1T/UNPXXX—2025自動(dòng)砂輪劃片機(jī)技術(shù)要求本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了自動(dòng)砂輪劃片機(jī)（劃片過程自動(dòng)化，以下簡(jiǎn)稱“劃片機(jī)”）的技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于切割分離硅片的劃片機(jī)，產(chǎn)品也可以用于切割分離石英、玻璃、陶瓷、鈮酸鋰、砷化鎵和磁鋼等脆硬材料。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T191包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志GB/T5080.7設(shè)備可靠性試驗(yàn)恒定失效率假設(shè)下的失效率與平均無故障時(shí)間的驗(yàn)證試驗(yàn)方案GB/T25915.1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)SJ3213一般電子產(chǎn)品運(yùn)輸包裝基本試驗(yàn)方法汽車運(yùn)輸試驗(yàn)SJ/T10479自動(dòng)砂輪劃片機(jī)3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1自動(dòng)砂輪劃片機(jī)automaticgrindingwheelcuttingmachine一種用于切割薄硅片的高精度設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中。它通過高速旋轉(zhuǎn)的砂輪進(jìn)行切割，具有成本低、效率高的特點(diǎn)。4技術(shù)要求4.1使用條件劃片機(jī)在下列使用條件下應(yīng)能正常工作：a）溫度23±4）℃;b）相對(duì)濕度：≤80%;c）潔凈度：劃片機(jī)用于集成電路制造時(shí)，使用環(huán)境應(yīng)符合GB/T25915.1規(guī)定的ISO4級(jí)或以上要求；用于其他用途時(shí)，使用環(huán)境應(yīng)滿足相應(yīng)要求；d）供電條件：交流電壓220V±10交流電壓380V±10頻率50Hz±2功率3kW以上；e）供氣條件：壓縮空氣壓力應(yīng)≥0.5MPa，流量應(yīng)≥0.3m3/min；f）供水條件：去離子水壓力應(yīng)≥0.2MPa，流量應(yīng)≥3.0L/min,溫度(10～30)℃。T/UNPXXX—202524.2外觀劃片機(jī)外觀應(yīng)平整、光滑，無劃傷痕跡，無銹蝕現(xiàn)象，鍍/涂層應(yīng)不脫落。4.3工作行程6英寸劃片機(jī)工作行程應(yīng)≥155mm，8英寸劃片機(jī)工作行程應(yīng)≥210mm，12英寸劃片機(jī)工作行程應(yīng)≥310mm。4.4工作精度4.4.1X軸垂直度誤差X軸導(dǎo)軌與Y軸導(dǎo)軌的垂直度誤差應(yīng)≤0.005mm。4.4.2Y軸步進(jìn)誤差和累積誤差4.4.2.1Y軸步進(jìn)誤差在工作行程內(nèi)，Y軸步進(jìn)誤差應(yīng)≤0.002mm。4.4.2.2Y軸累積誤差在工作行程內(nèi)，Y軸累積誤差應(yīng)≤0.003mm。4.4.3Z軸定位誤差Z軸升降定位誤差應(yīng)≤0.001mm。4.4.4θ軸轉(zhuǎn)角誤差θ軸轉(zhuǎn)角誤差應(yīng)≤±15″，并符合SJ/T10479中3.4.4的規(guī)定。注：X軸指帶著工作臺(tái)移動(dòng)方向，Y軸指主軸相對(duì)于機(jī)身正面前后移動(dòng)的方向，Z軸指主軸相對(duì)于機(jī)身上下移動(dòng)方向，θ軸指工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)的方向。4.5主軸精度空氣靜壓電主軸端面與X軸導(dǎo)軌的平行度誤差應(yīng)≤0.002mm。4.6工作臺(tái)精度劃片機(jī)工作臺(tái)精度依據(jù)不同尺寸規(guī)格為：6英寸≤0.006mm；8英寸≤0.008mm；12英寸≤0.008mm。4.7開槽寬度開槽寬度應(yīng)≤刀厚+0.01mm（具體要求應(yīng)符合產(chǎn)品的使用說明書）。4.8保護(hù)功能各保護(hù)開關(guān)應(yīng)工作可靠。a）當(dāng)壓縮空氣壓力降至設(shè)定的保護(hù)壓力值（偏差±10時(shí)，其保護(hù)開關(guān)應(yīng)能立即作用，使主軸停轉(zhuǎn)，劃片機(jī)停止劃片；b）當(dāng)工作臺(tái)吸片壓力大于或等于設(shè)定的保護(hù)壓力值（偏差±10時(shí)，其保護(hù)開關(guān)應(yīng)能立即作用，使劃片機(jī)停止劃片；T/UNPXXX—20253c）當(dāng)冷卻水壓力降至設(shè)定的保護(hù)壓力值（偏差±10時(shí)，其保護(hù)開關(guān)應(yīng)能立即作用，使主軸停轉(zhuǎn)，劃片機(jī)停止劃片。4.9噪聲劃片機(jī)噪聲聲壓級(jí)應(yīng)≤65dB(A)。4.10試運(yùn)行劃片機(jī)應(yīng)試運(yùn)行，試運(yùn)行后，檢驗(yàn)工作精度、工作臺(tái)及各保護(hù)功能。4.11試劃片劃片機(jī)經(jīng)試運(yùn)行后，應(yīng)進(jìn)行試劃片，檢查劃片質(zhì)量。4.12可靠性4.12.1劃片機(jī)平均無故障工作時(shí)間（MTBF）的下限值ml應(yīng)≥168h。4.12.2劃片機(jī)兩次報(bào)警之間平均工作時(shí)間(MTBA)應(yīng)≥2h。。4.13運(yùn)輸試驗(yàn)劃片機(jī)包裝后按照5.12的規(guī)定進(jìn)行試驗(yàn)，試驗(yàn)后劃片機(jī)的結(jié)構(gòu)及精度等不得改變，通電后劃片機(jī)應(yīng)能正常運(yùn)轉(zhuǎn)。5檢驗(yàn)方法5.1外觀檢查用目測(cè)法進(jìn)行外觀質(zhì)量檢查。5.2工作行程檢查用最小分度值為1mm的卷尺或鋼板尺測(cè)量工作行程。5.3工作精度檢查5.3.1X軸垂直度誤差檢查將150mm×150mm方形角尺或?qū)Ｓ脴?biāo)準(zhǔn)測(cè)量板放置在工作臺(tái)上，千分表固定于主軸保護(hù)罩上，角尺的一邊與X軸導(dǎo)軌調(diào)平行，主軸沿Y軸導(dǎo)軌移動(dòng)測(cè)量角尺的另一邊。5.3.2Y軸步進(jìn)誤差和累積誤差檢查用陶瓷尺或其它測(cè)量?jī)x器測(cè)量Y軸步進(jìn)誤差和累積誤差。5.3.3Z軸定位誤差檢查將千分表固定于工作臺(tái)圓心位置，表頭接觸主軸防護(hù)罩上端，在千分表量程范圍內(nèi)，升降主軸50次，讀出每次主軸下降后的千分表示數(shù)，取50次示數(shù)之間的最大偏差。5.3.4θ軸轉(zhuǎn)角誤差檢查T/UNPXXX—20254將標(biāo)準(zhǔn)板固定在工作臺(tái)上，使標(biāo)準(zhǔn)板上的刻線與顯微鏡中的一字線平行。操作轉(zhuǎn)角按鍵，讓工作臺(tái)轉(zhuǎn)90°,用最小轉(zhuǎn)角比較檢查轉(zhuǎn)角誤差。5.4產(chǎn)品合格證檢查按圖1所示，將千分表固定在工作臺(tái)上，沿X軸方向移動(dòng)工作臺(tái)，在給空氣靜壓軸承供氣時(shí)，測(cè)電主軸安裝刀片的最大定位端面。圖1主軸檢查方法示意圖5.5工作臺(tái)精度檢查按圖2所示，將千分表固定在主軸防護(hù)罩上，分別移動(dòng)X軸、Y軸導(dǎo)軌，在工作臺(tái)上表面9點(diǎn)處(周邊均布8點(diǎn)及中心點(diǎn))進(jìn)行測(cè)量，將工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)90°再測(cè)一次，對(duì)于6英寸劃片機(jī)，d=150mm±2mm；對(duì)于8英寸劃片機(jī)，d=200mm±2mm；對(duì)于12英寸劃片機(jī)，d=300mm±2mm。圖2相對(duì)X軸、Y軸導(dǎo)軌平行度檢查方法示意圖5.6開槽寬度測(cè)量用測(cè)量顯微鏡檢查試件開槽寬度。5.7保護(hù)功能檢查檢驗(yàn)各保護(hù)開關(guān)功能。a）逐漸降低壓縮空氣壓力，直至設(shè)定的保護(hù)壓力值（偏差±10觀察其保護(hù)開關(guān)能否立即作用，能否使主軸停轉(zhuǎn)，劃片機(jī)停止劃片；b）逐漸增大工作臺(tái)吸片壓力，直至設(shè)定的保護(hù)壓力值（偏差±10觀察其保護(hù)開關(guān)能否立即作用，能否使劃片機(jī)停止劃片；c）逐漸降低冷卻水壓力，直至設(shè)定的保護(hù)壓力值（偏差±10觀察其保護(hù)開關(guān)能否立即作用，能否使主軸停轉(zhuǎn)，劃片機(jī)停止劃片。T/UNPXXX—202555.8噪聲檢查劃片機(jī)在試運(yùn)行過程中，在主軸額定轉(zhuǎn)速下，用精度為2dB的聲級(jí)計(jì)，在劃片機(jī)正前方1m、高出地面1.5m處，測(cè)量噪聲聲壓級(jí)（A計(jì)權(quán)）。5.9試運(yùn)行試驗(yàn)將主軸速度調(diào)至30000r/min，使劃片機(jī)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)2h，然后在主軸不轉(zhuǎn)的情況下，使劃片機(jī)運(yùn)行24h（連續(xù)運(yùn)行不得少于12h）。5.10試劃片試驗(yàn)5.10.1軟刀盤用50.8X40X0.035粒度為4/8，或同類型的刀，硬刀盤用NBC-ZH2050-SEK4427HEDC，或同類型的刀，實(shí)劃硅片5片。5.10.2在標(biāo)尺顯微鏡下檢查劃片質(zhì)量，開槽寬度應(yīng)軟刀≤刀厚+0.01mm，硬刀≤刀厚+0.005mm。(具體要求應(yīng)符合產(chǎn)品的使用說明書)。5.11可靠性試驗(yàn)5.11.1劃片機(jī)可靠性試驗(yàn)劃片機(jī)平均無故障工作時(shí)間和兩次報(bào)警之間平均工作時(shí)間按GB/T5080.7中第5章規(guī)定的定時(shí)（定數(shù)）截尾試驗(yàn)方案5:7進(jìn)行：α為20%;β為20Dm為3；截尾時(shí)間為1.46m0；截尾失效數(shù)為3。5.11.2劃片機(jī)無漏水試驗(yàn)劃片機(jī)帶水工作累計(jì)100h后，目測(cè)各個(gè)防漏水部位應(yīng)無漏水現(xiàn)象，并檢查劃片機(jī)性能是否正常。5.12運(yùn)輸試驗(yàn)劃片機(jī)包裝后，按SJ3213的規(guī)定進(jìn)行試驗(yàn)。6檢驗(yàn)規(guī)則6.1檢驗(yàn)分類劃片機(jī)的檢驗(yàn)分為鑒定檢驗(yàn)和出廠檢驗(yàn)。6.2鑒定試驗(yàn)6.2.1通則在有下列情況（包含但不限于）之一時(shí)，應(yīng)進(jìn)行鑒定檢驗(yàn)：a）新產(chǎn)品定型或產(chǎn)品改進(jìn)設(shè)計(jì)后定型時(shí)；b）產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)時(shí)；c）產(chǎn)品關(guān)鍵部件、材料、工藝有較大改變，可能影響產(chǎn)品性能時(shí)；d）產(chǎn)品長(zhǎng)期停產(chǎn)再次恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)；e）出廠檢驗(yàn)結(jié)果與鑒定檢驗(yàn)結(jié)果有較大差異時(shí)；f）質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督機(jī)構(gòu)等提出鑒定檢驗(yàn)要求時(shí)。6.2.2抽樣T/UNPXXX—20256鑒定檢驗(yàn)樣機(jī)應(yīng)隨機(jī)抽樣（至少1臺(tái)）。6.2.3檢驗(yàn)項(xiàng)目鑒定試驗(yàn)的檢驗(yàn)項(xiàng)目應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1檢驗(yàn)項(xiàng)目1●●2●●3●●4●●5●●6●●7●●8●●9●●●●●●●●●●●6.2.4合格判定當(dāng)所有鑒定檢驗(yàn)項(xiàng)目檢測(cè)結(jié)果都合格時(shí)，則該產(chǎn)品鑒定檢驗(yàn)合格；若任一鑒定檢驗(yàn)項(xiàng)目不合格，則該產(chǎn)品鑒定檢驗(yàn)不合格。6.3出廠檢驗(yàn)6.3.1通則每臺(tái)產(chǎn)品均應(yīng)進(jìn)行出廠檢驗(yàn)，檢驗(yàn)合格后方可出廠。6.3.2檢驗(yàn)項(xiàng)目出廠檢驗(yàn)的檢驗(yàn)項(xiàng)目應(yīng)符合表1的規(guī)定。6.3.3合格判定當(dāng)出廠檢驗(yàn)所有受檢項(xiàng)目全部合格時(shí)，則判定出廠檢驗(yàn)合格。當(dāng)出廠檢驗(yàn)出現(xiàn)不合格項(xiàng)目時(shí)，允許返修后重新檢驗(yàn)，返修次數(shù)應(yīng)不超過2次。若復(fù)檢仍不合格或出現(xiàn)不可修復(fù)項(xiàng)目，則判定出廠檢驗(yàn)不合格。7標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存T/UNPXXX—202577.1標(biāo)志7.1.1產(chǎn)品標(biāo)志產(chǎn)品標(biāo)牌至少應(yīng)包含下列內(nèi)容：a）制造廠名；b）產(chǎn)品型號(hào)；c）產(chǎn)品名稱；d）商標(biāo)；e）出廠編號(hào)；f）制造日期。7.1.2包裝標(biāo)志包裝箱外壁標(biāo)志應(yīng)符合GB/T191的要求，有“易碎物品”、“向上”、“怕雨”等標(biāo)志。7.2包裝