1、制絨設備(1) (2009.5.4)1. 設備組成和基本認識此清洗設備主要山槽式清洗主體、移載機械手、抽風系統、電控及操作盤 等部分組成。設備描述此設備是一個全自動的處理設備。匚清洗工作過程山三菱FX系列PLC控制。0操作員通過10.4英寸彩色觸摸屏控制生產匚由移載機械手運輸，經去損傷、制絨、漂洗、干燥等部分組成一條自動連 續工作的清洗裝置。清洗作業員將裝滿工件的工件框放置在進料臺上，由移載機械手將工件框 依次送到各處理工位，對工件進行腐蝕、清洗，然后工件山機械手移到出 料臺上，由作業員將工件框取出，進行下步的處理。制絨的目的：1利用限光原理減少光的反射。增加Isc.2增加PN結的面線制絨方式

2、：酸制絨酸制絨所用化學藥品：HF HNO3 KOH HCL HF酸制絨反應方程式：HNO卄Si二SiCh+NOx+FhO SiO2+ HF=SiF4+H2O SiF4+HF=H2SiF6滾輪的速度范圉：0.51.5m/min堿槽的作用與注意事項：堿槽一方面可以用來中和片子表面的酸，另一方面可以用來將片子表面的一層 灰褐色的多孔硅去除。由于堿與酸反應會生成鹽的結晶，所以停止20分鐘以上需要沖洗。已避免噴 淋口被堵。鹽酸的作用1. 中和殘留在硅片表面的堿液2. 去除在硅片切割時表面引入的金屬雜質HF的作用去除在清洗過程中表面形成SiO2層，便于脫水注：硅的疏水性要好于SiO2面板的注意事項：正常情

3、況下面板上各模塊均處于綠色，如果一旦在流片過程中顏色改變，立即 通知工藝人員。后清洗注意事項：下片時觀察表面有無刻蝕線，若無，一定要看背面是否異常（臟）。如果正面 沒有刻蝕線，背面很臟，需要重新進行后清洗。上下片注意事項：避免用手接觸硅片表面，只能接觸側面。同時特別注意嚴禁裸手接觸電池片和承 片盒。員工手套保持干凈，嚴格按照WI制程進行操作。各槽的蓋板上保持干凈，沒有殘留的酸和堿。操作工在取片測量時候保證清潔取片，清潔測量。德國生產的電池片前清洗機，整個機器分為以下兒個槽子：HF酸槽，水槽, KOH槽，水槽，HNO3槽，水槽，吹干整個機器高分子材質，高度耐蝕，且為 整體一體化。設備從進片到片子

4、出槽均有自動化應現，生產效率高且質量也高。設備分為以下兒個系統1酸堿槽體系此體系山各種槽子組成，各槽之間相互獨立乂有連接實現了分 開反應乂相互一體的特點2滾輪傳動體系，電池片的反應和運動電滾轉傳輸控制，這樣可自山調控電 池片在酸堿槽中的反應時間和生產效率:但滾輪傳輸可能出現電池片上的滾輪印，應當有目的的調節其強度，在有效傳 動的情況下減少輪印3酸，堿，溫度控制系統酸堿山一個總的酸堿池，山泵到酸堿槽的下方再山驚喜控制元件調節通過電1檢查各匸作槽的吸風正常.純水.自來水.壓縮空氣等動力源正常2設備點檢：根據RENA清洗機點檢表對設備進行點檢，部分點檢項口要在 開機后上料H U進行檢查確認。重要點檢

5、項U檢查設備的壓縮空氣的壓力要達到6KG.檢查設備的滾輪運行良好，無異常現象檢查設備管道無漏液的現象。檢查DRY的管道沒有堵塞。3設備操作開機程序打開自來水，純水，冷卻水和壓縮空氣閥門打開設備燈，位于灰色的電氣箱旁打開設備前面的的顯示器.開始登陸程式，” Login ”位于窗口的右上角，點擊即可，按“stop”按鈕, 位于屏幕的下面。把etch bath的化學品排到設備的tank里面，因此轉向手動 模式（button umode man）,然后按按鈕” drian bath 在選單” manual etch bath 等待etch bath直到排水完成，圖標顯示” empty “，顏色為黃色。

6、按 下屏幕右上角的” modeoff,使的設備狀態為離線模式。檢查門的位置，正確的 調整好它們的位置。按按鈕” mode off “位于屏幕的右上方，這時門將被封閉， 如果此時門沒有被關好，設備好報警，需要再次登陸，調整好門的位置，然后再 次注銷。關閉機器上面的顯示器。3更換溶液及清洗槽的步驟1.刻蝕槽選菜單 Manual etch bath, mode man,選擇手動模式,然后按下system draining “刻蝕槽和tank的化學品將被排掉，等待化學品排放過程結束，圖標顯示Empty（黃色），此時等待下一道程序。刻蝕槽以及tank沖洗,按下n system rinsing “沖洗（熒

7、幕的左邊）.刻蝕槽以及tank將被充滿水開始循環，這個過程可以設 定沖洗的次數（參數第二參數，第三檔位，位于熒幕的下邊。之后將水排掉， 刻蝕槽和tank將是空的。ALKaline bath選菜單” mannal alkaline 按下” mode man 選擇手動模式按下” drainning u Alkaline bath的化學品將被排掉，等待直到圖標顯示為empty 顏色 為黃色。Alkaline bath沖洗，按下” rinsing “沖洗此時將按設定的清洗次數進行 沖洗。之后將水排掉，保持tank空。（其他兒個槽的更換操作相同）込 瞿證2 11；聖I丿 圧- InTex H r ENA

8、g cervix| |= l| . |r MM2_IRENA后清洗設備PM檢查項U :NO檢查項目實施方法和流程1管道1 .檢查整個管道系統有無滲漏.2 檢查泵的功能是否正常.3 檢查所有的液位傳感器.4 檢查液位傳感器的位置是否正確.2單向閥門1 .檢查單向閥門的連接處有無滲漏，連接是否緊湊.3電氣柜1 .檢查電氣柜里面的接線是否被壓緊.2 .所有的線路蓋板是否都蓋好.3 .檢查電氣柜里面是否有溶液的腐蝕.4 .檢查電氣柜里面的所有器件都裝合適，無懸掛現象.4溶液槽1 .清潔濾網清楚碎片.2 檢查傳動機構的滾輪是否磨損，0型圈是否破損，滾輪的運行 是否良好.3 檢查溢流管是否接好.4 檢查液

9、位傳感器，有無加緊.5風干部分1. 清潔濾網清理碎片.2. 檢查傳動機構的滾輪是否磨損，0型圈是否破損，滾輪的運行 是否良好.6齒輪部分1. 檢查電機的連接處，有無松動損壞.2. 檢查齒輪箱有無異常聲音.83 檢查齒輪箱無腐蝕的想象.4.給齒輪箱加注潤滑油.7風刀部分1 .檢查帶動風刀的電機運行正常，無噪音.2 檢查風刀的方向是否正確3 .檢查風刀電機的皮帶沒有磨損.4 檢查風刀的管道連接出的接頭無漏氣.8供液部分1 .檢查下面的供液部分的液位傳感器是否正常，有無腐蝕損壞，2 檢查漏液傳感器的功能是否正常，有無腐蝕損害.3 檢查抽真空泵工作正常，無漏氣現象，沒有噪音，聲音均勻正 常.4 檢查氣

10、動電磁閥動作正常.9光電部分1 .檢查上下料處的傳感器的功能正常，沒有被腐蝕損害.2 .檢查傳感器的靈敬度是否正好合適.3 檢查傳感器的位置正確，4 .檢查所有的光電傳感器的顯示燈都正常.10整個設備1 .清潔設備，保證設備的外表沒有溶液遺留.2.清潔設備的外表，保持設備的清潔.自己的思考點:問題解決方案：生產過程中出現較多的臟片猜想設備出現問！ 通知QC確認工藝檢查沒問題通知設備檢測 發現臟艸來源肓無廠I對堿槽風刀檢查同時查看過濾網發現有兩點：A未達到使用壽命，但過濾網很臟：B.發現風刀調節過大。問題分析:1 濾網未達到試用壽命，可能是因為堿槽中的堿也被片子帶入到水槽中（含有 一定量的酸），

11、因而發生了酸堿反應生成了大分子的鹽，進而使濾網堵塞。2. 為什么水槽中會有堿液？可能是因為風刀調節過大堿液隨著片子溢過而流到水槽。解決方案：調節風刀的力度，不要發生過噴現象。在加蓋蓋板的時候不要使蓋板撞到風刀，而使風刀的方向發生改變。擴散設備(1)(200)設備認識：1. 控制體系；對N2氣的控制，N2氣對擴散面有很重要的保護和平衡管內氣壓 的作用，使爐內不會出現負壓區域。三氯氧磷的控制，山氮氣的控制從而控 制它的攜帶量，所以氧氯三磷還是山氮氣控制。氧氣的控制，一定量的氧氣 會對硅片表面形成一定的二氧化硅保護層，這直接影響這磷擴散層的厚度。2. 尾氣體系；在擴散過程中產生的尾氣

12、要排除爐內并收集于尾氣瓶中，尾氣是 由尾氣抽氣裝置完成，這樣能形成氣體流動，使尾氣迅速流出爐內。3. 溫度的控制；爐內溫度控制很重要，爐內有5個點測控溫度，這樣能達到準 確的測量其溫度已達到我們所需要的反應溫度。擴散裝置示意圖設備維修：1.日常 PM Daily PMNO檢查項目實施方法和流程1檢查POCL3源瓶情況1. 檢查各連接部分器件是否完好，如有磨損或破損 則更換；2. 檢查連接處是否連接良好無松動3. 檢查源瓶接口處是否破損，破損則更換；4. 檢查源瓶POCL3量是否充足，不足則換新。2檢查三氯氧磷進氣閥和進出 氣閥狀態是否正常1. 檢查接的方法是否正確；2. 檢查源瓶進出口閥門狀態

13、是否正常；3. 軟管是否出現氧化或者破裂。83檢查循環抽風系統，風力穩 定，風口無堵塞用小條紙片放在抽風口觀察紙片擺動U測抽風系 統是否正常有效。4檢查各緊固件情況檢查活動部件的連接是否良好，螺絲等部件有無松 動,根據情況緊固或更換。5檢查冷卻水、氧氣、氮氣壓力 情況，填寫壓力值檢查冷卻水、氧氣、氮氣情況，讀數是否在規定 范圍之內并將讀數記錄在PM表格。6檢查源恒溫箱及溫度設定1.檢查恒溫箱是否工作正常2 檢查彳旦溫箱溫度是否設定在規定范圍，如有偏差 則重新設定2周 PM： Weekly PMNO檢查項目實施方法和流程1清潔長絲桿，并加油潤滑用無塵布擦除長絲桿和直線導軌上的廢油污，并 加潤滑脂

14、油潤滑。2檢查限位開關，動作靈敏可靠檢查限位開關，動作靈敬可鼎，在漿前進的過程 中，撥動限位開關，看前進動作是否立即停止， 否則修理或換新3清潔冷凝瓶及尾氣瓶檢查冷凝瓶及尾氣瓶，根據積液情況，清潔冷凝 瓶及尾氣瓶4檢查各個腔室腔蓋狀況，應密 封良好，無磨損現象檢查各個腔室腔蓋狀況，應密封良好，無磨損現 象，發現密封不好立即調整連接狀況，必要時更 換接頭或密封圈5清理爐口偏磷酸，用砂紙清除 爐口，彈簧和爐蓋處鐵銹清理爐口陳放偏磷酸的石英盒，清理干凈后放回 原處，用砂紙打磨清除爐口和爐蓋處產生的鐵 銹。3月 PM： Monthly PMNO檢查項目實施方法和流程1檢查轉軸電機運行狀況,應運轉檢查轉

15、軸電機運行狀況，應運轉靈活順暢，檢8靈活順暢查同步帶的磨損情況，發現異常立即停機維 修。2溫度控制器狀況，應靈敬、顯示 準確檢查溫度控制器狀況，應靈敬、顯示準確3檢查驅動軸運行狀況磨損，應靈 活、無噪聲檢查驅動軸運行狀況磨損，應靈活、無噪聲， 檢查軸承磨損狀況，發現運轉不暢，需要立即 更換。4檢查前后步行電機離合器狀況 應靈敏、動作準確檢查前后步行電機離合器狀況應靈敬、動作準 確，發現異常需立即調整，甚至更換備件5檢查三氯氧磷管道疏通狀況，清 理管道檢查三氯氧磷管道疏通狀況，發現沉積較多物 質，需立即清理管道，防止堵塞6檢查尾氣管情況檢查尾氣管是否暢通，如堵塞則更換問題思考：問題1-當尾氣的石

16、英管插入爐內的時候要保持一定的角度，即管口高于管尾, 這樣有利于冷凝物流出爐內。問題2-尾氣的冷凝瓶的接口處可以增加一些回環的裝置已增加冷凝的效率， 并且在冷凝瓶中增加一些小玻璃瓶用來增加尾氣在瓶內的停留時間。問題3-一石英管壽命的測算，應該對石英管壽命進行長期的跟蹤，研究其壽命 和生產效率最好的結合點。啟發點：1. 每根爐管需要有固定的石英舟，避免出現交義污染。2. 擴散用的石英舟義需要的石英套管，避免金屬污染導致產生復合中心。3. 石英舟，石英管,碳化硅槳定期清洗，定期清洗，避免污染。4. 需要購置放石英舟的氮氣柜以及上下片所用的凈化層流臺，保證擴散工序所 需的工藝衛生條件。5. 增加少子

17、壽命測試，監控爐管狀態，提高監控力度，觀察爐管狀態。6. 試驗高壽命石英管提高產能&降低備件費用。PECVD 設備(2001)1. 設備認識晶片裝載區 晶片裝載區：槳、LIFT、抽風系統、SLS系統。槳：山碳化硅材料制成，具有耐高溫、防變形等性能。作用是將石墨舟放入或 取出石英管。LIFT：機械臂系統，使舟在機械臂作用下在小車、槳、儲存區之間互相移動。 抽風系統：位于晶片裝載區上方，初步冷卻石墨舟和一定程度的過濾殘余氣體。SLS系統：軟著陸系統，控制槳的上下，移動范圍在23厘米。爐體：石英管、加熱系統、冷卻系統石英管：爐體內有四根石英管，是鍍膜的作業區域，耐高溫、防反應。加熱系

18、統：位于石英管外，乂五個溫區冷卻系統：是一套封閉的循環水系統，位于加熱系統的金屬外殼，四進四出并 有一個主管道，可適量調節流量大小。特氣柜：MFC氣動閥MFC：氣體流量計(NH3、C2F6、SiH4、02、N2)SiH41.8slmNH310.8 slmC2F63.6 slm023 slmN215 slm氣動閥：不用電磁閥是因為電磁閥在工作時容易產生火花，而氣動閥可以 最大程度的避免火花。真空系統真空泵：每一根石英管配置一組泵，包括主泵和輔助泵。蝶閥：可以根據要求控制閥門的開關的大小，來調節管內氣壓的控制系統。 控制系統CMI：是Centrotherm研發的一個控制系統，其中界面包括Jobs

19、SystemDatalog Setup Alarms Help.Jobs:機器的工作狀態。System:四根管子的工作狀態，舟的狀態以及手動操作機器臂的內容。Datalog:機器運行的每一步。SiNAVI hr典工PHOB 47 1i 200701124SiNA “仞MV胃，1工乞方ll- - II1ROTH l&RAUPM內容及維護指導N0檢查項實施方法和流程備注1真 空 計PKR251. BARATRON、TPP280、PN7、VS16K 每月比較壓力，具體方 法為，將2、3號門打開，觀察3個圧力傳感器的顯示是否大致相 冋，如有出現偏差較大的，則通知設備工程師或設備技術員進行 更換.每年或

20、根據工藝需要，將以上傳感器進行清潔，檢查設置 是否正確.傳感器為高 敏感性器 件，小心內 部的探針2泵檢査氮氣流量、冷卻水和油的高度和質量.每周需檢查冷卻水是 否干凈，如出現銹水或水比較渾濁，需檢査冷卻水的接口是否需 要更換同時冷卻水的壓力不能低于橙色的水位線油的高度也 不能低于最低線.尤其對丁羅茨泵，冷卻水的檢查尤為重要，否 則會造成羅茨泵溫度過高，產生報警.每月需檢査所有管線和泵 的連接處是否完好，如有松動須固定要.年度的檢查需對羅茨泵 和機械泵進行換油，檢查冷卻套.（如日常檢查時發現，油比較渾 濁則需要及時通知設備工程師或設備技術員，并換油）關丁泵房 的溫度需要時時關注，如通風狀況不好，

21、則需及時通知外圍設施 采取措施.操作的時候 小心高溫， 注意佩帶高 溫手套3閥 門各處的角閥目視檢查，并進行真空檢測，每月進行清潔觀察門 的開啟和關閉狀況，確認氣動閥的狀態是否正常.84傳輸 系 統工藝腔的位置傳感器每夭進行清潔，每次打開蓋板后，用細管接 在吸塵器管上，吸出位置傳感器里的雜質檢查皮帶有沒有破 損，是否剛好卡在傳動輪內，.清潔掉上面的灰塵和氮化硅粉末. 檢查所有的張緊輪.每月對所有的位置傳感器做一次清潔.吸出 里面的氮化硅.根據需要對轉輪進行加油潤滑載板的導軌每月 進行一次定性檢查，發現有斷裂或磨損過度,可能影響到正常生 產的經設備工程師或設備技術員確認后進行更換.根據工藝盡 要

22、對載板的掛鉤進行清潔，用尖嘴嵌將上面的氮化硅夾落，注意 不要將掛鉤弄彎或弄斷載;板每半年清潔一次，用10飾的HF浸泡 8小時或用噴砂機處理，方法和清潔反應槽一樣.操作時應關 閉所有的傳 輸系統當心 手被夾到5集 氣 系 統冷卻水的壓力范圍在36bar,壓縮空氣圧力范圍為47bar,氮氣 的壓力范圍是5-7bar,氨氣和硅烷的壓力范圍在2-2. 5kgf/cm2. 機器停產前應進行氣體管道吹掃，重新開始生產后也應進行氣 體管道的吹掃.取出冷卻水進水口處的濾網，進行清潔,檢査水 流監測器是否正常觀察水的顏色，如出現銹水或水比較渾濁， 則需通知外圍設施處理.對于氮氣壓力不足，則需要引起重視， 因為氮

23、氣壓力不足會引起氨氣和硅烷的報警，造成產品色差.6腔體每次更換完石英管，關閉蓋板前需將密封墊和蓋板接觸處全部 擦試干凈，并檢查是否有破損，如需要更換通知設備技術員或設 備匚程師確認.同時注意密封墊外的慮網上是否有雜物每次開 腔，清潔出里面的硅片碎片和氮化硅粉末.檢查進料腔的紅外線 加熱管是否有損壞的（表現為顏色發白），則通知設備技術員或 設備工程師進行更換.每次打開蓋板前,要關閉4個倉門，如沒有 關閉需清潔密封圈和倉門清潔時要用硬物擋擱在門中，執行此 操作時，不允許任何人操作機器，非相關人員不得在操作臺附 近！清潔氮化硅 時要佩帶防 護眼鏡，必 要的部位需 要佩帶高溫 手套7等 離 子 源使用

24、國產石英管一般32小時更換一次，須根據作業指導書進行. 卸下石英管后，目視檢査所有氣體噴嘴是否有堵塞.如有堵塞則 要用1mm的鉆頭通好氣孔.，每周需耍清潔敷層防護槽和氣體噴 嘴.等離子源風機目視檢查所有過濾器每月將防護槽卸下進行 清潔,用干冰噴砂.（清潔時盡量加大氣體壓力，反應槽不會因此 變形操作者的體重需超過80kg）.微波發生器的壽命為6-8個 月，如機器提示壽命己到則進行更換.（或根據工藝需要進行更 換）更換完石英 管后應用微 波泄漏測試 儀檢測是否 有微波泄漏8石 墨 框 自 動 傳 輸動力源部分的點檢:圧縮空氣范圍為0. 4-0. 8MPa.上料升降機馬 達的傳輸速度設定為100,下

25、料升降機馬達的傳輸速度設定為70,變頻器的頻率設定為60H乙每夭清潔上下料升降機光電傳感 器和反光板，框子在傳輸線上行走有無異常，主體線和上下料升 降機馬達運轉是否正常，鏈條行走是否正常：每周清潔主體線上 的光電感應器和反光板;每月觀察電機運動是否正常，是否出現 抖動，上下料升降機處在升起或下降位置時，升降機傳輸輪跟8系 統上下料臺傳輸輪是否在同一水平線上，若出現偏差，需對其進 行調整調整：每月對主體線和上下料升降機馬達鏈條和軸承進 行檢查清潔并加油。石英管的更換:1. 準備工作停機-一停止工藝運行，停止傳動運行；對特氣管路的吹掃；降溫一-溫度降到300度時，點擊三個真空泵的待機按扭向腔體中充

26、N2；開蓋一-需要降到200度以下才能打開腔蓋；選擇點擊“蓋板控制”按扭；選 擇點擊所需打開的蓋板“打開控制按扭，并確認，兩手同時按壓蓋板 控制按扭，控制按扭；2. 更換步驟1. 從機器兩側微波頭中拔出銅天線1OCM；2. 等工藝腔溫度降到100度后，拆除舊石英管.穿戴好防護用品，防止燙傷劃 傷，氮化物進入眼睛，穿好鞋套。用工具松開石英管兩側鎖緊頭10CM,從等 離子源中水平移出石英管。3. 銅導管和天線安裝之前一定要擦干凈，對于上面褐色的氧化層也要盡量去 除（可以使用顆粒較細的砂紙）如果有彎曲，一定要更換；安裝時候一定要 檢查是否裝好，觀察銅管有沒有被天線頂下來或者裝歪；如果天線插入的時 候

27、太松，也需要更換。4. 檢查所有密封圈及鋁帽截面是否磨損劃傷，有則更換。5. 將所有完好的密封圈和鋁帽放到酒精中進行清洗。6. 清洗完后，將聚四氟乙烯支撐圓盤放入鋁罩內，然后放置密封圈，按黑口 黑白順序放置。7. 將卡口互鎖插頭、鋁制插入項圈依次套入石英管。8. 用酒精或IPA將石英管潤滑后，用力擠壓并插入準備好的鋁罩中。9. 將石英管內的銅管正確的放入聚四氟乙烯的支持圓盤中。（石英管內的銅 管必須從支持圓盤的中心的孔）中放入。10. 將兩側的卡口互鎖插頭滑至石英管的終端。11. 將另一側的卡口互鎖插頭及備件安裝好。12. 安裝石英管.水平放置石英管于等離子源槽中，把石英管兩側的鎖緊頭插8進機

28、器的鎖緊件里。13. 用工具稍微鎖緊一側的鎖緊頭，再鎖緊另一側，然后兩側輪流均勻鎖緊， 一定要鎖緊，但不需鎖到底，再用吸塵器吸去氮化物.14. 慢慢的旋轉銅天線，使之插入微波頭，注意一定要插到頭.檢查銅導管是否插 在石英管的中間，注意不能插偏.思考問題：1. 山于取放石墨框操作不規范，導致石墨框導軌條更換頻繁。2. 傳感器要經常檢查，會導致石墨框在工藝腔體中出現短暫停頓才會產生條狀 的色差。3. 從機器里出來的片子沒有沉積膜，具體表現為顏色還是硅片本身的顏色，檢 查發現在工藝過程中工藝腔的壓力高于工藝時要求的壓力；通常導致漏氣的原因：石英管沒安裝好：會導致腔體有大漏高溫膠帶質量有問題和膠帶纏繞

29、手法有問題：導致對石英管保護不利, 在大功率微波和高溫的雙重作用下導致石英管變形或開裂石英管本身質量有問題：達不到標準使用壽命絲網印刷設備（2-13）一.設備的認識Multi-Print/Dry PV Solar Cell Line二設備維修1 日保養表NO檢查項目實施方法和流程備注1片盒上料履帶狀況U視檢查上料傳動履帶上的塑料 傳送帶表面是否有破損現象，視磨 損的狀況選擇是否要更換，比如表 面有明顯的劃斷、凹凸不平，摩擦 表面阻力小,需要更換一個新的履 帶。2各傳感器狀況檢查上料、出料、檢測探針以及轉 盤下方定位部位的光電和磁性傳 感器，信號是否切換正常。（放大 器發射和接受信

30、號是否正常。）3烘箱托盤狀況U視檢查不銹鋼托盤表面是否變 形，掛鉤地方是否有卡死現象。如 果有此現象，調整左右掛鉤孔的位 置，放正托盤的位置。4walking beam 清理清理walking beam表面和內部的 碎晶削.手動的滑動walking beam 左右動作,判斷是否受阻生產部每班操作人 員執行，技術員檢 查5各氣體管路情況檢查各個管路（氣體，液體等）壓力 表指針是否在正常范圍值上（各個 表頭上貼有允許范圍標簽,是否有 漏水漏氣現象.86夾取分選裝置檢查所有吸取電池片機械手，動作 靈活，位置是否準確，各個部位的 夾具是否恰當.7測試探針狀況檢查測試探針表面是否已經被氧 化或者變形以及

31、導通接觸不良：1. 拆卸探針的上下定位壓塊，LI視探 針接觸的皇冠頭表面是否有氧化 的現象，如果發現有上面的現象， 當場更換新的。2.用萬用表的兩個 表針分別放在探針的表面和信號 輸入線上，如果發現接觸不良，當 場更換新的。3.變形的探針直接更 換，保證接觸電池片時候不會有偏 移的現象8分類檢測裝置檢查人造太陽燈光強有無異常，射 頻發生器輸出功率是否正常，如果 大于9 5 %,光強還無法達到需要 范圍，應及時更換燈管.2 周保養表NO檢查項目實施方法和流程1各個氣缸運行狀況(上料片盒前后定 位氣缸，電池片吸片 氣缸等)在PC操作界面上的手動操作菜單選擇正確的命令，按 下按鈕開關的job (+)

32、，此時定位氣缸應該抬起來，反之， 按下按鈕開關的jOb (-),定位氣缸應該降下去。重復操 作上面的過程，判斷氣缸動作的靈活性。如果發現有動 作不正常狀況，及時保養氣缸或者更換。2電池片抓料吸嘴拔掉抓料氣缸上面的吸片塑膠頭，檢查表面是否有破損 現象，接觸電池片的表面有污垢沉積，如果有上述現象 直接更換。3walking beam 動作 狀況1.拆卸電池片滑動托塊兩邊的擋板,用無塵布擦掉 walking Beam軌道槽內的碎片和油垢，拆卸walking beam上面的連接桿上的活結，手動的滑動walking beam左右動作，判斷是否受阻;2.如果有異常，拆除 walking beam周邊的固定

33、螺幺幺.，判斷是否滑塊出現問 題，還是有碎片卡住walking beam依次逐步排除問題； 3.加油潤滑所有滑軌。4印刷臺夾具頂桿狀 況1.拆卸印刷臺換紙部位的工作臺下面的防護板，手動的 上下頂起印刷臺下面的電池片頂桿的“十”字型支架，8查看四個支柱頂桿上下動作是否正常無阻力，如果發現 異常，拆卸頂桿“十”字支架，取岀四根頂桿，看是否 有變形現象，如果有異常，更換舊的頂桿。2并且檢查 一下，頂桿軌道槽里是否有漿料污垢沉積在里面，如果 有異常，清理軌道槽里的漿料污垢。3轉動圓盤，依次 檢查其他兒個夾具頂桿，方法同上。5燒結爐狀況拆卸每節燒結爐兩邊的積油箱，有酒精清理里面的油 垢.檢查履帶轉動情況

34、是否正常.6抽風電機運行狀況檢查抽風口部位是否有向上的吸力（負壓），取一張白紙 平放在抽風口部位，目視紙張是否被負壓吸上去，如果 吸力過小或者沒有吸力及時通知外圉設施部門來現場 調整。3 月維護保養表NO檢查項目實施方法和流程1印刷設備狀況檢查印刷機頭的位置，螺絲和皮帶的松緊，印刷設備的 傳輸連接裝置，編碼器等位置是否正常.2鏈條、齒輪運行狀況1.拆卸烘箱周邊護板，查看鏈條和齒輪磨合的地方的潤 滑的狀況，高溫油脂是否有滴點的現象，傳動的時候是 否有較大的阻力；2如果潤滑不夠，在傳動機構接觸面積比較大的地方，涂上耐高溫、無滴點 300 C以上的高溫潤滑油脂，保證傳動烘箱里鏈條和齒 輪傳動的部位得

35、到足夠的潤滑效果。3電機轉軸運行狀況1.拆卸烘箱周邊的防護板，在軟件操作菜單里關閉紅外 加熱器，空運轉設備，查看電機的轉軸方向是否正確;2 轉動的時候是否有異常的聲音，如果有異常，拆卸傳動 電機的四個邊的固定螺絲，將變速箱和電機轉軸分開， 用來判斷問題的根源;3此時，繼續空運轉烘箱，電機 轉軸應該一直處于高速運轉狀態，判斷是否正常，如果 正常，停止空運轉，將變速箱安裝在轉軸上面繼續空運 轉，查看是否有異常聲音，如果正常，將鏈條和變速箱 連接起來，空運轉，如果有異常，可以判斷出，鏈條和 變速箱部位受的阻力太大，檢查鏈條和齒輪的潤滑部 位，加潤滑油脂可以解決這個問題。4紅外加熱管狀況1. 拆卸烘箱

36、周圍的防護板，用萬用表的檢查紅外加熱是 否有斷絲，無電阻現象，如果斷絲，取新加熱管更換.2. U視加熱管管壁表面是否有灰塵沉積，用無塵布擦拭8表面的灰塵,然后用無塵布沾酒精再次擦拭一遍紅外加 熱管的外圍管壁。5燒結爐加熱系統降溫并打開燒結爐體，有無塵布醛酒精擦拭各石英管， 用吸塵器清理各石英管箱底部,手動打開加熱系統，U 視各個石英管亮度是否均勻，如發現異常，應及時更換 石英管.三.絲網印刷常見的問題以及解決的方法第一道：1.上料臺Feed C/V2經常會有承載盒不到位引起的報警，可以分為兩 種：一種是Magazine處在Down的位置，只要把盒子推到位就可以了； 另一種是Magazine處在Up的位置，那時你推