場所的最高潔凈等級的要求來搭建預制房。預制房應盡可能在廠房暫不使用的房間內搭設，當不具備這種條件時，可就近先搭設符合擋風擋雨要求的臨時建筑，再在其內搭設臨時潔凈預制房。預制房的長、寬、高應能滿足預制工作的要求。一般宜采用長×寬×高=7.2米×3.6米×2.2米的規格，用防靜電厚塑料膜（以0.3mm厚為宜）圍護，采用FFU或高效過濾器及低壓風機用風管連通（要有調節閥，以獲得必要的室內正壓），完成上送風、下側四周排風的空調系統。室內要有充足的照明。材料檢查確認本檢查為在現場接收管材、零部件時，驗證是否滿足訂貨書要求而進行的外觀檢查和確認。供檢查的環境到貨的材料應是有雙層薄膜包裝的潔凈材料。材料從接收開始，不得受到污染。a.外包裝完好情況的檢查，在非潔凈區進行，但在折除外包裝后應立即搬入潔凈廠房或預制加工潔凈房內；b.內包裝的開封必須在潔凈室或預制加工潔凈房內進行，以確保材料不受污染。檢查完成后，對暫不用的材料應立即重新用薄膜袋包裝密封并置于潔凈區妥善保管。檢查對象a.管材b.管子附件（三通、彎頭、變徑管等）c.閥類（閥門、減壓閥等）d.計器類（壓力計、壓力傳感器、壓力線圈等）e.設備類制成品（筒、箱、閥盒等）檢查項目NO檢查項目管材管件閥類計器類設備類、制成品1外觀檢查○○○○○2數量檢查○○○○○3規格尺寸△△△○○4材質檢查○○×××○：全數檢查△：抽查5%×：不檢查外觀檢查和質量要求管路系統的管材、閥門和所有附件，必須嚴格按設計要求選購，不得隨意更改或代換。管材到貨后應置于室內精心保管，杜絕露天堆放、日曬雨淋。到貨的管材，兩端應有塑料密封帽密封嚴密，無破損和脫落；有雙層塑料薄膜密封包裝，不得有破損。閥門、管件應有塑料袋密封包裝，無破損。管子、閥門、管件等，使用前按、、的要求切實進行下列外觀檢查：管子直徑、壁厚符合訂貨要求，且壁厚均勻；管子應平直、圓滑、無局部凹陷、無壓入物、無刮傷、碰傷和擠壓等缺陷；無裂紋、縮孔、折疊、重皮和凸筋等缺陷；無銹蝕、銹斑等痕跡；內表面的粗糙度是否符合設計要求，螺紋是否有損、保護是否良好；內表面是否有塵埃、油脂，確認管子是否已經凈化處理；內面電拋光薄壁不銹鋼管的進貨要有出廠合格證書和相關材質證明。當進貨的管材受到質疑時，應抽取各種規格的管材，在管子的任何部位，隨機切下60mm長的管段，并沿軸向剖開，在顯微鏡下對照樣板驗證內表面的相對粗糙度Rmax是否符合設計要求，是否與出廠文件中所標注的內容與精度相符，凈化處理是否符合要求；查看管子外包裝和管端密封帽是否有效；法蘭的密封面應平整、光滑，不得有毛刺及徑向溝槽，凹凸法蘭應嵌合準確，凸面的高度不得小于凹槽的深度；非金屬墊片應質地柔軟、無老化及分層現象，表面不得有折損及皺紋等缺陷；金屬墊片表面不得有裂紋、凹槽、毛刺、徑向劃痕及銹斑等缺陷。不合格品的處置經檢查若不能符合質量要求時，應予退貨或經商定留作降級使用。驗收后的保管經檢查驗收后，在規定的倉庫或現場妥善保管，材料庫應是專用庫房，不得和其它物資混放，管子、管件、閥門要分類保管。保護氣體的供給和管理氣體供給裝置保護氣體為高純氬氣，其純度指標不得低于管道系統要求的純度，氬氣的供給采用低溫液化氣容器或高壓瓶裝氬氣。系統裝置見下圖（其中虛線框內的裝置，在采用液氬時才配置）：濕分計蒸發器濕分計蒸發器供給管理在供給聯箱上安裝濕分計，以確認、記錄氣體的供給純度保護氣體供給開始后，保持連續通氣，以確保配管內的純度。流量控制a.焊前吹除可參照下圖選擇流量和吹除時間b.焊接時的氣體流量參照下圖選用:φmmφmm51015L51015L/minc.施工過程中，間斷作業時（如夜間），仍應保持一定的通氣量，可按焊接通氣量的1/4通氣。氣體供給管理記錄定期檢查氣體供給情況：a.供給聯箱：含濕量、供給壓力，并記下記錄時間；b.氣瓶：剩余量、壓力、使用情況，并記下記錄時間。管段預制預制環境及其管理為保持預制件的潔凈度，管段預制應在預制潔凈室內進行為保持預制環境的潔凈度，以下各條規定應每日進行一次檢查，并保持記錄。a.按擬定的必須的室內潔凈等級，保持FFU運轉正常，工作有效；b.作業人員應著潔凈服、潔凈鞋、潔凈帽、潔凈手套進行作業；c.潔凈服、潔凈鞋、潔凈帽要經常保持清潔；d.潔凈室內由專人進行作業，作業人員一般不超過6人；e.潔凈室內設專用吸塵器，作業中如產生塵埃，應徹底清掃，作業完后必須全面清掃一次；f.潔凈室內必須設置滅火裝置，至少應設置手輪式二氧化碳滅火器二個；g.潔凈室內不得堆放與預制加工無關的物資；h.下班時必須進行檢查，并切斷電源。管子切斷切斷機具小管徑（φ6~12.7mm）不銹鋼管用管子割刀；大管徑（大于φ12.7mm）不銹鋼管用GF鋸。切斷要求a.使用專用固定夾具實施切斷作業；b.進行管子切斷作業。要有不低于系統輸送介質純度的氮氣或氬氣經過濾器通過管內，確保管內潔凈度；c.使用管子前，不得過早提前開啟端部封帽；d.切割好的管子要放置在貨架或管子專用擱架上。管子剖口加工：見下圖剖口機具：管子剖口加工使用專用端面平口機剖口形狀：Ⅰ型剖口要求：a.剖口加工時，要通過過濾器向管內輸送精N2，保持管內潔凈度;b.管端應與軸線垂直，加工面光滑、無毛刺;c.管內口有毛刺時，應用倒角器除去，并保持潔凈;d.剖口完成后，迅速用無水酒精（污染嚴重時可用丙酮）清洗加工部位，并用潔凈密封帽保護;e、加工好的管子要放置在不銹鋼貨架上或擱架上。彎頭加工小管徑配管（φ6~12.7mm）使用專門的彎管器彎制，但對現場上升、下降管道彎曲困難的地方仍應采用成品彎頭?？趶酱笥讦?2.7mm的配管，采用成品彎頭。加工要求a.小管徑彎頭的彎曲半徑R應等于或大于管外徑的5倍；b.彎頭加工，要在管端用密封帽保護的狀態下進行。焊接焊接采用整套全自動鎢極氬弧焊接設備，無焊絲自熔焊接，其工藝詳見企標《電拋光薄壁不銹鋼管焊接工藝標準》焊接工作應由經過培訓合格的人員擔任焊接參數的設定，應執行“作業指導書”，經試焊，其焊口經焊接指導者和檢驗員確認符合質量要求時，才能從事該規格管子的正式焊接，中途不得任意改變參數。每天上班施焊作業前都要進行試焊，直至合格才能從事當天的焊接工作，并保留合格的試件。每焊完一個焊口，應用細不銹鋼絲刷（φ0.25mm不銹鋼絲，刷絲整體高度15mm）趁熱時清除表面痕跡。焊接用的鎢棒規格應與焊頭、管子外徑相匹配，鎢棒起弧端與管外壁間距離應在0.75mm~1.75mm范圍內（見附錄3）。焊前應用氬氣徹底吹除，調整到焊接通氬量后，在施焊過程中要始終保持氬氣流通。管段焊接完成后，立即加蓋密封管帽?，F場配管施工支吊架安裝無誤后，將預制好的管段及當日需用的直管搬入安裝現場，上架、調整、組對、通氬、點焊、自動焊接。配管施工順序確認作業環境確認作業場所的環境狀態配管安裝調整預制的管段和直管上架、調整、組對通保護Ar按各焊口的焊接順序，自上流端通入保護Ar點焊對大于φ的管道對接實施點焊焊接條件確認制成焊口樣品，以確認焊接參數自動焊接自上流端開始實施自動焊接檢驗確認進行焊口外觀檢查確認作業環境場所下列氣候場所，原則上不能進行配管施工作業。氣溫：-10℃濕度：90%以上風速：對風速超過1m/s的環境要有防風對策保持作業環境的對策a.設置局部潔凈單元在現場配管施工環境很差的場合，為保證焊接部位的潔凈度而設置局部潔凈單元（如焊接套筒）b.防風對策為擋風和維持周圍環境而設置擋風板。強風場所，由現場監督人判斷，中止施工。c.檢查腳手架現場配管施工用的腳手架，不安全時，要進行加固。配管安裝調整支吊架安裝完成后，將預制好的管段和當日用的直管搬入現場，順序上管架安裝、調整好標高，注意在焊接前不要取下兩端的密封帽。通保護氬氣取下調整好的管子的上流端部的管帽，同時安上帶小孔的管帽（或在原管帽上劃一小孔），通入保護氬氣。取掉下流端管帽管與管的對接管與管用膠帶纏好固定以上配管順序可在現場根據情況進行調整使用的管帽、密封膠帶等應是潔凈品。點焊從上流端開始順序撕下膠帶，用手動氬弧焊機實施點焊。點焊要領管子、管件在點焊前確認其內外表面未受污染（無異物、油脂等）；點焊采用手動氬弧焊；點焊使用固定夾具，管管應同心，管口不得錯位；點焊時為防止管內氧化，和正式焊接（自動氬弧焊）一樣，通入保護氬氣；每點焊完一個焊口后，待表面溫度降低，重新貼一密封帶，正式焊接時再撕下膠帶，直接用自動焊頭固定實施焊接；自動焊接條件的確認焊接試件的作成為獲得自動氬弧焊接的良好效果，在正式焊接前作成合格的試件，獲得最佳焊接參數。試件作成要領a.每逢下列情況應焊出合格試件，才能正式焊接。作業日的上午、下午開始作業前（一日二次）配管口徑、壁厚、材質、管件改變時作業中產生缺陷時焊機本身的條件、狀態改變時b.作業者必須經本專業BA、EP管配管自動氬弧焊接的培訓，持證上崗。c.質量檢驗人應是經培訓合格的本專業技術、檢驗人員或外國專家。記錄根據焊機的特性，編制出各種管徑、壁厚的基本焊接參數表，以該參數為基礎，設定試件的焊接參數，在焊接試件的過程中，可根據焊口存在的缺陷，調整焊接參數，直至焊接出合格的焊口，此時得出的參數，作為正式施焊的參數。a.配管焊接施工管理記錄將配管焊接參數記入施工管理記錄（含基本焊接參數、試件）。b.試件檢驗表作成每件試件的檢驗記錄和試件一并保存。自動氬弧焊接焊接條件確認后，自系統上流端逐個焊口進行焊接。12.7.2焊接結束后仍要有保護氣體流過。每個焊口焊完后，應趁熱用不銹鋼絲刷除盡表面的氧化膜。焊口檢查焊口實施外觀全檢，合格標準是：無未焊透；直線性好；整個園周焊口成形均勻一致；焊口內側平直、光潔，外側環狀波紋均勻美觀（允許有細微的凹狀或凸狀）；無可見的瑕疵、疵點、裂紋、氣孔、夾渣等現象；無斑漬、氧化。壓力試驗潔凈廠房內的高純氣體管道不允許采用水壓試驗，必須采用氣壓試驗。氣壓試驗壓力應為設計壓力的倍（真空管道的試驗壓力應為）。但當管道的設計壓力大于時，必須有設計文件規定或擬定試驗方案經建設單位同意，方可進行氣壓試驗。試驗介質除危險、易燃氣體管道（如氧氣、氫氣）采用高純氮氣外，其它介質管道（如氮氣、氬氣、干燥空氣等）可用系統供給氣體或高純氮氣進行試驗。壓力試驗時，應逐步緩慢增壓，當壓力升至時，暫停升壓，進行一次全面檢查，如無壓降和泄漏現象，再將壓力升至試驗壓力的50%，如未發現異樣情況或泄漏，繼續按試驗壓力的10%逐級升壓，每級穩壓3min，直至試驗壓力。穩壓10min，將壓力降至設計壓力，停壓時間應根據查漏工作需要而定，以設計規定的發泡劑檢驗，無規定時，用中性皂液檢驗，無泄漏為合格。氣密性試驗氣密性試驗介質，與壓力試驗相同。試驗工作可在壓力試驗結束后連續進行，試驗壓力為設計壓力，試驗時間為24小時，實行24小時連續監視，試驗開始就要記錄起始壓力值和起始環境溫度及有關情況，然后每隔1小時檢查記錄一次。檢查重點是焊口、閥門填料函、法蘭、絲扣連接處等，用發泡劑檢查，最終考慮環境溫度變化等因素。無壓力降、無泄漏為合格。泄漏性試驗高純氣體管道中屬于危險、易燃氣體的管道必須在上述試驗結束后，進行泄漏性試驗，但上述試驗結束后未經拆卸的該類管道系統可不進行泄漏性試驗；試驗介質宜用氮氣；試驗壓力應為設計壓力；泄漏試驗可結合調試工作一并進行；泄漏性試驗時，應逐漸緩慢加壓，當壓力升至試驗壓力的50%時暫停加壓，進行初始檢查（重點是焊口、閥門填料函、法蘭、絲扣連接處等），如無泄漏，繼續按試驗壓力的10%逐級升壓，每級穩壓3min，直至試驗壓力，停壓10min以上，在此時間用發泡劑檢漏，檢查的重點部位與初始檢查相同，如無泄漏，則泄漏性試驗合格。系統吹掃壓力試驗結束后，投運之前，應用上述試壓用的同種高純氣體對輸配管路系統進行徹底吹掃，達到不但吹除系統內的遺留粒子，而且起到對管路系統的干燥作用，去除管壁和管材所吸留的部分含濕氣體。常用的吹掃方式為連續吹掃式和間斷吹掃式，依系統的不同情況，采用一種方式或兩種方式并用吹掃流速應在20m/s以上，吹掃氣體的用量參見下圖。管路系統吹掃氣體用量圖連續吹掃方式這種方式適用于簡單系統，基于系統中的雜質處于相對均勻的分布狀態，系統吹除氣中的雜質濃度，被認為是系統中雜質的濃度。然而，潔凈的吹掃用系統供給氣體在系統中，所到之處，由于紊流產生擾動，從而使系統中的雜質重新分布，又由于系統中存在著滯區，滯區中的滯氣不易甚至不能被吹掃氣流所擾動，只有完全依靠濃度差為動力，以極緩慢的速度向潔凈的供給氣體擴散，逐步降低雜質的濃度，經過較長時間的吹掃，從而將雜質逐步裹帶出系統。這種方式對于不銹鋼材質的高純氣體管道效果尤為明顯。間斷吹掃方式這種方式適用于大系統，由于閥門多、連接件多，管路系統分枝復雜，所以整個系統的滯區也多，對這類系統僅采用連續吹掃方式，既費氣又費時，效果也不太好，而采用間斷吹掃方式，即“加壓—泄壓”的方式，效果要明顯得多，即將系統供給氣體自系統起始端導入，使整個吹掃系統達到允許承受的較高壓力，以較高速度沖刷系統各處，造成較強烈的擾動，滯區的滯氣得以重新分布，然后快速泄壓，使系統壓力接近大氣壓。再重新“加壓—泄壓”，返復進行6~8次，即可取得顯著的效果。以上吹掃的真實效果只能由“系統測試”得出，因此，該吹掃工序可視為“系統測試”前期工作，亦可在“系統測試”時進行。系統測試系統測試項目主要有塵埃顆粒檢測、水分（露點）檢測、氧分檢測、油分檢測等，需要做哪些項目的檢測、要求達到的指標，應以設計文件為依據，或由建設單位根據工藝要求在施工合同中提出。常做的檢測項目的檢測要求如下。露點檢測可采用目視露點儀或其它類型的精確度不低于±3℃若采用目視露點儀，必須嚴格遵守《電子級氣體中痕量水分子測定法—目視露點法》SJ2799-87；采用其它類型的露點儀，必須嚴格遵守相關的操作手冊。應檢測在大氣壓下，氣體中的水蒸汽達到飽時的溫度，若儀器測量值為非大氣壓下的壓力露點，則應換算成大氣壓下的露點溫度。采樣管應用小口徑電拋光不銹鋼管或厚壁聚四氟乙烯管，用焊接或VCR接頭連接，確保嚴密不漏。調節流量應使用死空間小的不銹鋼閥門。檢測前，系統應經過充分吹掃。采用目視露點儀時，至少應取三次測定值的算術平均值作為分析結果；采用其它類型露點儀時，應待顯示數穩定3min后，讀取測定值。露點、含濕量、絕對溫度換算表見附錄1顆粒檢測采用采樣量大于的高壓激光粒子計數器或配有專用高壓擴散器的激光粒子計數器檢測，粒子計數器的最小粒徑及粒子通道須滿足檢測要求。采樣管采用小口徑電拋光不銹鋼管（避免使用易吸附氣體、塵埃的非金屬管），用焊接或VCR接頭連接，確保嚴密不漏。采樣管越短越好，檢測~1μm粒徑時，采樣管長不應超過15m；檢測2~5μm粒徑時，采樣管長不應超過3m。采樣管、高壓擴散器，使用前應經充分吹掃。對于使用前需要預熱的粒子計數器，應經一定時間的預熱。每個用氣點采樣一次，最小采樣量由下試計算：最小采樣量=20/級別濃度上限例：某系統設計要求≥μm，顆粒度＜3個/L則最小采樣量=20/3=6.67L應選用有μm粒徑通道的粒子計數器作最小6.67L的采樣測試。附錄1露點、含濕量、絕對濕度換算表露點℃含濕量ppm絕對濕度g/m3露點℃含濕量ppm絕對濕度g/m306033