1、多晶電池消費工藝流程牛文富.目錄 一、 太陽電池簡介 二、 太陽電池消費工藝 .一、太陽電池簡介1、太陽電池簡介 太陽電池是一種對光有呼應并能將光能轉換成電力的器件。 太陽能電池，又叫光生伏打電池，它是以半導體資料為根底的一種具有能量轉換功能的半導體器件，是太陽能光伏發電的最中心的器件。.一、太陽電池簡介2、太陽電池分類.一、太陽電池簡介晶體硅電池單晶硅.一、太陽電池簡介晶體硅電池多晶硅電池.一、太陽電池簡介3、硅太陽能電池任務原理一、硅的摻雜半導體硅原子外層有4個電子，按固定軌道繞原子核轉動。當遭到外來能量作用時，這些電子會脫離軌道成為自在電子，并在原來位置構成一個“空穴。假設硅中摻入硼，鎵

2、等元素，由于這些元素可捕獲電子，就構成空穴半導體，用P表示。假設摻入可以釋放電子的磷，砷元素，就構成電子型半導體，用N表示。.一、太陽電池簡介3、硅太陽能電池任務原理二、P-N結P型半導體和N型半導體結合，交界面會構成一個P-N結，構成P-N結內電場，妨礙著電子和空穴的挪動。.一、太陽電池簡介首先是P-N結附近的電子和空穴發生分散運動：N型區域的電子向P型區域分散，相對于P型區域的空穴向N型區域分散。.一、太陽電池簡介在界面層附近，由于電子和空穴的遷移，就會使N區域呈現正電性，而P區域呈現負電性。于是構成一個由N區域指向P區域的內電場。.一、太陽電池簡介3、硅太陽能電池任務原理三、光生伏特效應

3、太陽光照在半導體P-N結界面層上，會激發出新的空穴-電子對，在P-N結電場的作用下，在P-N結內部空穴由N區流向P區，電子由P區流向N區，接通電路后就構成電流。我們把這種效應叫做“光生伏特效應，也就是太陽能電池的任務原理，因此，太陽電池又稱為“光伏電池。.二、太陽電池消費工藝太陽電池消費工藝流程 .二、太陽電池消費工藝工序一，硅片清洗制絨: 目的HNO3 對硅外表氧化, 突破了硅外表的Si2H 鍵, 使Si 氧化為SiO2 ,然后HF溶解SiO2 , 并生成絡合物H2SiF6 。從而導致硅外表發生各向同性非均勻性腐蝕, 構成的半球狀的絨面, 有利于減少光反射, 加強光吸收。原理：利用硝酸的強氧

4、化性和氫氟酸的絡合性，對硅進展氧化和絡合剝離，導致硅外表發生各向同性非均勻性腐蝕，從而構成 類似“凹陷坑狀的絨面。 Si + HNO3 SiO2 + NOx + H2O SiO2 + 6HF H2SiF6 + 2H2O .二、太陽電池消費工藝.二、太陽電池消費工藝工序二，分散/制結： 硅片的單/雙面液態源磷分散，制造N型發射極區，以構成光電轉換的根本構造：PN結。 POCl3 液態分子在N2 載氣的攜帶下進入爐管，在高溫下經過一系列化學反響磷原子被置換，并分散進入硅片外表，激活構成N型摻雜，與P型襯底構成PN結。主要的化學反響式如下： POCl3 + O2 P2O5 + Cl2；P2O5 +

5、Si SiO2 + P .二、太陽電池消費工藝.二、太陽電池消費工藝.二、太陽電池消費工藝工序三，等離子刻邊： 去除分散后硅片周邊構成的短路環； .二、太陽電池消費工藝.二、太陽電池消費工藝工序四，去除磷硅玻璃： 去除硅片外表氧化層及分散時構成的磷硅玻璃磷硅玻璃是指摻有P2O5的SiO2層。 .二、太陽電池消費工藝.二、太陽電池消費工藝 工序五，PECVD： 目的渡減反射膜+鈍化： PECVD即等離子體加強化學氣相淀積設備，Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition； 制造減少硅片外表反射的SiN 薄膜80nm； 反響氣體為SIH4和NH3.二、太陽電池

6、消費工藝.二、太陽電池消費工藝工序六，絲網印刷： 用絲網印刷的方法，完成背場、背電極、正柵線電極的制造，以便引出產生的光生電流； 工藝原理： 給硅片外表印刷一定圖形的銀漿或鋁漿，經過燒結后構成歐姆接觸，使電流有效輸出； 正面電極用Ag金屬漿料，通常印成柵線狀，在實現良好接觸的同時使光線有較高的透過率；反面通常用Al金屬漿料印滿整個反面，一是為了抑制由于電池串聯而引起的電阻，二是減少反面的復合； .背電極印刷及烘干銀漿或鋁漿；背電場印刷及烘干鋁漿；正面電極印刷銀漿。二、太陽電池消費工藝.二、太陽電池消費工藝.二、太陽電池消費工藝工序七，烘干和燒結:目的及任務原理： 烘干金屬漿料，并將其中的添加料

7、揮發前3個區；在反面構成鋁硅合金和銀鋁合金，以制造良好的背接觸中間3個區；鋁硅合金過程實踐上是一個對硅進展P摻雜的過程，需加熱到鋁硅共熔點577以上。經過合金化后，隨著溫度的下降，液相中的硅將重新凝固出來，構成含有少量鋁的結晶層，它補償了N層中的施主雜質，從而得到以鋁為受主雜質的P層，到達了消除背結的目的。 在正面構成銀硅合金，構成良好的接觸和遮光率；Ag漿料中的玻璃添加料在高溫700度下燒穿SiN膜，使得Ag金屬接觸硅片外表，在銀硅共熔點760度以上進展合金化。.二、太陽電池消費工藝.分類檢測任務原理： 本系統經過模擬AMAir Mass1.5 1000W/m2太陽光脈沖照射PV電池外表產生光電流，光電流流過可編程模擬負載，在負載兩端產生電壓，負載安裝將采樣到的電流、電壓傳送給SCLoad計算,得到IV曲線及其它目的，并根據實踐光強和溫度對它們進展修正。SCLoad 根據測試結果，按照給定的分類規那么分類，將分類結果傳送給分檢系統，分檢系統將已分類的電池放到相應的電池盒里。 太陽電池的電性能參數： Isc (短路電流) Uoc (開路電壓) Impp (最大電流) Umpp (最大