2《氧化銦錫靶材》一工作簡況1.1、任務來源根據國標委發[2022]6號、項目編號20220979-T-610的文件要求，GB/T20510-2017《氧化銦錫靶材》國家標準的修訂任務由先導薄膜材料（廣東）有限公司負責完成，標準修訂參與單位為：株洲冶煉集團股份有限公司、廣西晶聯光電材料有限責任公司、蕪湖映日科技有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、株洲火炬安泰新材料有限公司、深圳市中金嶺南有色金屬股份有限公司、成都中建材光電材料有限公司、上海大學、廣東歐萊高新材料股份公司、河北恒博新材料科技股份有限公司、廣東先導稀材股份有限公司、福建阿石創新材料股份有限公司等。1、2標準修訂項目的和意義氧化銦錫（即IndiumTinOxide，簡稱ITO）靶材是將氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經過一系列的生產工藝加工成型，再經過高溫氣氛燒結形成的黑色陶瓷材料半導體，氧化銦錫靶材最主要的應用是用于磁控濺射制備ITO透明導電薄膜的原料。這種透明導電薄膜對可見光透過率>85%，紅外光反射率>90%，且導電性好，有優良的化學穩定性、熱穩定性和刻蝕性，是一種用途十分廣泛的特種薄膜材料，廣泛應用于平板顯示器、防輻射玻璃、太陽能光伏電池板等領域。氧化銦錫靶材的氧化銦和氧化錫按照不同的比例形成了不同的產品類型，現在市場主要的質量比類型有90:10、93:7、97:3三種類型。產品的外形有平面型和管型兩種類型，一般稱為平面靶和旋轉靶。ITO靶材的純度、電阻率、外觀質量、內部缺陷、相對密度等指標對最終產品質量有著決定性影響。隨著我國的科技進步及產業的發展，以前ITO靶材市場幾乎由日、韓、美壟斷局面已改變為有中、日、韓主導，其中我國的ITO靶材產量已占全球40%以上，產品覆蓋高中低端全范圍。ITO靶材主要應用于平板顯示PFD市場和薄膜太陽能電池市場，在平板顯示面板的生產工藝中，LCD和OLED玻璃基板均需要多次濺射鍍膜形成ITO玻璃，是當前ITO靶材的主要需求，占比將近50%。隨著全球平板顯示產業中心逐步向中國轉移，在各級地方政府的支持下，眾多平板顯示國內外廠商加大了在我國3大陸投資建設面板新產線的力度。2016年我國大陸平板顯示產能首次超過我國臺灣地區，2019年又繼續超過韓國成為全球最大的平板顯示產能地區，占比34%。2018年至2020年，我國大陸顯示面板產能將持續大幅增加，至2022年，我國大陸產能占比達到80%，全球產能向我國大陸集中趨勢明顯。薄膜太陽能電池市場是ITO靶材需求的第二增長極。太陽能電池主要分為晶體硅太陽能電池和薄膜太陽能電池，ITO靶材應用于后者。受限于晶體硅太陽能電池的轉換效率已經接近其理論值，而薄膜太陽能電池的轉換效率在逐年提高，加之薄膜太陽能電池理論效率高、材料消耗少、制備能耗低，且產業化技術逐步成熟，未來發展前景看好。2016-2019全球薄膜太陽能電池產量從4832MW增長至2019年的6432WM，年復合增長率10%，預計2022年可達7256WM。中國薄膜太陽能電池產量呈現了欣欣向榮的發展趨勢。2019年，中國薄膜太陽能電池產量為862MW，增速12.7%，預計2020-2020也將以類似的增速增長，2022年產量達近1102MW。ITO靶材是我國明確要求發展的重點高新材料，工業與信息化部發布的《重點新材料首批次應用示范指導目錄（2019版）》第192項的重點高新材料項目為“高密度ITO靶材，應用領域太陽能光伏、電子信息”。國家標準化管理委員會發布的《2021年國家標準立項指南》第（二）章節強調：加強“碳達峰”標準化支撐力度，加快新能源開發利用、電力儲能、需求側等的管理，推進能源互聯網標準化工作，推進光伏能源標準體系建設，而氧化銦錫靶材就是極具前景的異質結光伏電池產業的核心基礎材料。原國家標準GB/T20510-2017《氧化銦錫靶材》是我國在氧化銦錫靶材方面制定的推薦性國家標準，因為該標準制定時我國的ITO靶材生產尚處于加速發展的初步階段，ITO靶材生產仍然有許多的認識需要填補和加強，而現在我國的ITO靶材生產已進入高端化大規模化的生產階段，對產品的認識也水漲船高，原標準中已有不符合現在生產的實際情況或不能完整體現現在的實際情況，如牌號的劃分和物理規格品種已等；現在一般實際生產情況以In2O3和SnO2的質量比作為類型牌號的區別，而不會用相對密度作為牌號的區別，因為相對密度大于99.6%已是行業基本要求，隨著ITO應用領域的拓展，能夠提供多種的氧化銦和氧化錫的配比的產品已是生產企業的日常要求；原標準中只強度了平面型一種規格類型，而現在的產品規格除了平面型，管狀型也已是常規產品。因而順應我國日新月異的科技進步能力，修訂可以反映行業最新要求和狀況，修訂后的氧化銦錫靶材國家標準將在產業引和升級方面起到助推作用，這對于加快建設太陽能及顯示技術現代化產業體系，加速壯大高端裝備戰略性新興產業，有重要作用。1.3工作單位簡介1.3.1先導薄膜材料（廣東）有限公司成立于2003年5月，坐落在山清水秀的清遠市清新區禾云鎮工業區，4緊鄰清連高速，距廣州市區僅90分鐘車程，地理位置環境優越，交通便利。是一家集硒、碲、鉍、鎵、銦、鍺等稀有金屬及其化合物的研發、生產、銷售為一體的大型高新技術企業，產品廣泛應用于玻璃、陶瓷、電解錳、飼料、電子、通訊、光電半導體材料、熱成像、探測器及太陽能光伏材料等行業。稀散金屬硒、碲、銦、鎵、鍺等以金屬量計占全球35%以上的市場份額。先導薄膜材料（廣東）有限公司是國家高新技術企業，是國家工程技術中心的所在單位，公司有多項產品如硒化鋅紅外激光材料和鏡片、半導體砷化鎵、ITO靶材、碲鋅鎘靶材、碲鋅鎘晶體窗口材料等均是填補了國家戰略新型材料空白的產品，并且產品質量和產量均和中國的發展趨勢一般節節攀升。公司注冊資金約1000萬美元，占地面積1000余畝，建筑面積50000余平方米，大型生產設備500余臺，員工3000余人，其中專業技術人員600多名，配有等離子體發射光譜儀、等離子質譜儀、輝光放電質譜儀、電子掃描電鏡、原子吸收光譜儀、測氧儀、粒度儀、差熱儀、X衍射儀、X熒光儀、紅外光譜儀、高效氣相質譜儀、液相質譜儀、離子色譜儀等先進的檢測儀器，可進行多種化學元素的分析檢測，公司的產品檢測能力在國內外處于領先水平。公司先后通過了ISO9001質量管理體系認證，歐盟飼料添加劑FAMI-QS認證，并建立了ISO14001環境管理體系，OHSASl8001職業健康管理體系，GMP良好操作規范和ISO22000食品安全管理體系。株洲冶煉集團股份有限公司：廣西晶聯光電材料有限責任公司：蕪湖映日科技有限公司：中山智隆新材料科技有限公司：株洲火炬安泰新材料有限公司：深圳市中金嶺南有色金屬股份有限公司：成都中建材光電材料有限公司：上海大學：廣東歐萊高新材料股份公司：河北恒博新材料科技股份有限公司：廣東先導稀材股份有限公司：福建阿石創新材料股份有限公司:51.3.12標準主要起草人及工作職責見表1。表1主要起草人及工作職責123451.4主要工作過程1.4.1預研和試驗工作簡介2022年-2023年，先導薄膜材料（廣東）有限公司作為主編單位對國內國內外氧化銦錫靶材市場情況、生產情況及使用情況進行了詳細的調研，了解了國內國內外氧化銦錫靶材生產的技術水平、應用情況及相關的研發拓展情況及未來相關的趨勢，與行業內的相關人員深入討論標準修訂工作的技術要求、試驗要求、建議要求等各環節的標準的具體技術要求，通過整理歸納相關企業的制造水平、產品規格、檢測手段、應用要求等，同時也考慮了國外能夠涉及到和收集到的各類情況，由主編單位整理并編制形成了《氧化銦錫靶材》（修訂）標準項目建議書、標準草案及標準立項說明等材料。根據此次調研情況，由主編單位整理并完善形成標準草案稿。1.4.2標準立項2021年11月中國有色金屬標準化委員會年會在常州召開，先導薄膜材料（廣東）有限公司在會上提交了修訂申請報告，會上針對當前國內氧化銦錫靶材生產經營使用的實際情況，廣泛征求參會人員的意見，會上經討論后同意向國標委提交申報，經過公示后同意決定由先導公司修訂《氧化銦錫靶材》標準，并向國標委提報修訂申請。。在2022年10月，國標委批準了由先導公司起草修訂國家標準《氧化銦錫靶材》，并確認了株洲冶煉集團股份有限公司、廣西晶聯光電材料有限責任公司、蕪湖映日科技有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、株洲火炬安泰新材料有限公司、深圳市中金嶺南有色金屬股份有限公司、成都中建材光電材料有限公司、上海大學、廣東歐萊高新材料股份公司、河北恒博新材料科技股份有限公司、廣東先導稀材股份有限公司、福建阿石創新材料股份有限公司等參與修訂。1.4.3標準起草階段6本標準為修訂標準，先導薄膜材料（廣東）有限公司在起草階段進行了大量的數據收集，同時結合全國內氧化銦錫靶材的生產廠家的生產現狀及技術水平及用戶的實際要求，進行了以下工作：1）2022年12月，成立標準編制組，初步制定了工作計劃和進度安排，明確了各參與單位的工作職能和任務。2）20231月～2023年2月，編制小組對氧化銦錫靶材相關資料的收集和總結，并對相關的技術資料進行了對比分析。3）2023年3月8日—9日，由全國有色金屬標準化技術委員會稀有金屬分技術委員會組織，在浙江湖州召開了重金屬標準工作會議，在會上對標準征求意見稿1稿進行廣泛的討論。本標準以召開專題會議、發送標準郵件、標委會網站上公開掛網等多種形式和辦法進行了廣泛的征求意見，2023年2月，根據各生產企業、用戶、相關行業的專家意見等的相關資料進行歸納和總結，確認了標準內主要的技術要求如牌號、物理性能、規格、表面質量、內部質量、分析方法等的修訂要求的具體內容，形成了《氧化銦錫靶材》（修訂）的討論稿，并進行了相關廣泛的征求意見工作。二標準修訂原則2.1被修訂的GB/T20510-2017《氧化銦錫靶材》國家標準是推薦性國家標準，應按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草規則》的規定起草，有色金屬標準化技術委員會針對最新版的標準起草要求做了深入的培訓，按照培訓要求及編寫實力、示例編寫本標準。2.2（本次修訂應重點關注和解決在生產和經營使用實際情況中的技術要求、試驗方法、檢驗要求，準確體現和反應行業現狀和要求及發展要求，對氧化銦錫靶材生產、貿易、使用企業的方方面面的各項工作要求起到指導作用。2.3《氧化銦錫靶材》修訂標準的要求和內容，要統一考慮國際、國內兩個市場的供需情況，標準的制定盡量采用國際國外先進標準，與國際接軌，制定出的標準既可以給行業提供執行和規范要求并且執行和使用清晰明了，也可以讓行業之外的其他部門了解行業狀況。三、外文版要求國家標準化管理委員會要求在新修訂的《氧化銦錫靶材》發布實施后，同步發布實施外文版《氧化銦錫靶材》，圍繞外文版的標準工作要求，將按照以下要求及安排進行：四、標準修訂的主要內容和修訂依據74.1氧化銦錫靶材是化合物陶瓷靶材，其卓越的應用價值取決于材料的固有特性，隨著我國經濟發展和科技進步，我國已成為全球主要的氧化銦錫靶材的生產國家，產品質量已居于全球領先水平，標準技術內容的修訂需要據于各生產企業的實際情況以真實反映行業現狀，下表2、3、4、5、6以下是國內多家企業的氧化銦錫靶材的技術指標的統計，表7為綜合統計表表2先導薄膜材料（廣東）有限公司氧化銦錫靶材技術指標統計表相對密（10Ω·c殘余應力MPa晶粒尺寸(μm）單位面積氣外觀質量5569271507269183546279451436079281907483628947489353448261538071862628566538482917384628481636471839473826284748353448463538374647354.9*10-664.9*10-634.8*10-64214.9*10-6394.9*10-644.8*10-6241341343224433443334434.9*10-654.5*10-664.2*10-6344.7*10-62134.7*10-6424.9*10-644.5*10-614.2*10-6344.9*10-614.4*10-634324.9*10-624.5*10-644.2*10-6434.7*10-63444.7*10-6334.9*10-634.4*10-6444.7*10-636789565676767895656767表3蕪湖映日科技股份有限公司氧化銦錫靶材技術指標統計表 晶粒尺寸(μm）量//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0表4株洲火炬安泰新材料有限公司氧化銦錫靶材技術指標統計表相對密（10Ω·c殘余應力MPa晶粒尺寸(μm）單位面積氣外觀質量////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////RD90/////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////表5河北恒博新材料科技股份有限公司氧化銦錫靶材技術指標統計表相對密（10Ω·c殘余應晶粒尺寸(μm）單位面積氣孔個數/孔直徑<//////表6廣東歐萊高新材料股份有限公司氧化銦錫靶材技術指標統計表相對密（10Ω·c殘余應力MPa晶粒尺寸(μm）單位面積氣外觀質量//////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////值///////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////值////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////值/////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////值////////////////////////表75家生產企業氧化銦錫靶材技術綜合指標統計表相對密（10Ω·cm)10）殘余應晶粒尺寸(μm）個表面粗954062964173613613956957蕪湖映日科技股份有限公司////株洲火炬安泰新材料有限公司河北恒博新材料科技股份有限公司廣東歐萊高新材料股份有限公司9540629641736136139569574.2范圍的修訂4.2.1修訂前的適用范圍：本標準規定了氧化銦錫（簡稱ITO）靶材的要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸與貯存、質量證明書、訂貨單（或合同）等內容。4.2.2修訂后的適用范圍：本文件適用于由In2O3和SnO2按照一定比例混合的氧化銦錫靶材，是制作透明導電膜的核心材料。4.2.3修訂的依據：隨著ITO靶材應用領域的擴大，除傳統的顯示面板市場，在薄膜太陽能電池市場已成為ITO靶材的第二大應用領域。在該應用領域內ITO靶材的需求出現了多種比例要求，如93:7、98:2、99:1等等。然而對于這些比例的靶材，還沒有進行相應的標準定義，而靶材組分指標在下游應用環節的膜性能方面有著至關重要的影響。另外隨著我國ITO靶材制造工藝的提升，RD90的牌號相對密度大于99.6%已是行業的基本要求，因此提出修改ITO靶材的牌號劃分，由相對密度指標更改為組分指標更符合實際狀況。4.3規范性引用文件的修訂4.3.1增加了規范性引用文件GB/T38389氧化銦錫靶材化學分析方法。4.3.2增加的依據：氧化銦錫靶材是由In2O3和SnO2按照一定比例混合制造而成的靶材材料，既有In2O3和SnO2的重量比例要求，也有靶材在生產過程中帶人或引入的雜質控制要求，需要在實際生產中對相關工藝和指標進行控制，因而需要對主成分和雜質含量進行測定，在測試過程中就要按照相關的國家標準要求進行，GB/T38389氧化銦錫靶材化學分析方法滿足測試要求。4.4術語和定義的修訂4.4.1刪除了原標準的術語有開爾文電橋的術語定義，在修訂版中刪除了該術語和定義內容。4.4.2刪除該術語的依據：因為在文件的內容中不涉及該術語，而且該術語是一種常規術語。4.5分類的修訂4.5.1修訂前的氧化銦錫靶材分為三個牌號：RD90、RD95、RD97，修訂后氧化銦錫靶材的牌號以ITO表示，按In2O3和SnO2的比例分為六個牌號：ITO90、ITO93、ITO95、ITO97、ITO98、ITO99。4.5.2修訂的依據：信息社會一定程度上是顯示信息技術的社會，隨著信息社會的巨大擴展和發展，ITO靶材應用領域廣度和寬度日益擴大，而且除傳統的顯示面板市場，在薄膜太陽能電池市場也已成為ITO靶材的第二大應用領域，所以在各應用領域內ITO靶材的需求出現了多種比例要求，如93:7，95:5，97:3，98:2，99:1等等。然而對于這些比例的靶材，還沒有進行相應的標準定義。并且靶材組分指標在下游應用環節的膜性能方面有著至關重要的影響。另外隨著我國ITO靶材制造工藝的提升，相對密度大于99.6%已是行業的基本要求，因此提出修改ITO靶材的牌號劃分，由相對密度指標更改為組分指標。而提出和反應市場的產品類型是標準的全面性和準確性及代表性的要求。牌號的更改是適用普遍的表示方法執行的。4.6主要化學成分的修訂4.6.1主要化學成分前后的內容變化如下表8表8修訂前后的主要化學成分變化內容修訂前主要化學成分的氧化銦和氧化錫的質量4.6.2修訂的依據：原標準僅對RD90的產品類型做了主要化學成分的要求，并且沒有明確允許的偏差±0.5%是針對In2O3還是SnO2的允許偏差；也沒有對其他產品產品類型的主要化學成分做要求，是原標準中的缺陷，所以增加了相應牌號的主要化學成分的要求。因為隨著氧化錫含量的降低，允許的氧化錫含量的允許差也相應降低以滿足材料性能的要求，結合檢測允許差，所以相應的牌號的偏差規定為：RD93的質量比In2O3:SnO2=93:7，SnO2的允許偏差為±0.4；RD95的質量比In2O3:SnO2=95:5，SnO2的允許偏差為±0.3；牌號RD97的質量比In2O3:SnO2=97:3，SnO2的允許偏差為±0.3；牌號RD98的質量比In2O3:SnO2=98:2，SnO2的偏差為±0.2；牌號RD99的質量2O3:SnO2=99:1，SnO2的偏差為±0.1。4.7物理性能的修訂原標準僅對相對密度、電阻率、線膨脹系數做了規定，修訂后增加了抗折強度、殘余應力、晶粒尺寸等的規定，同時也修訂了原物理性能的部分參數，增加了各個牌號的物理性能的要求，修訂前后的物理性能的變化見下表9：表9修訂前后ITO物理性能的變化比較修訂前相對修訂后相對修訂前線膨脹系數(℃）修訂后線膨脹系數(℃）修訂前抗彎修訂后抗彎修訂前殘余應力修訂后殘余應力修訂前平均晶粒尺寸(μm）修訂后平均晶粒尺寸(μm）無無無無無無無無無無無無無無無無無無4.7.2修訂的依據：4.7.21密度的修訂依據：原標準中的三個牌號RD90、RD95、RD97的相對密度分別規定為≥99.0%、≥99.5%、≥99.7%。RD90牌號是市場主體生產牌號、占市場60%以上的產量，該指標是最主要的物理性能指標之一，之所以當時規定為≥99.0%是因為當時的我國實際生產水平不是太高，生產的產品的相對密度偏低，市場競爭力也低，隨著我國經濟發展和科技進步，產品質量已普遍達到國際先進水平，R90牌號氧化銦錫靶材的相對密度也已達到了市場普遍要求，因而也將標準中的要求更改為實際生產水平的要求≥99.6%。原標準中的RD95、RD97的相對密度分別規定為≥99.5%、≥99.7%，該密度的規定不是真實反映生產實際，根據實際情況更改為≥99.0%、≥99.2%。原標準中無RD93、RD98、RD99，根據生產實際情況和市場要求規定為：≥99.0%、≥99.0%、≥99.0%。電阻率的修訂依據原標準中的三個牌號RD90、RD95、RD97的電阻率均規定為≤1.6*10-4Ω·cm，主要原因是其他牌號的生產規模有限，相關統計不全面，所以以市場主體產品RD99的要求作為其他牌號的要求。而實際情況是有差別的，隨著我國生產技術水平的進步，其他的牌號也規模化生產，根據實際生產狀況和市場要求，將RD95、RD97牌號電阻率更改為≤1.8*10-4Ω·cm、≤1.9*10-4Ω·cm。原標準中無RD93、RD98、RD99，根據生產實際情況和市場要求規定為：≤1.7*10-4Ω·cm、≤3.0*10-4Ω·cm、≤3.5*10-4Ω·cm。線膨脹系數的修訂依據氧化銦錫靶材是氧化物陶瓷靶材，是經過高溫燒結后形成的陶瓷材料，靶材是綁定在背板或背管上使用的，靶材濺射時經受高溫、高速氬離子的轟擊，靶材需要承載一定的熱沖擊和熱膨脹，線膨脹系數的大小影響靶材在使用過程中的穩定性，而陶瓷材料的生產方法決定了隨著溫度升高的變化而產生線性尺寸的變化是陶瓷材料的固有特性，為滿足靶材濺射的使用要求，需要對線膨脹系數的要求進行控制。原標準中的三個牌號RD90、RD95、RD97的線膨脹系數均規定為6～9℃-1，這是一種相對簡單的規定，沒有真實反映實際情況，隨著我國科技進步和生產技術水平的提供，氧化銦錫靶材的生產質量得到大幅提高、產品種類也齊全。需要根據現在的實際狀況相應對線膨脹系數進行修訂或規定，根據實際生產狀況和市場要求，將牌號RD90、RD95、RD97的線膨脹系數修訂為≤9℃-1、≤8℃-1、≤7℃-1，將牌號RD93、RD98、RD99的線膨脹系數規定為≤9℃-1、≤7℃-1、≤7℃-1。在修訂后的標準中線膨脹系數由范圍要求更改為小于等于要求，是因為實際使用中，只需要規定為小于等于即可，而且線膨脹系數在一定范圍內是越低越好的。增加的抗彎曲強度、殘余應力、晶粒尺寸的依據ITO靶材應用于磁控濺射領域，在靶材濺射使用過程中，靶材綁定在背板/背管上，靶材本身需承載一定的重力以及微形變。同時靶材濺射時經受高溫、高速氬離子的轟擊，靶材需要承載一定的熱沖擊和熱膨脹。靶材抗折強度過低，將會出現靶材的使用開裂，導致濺射應用異常。靶材經過一系列成型、燒結、加工制造工序后，內部還存在沒有被消除的應力，當殘余應力過大時，隨著靶材在濺射過程中自身在不斷變薄，靶坯自身強度在變低，殘余應力的釋放易出現靶材的開裂，導致濺射應用異常。晶粒尺寸越小，其靶材的致密性越高。在相同的濺射功率條件下，其濺射鍍膜越快，效率更高；隨著晶粒尺寸的增大，其晶粒之間的大小差異性也變大，導致濺射過程中小的晶粒被快速濺射，留下大的晶粒尺寸凸出而形成結瘤。因此提出增加以上物理性能指標。根據我國生產工藝和生產指標及質量要求和市場要求，增加了相應的氧化銦錫靶材的抗彎曲強度、殘余應力、晶粒尺寸的技術要求，增加的指標要求見上表9.4.8物理規格的修訂：4.8.1修訂前的內容為：氧化銦錫靶材呈片狀或其他形狀，其規格尺寸及其偏差由供需雙方商定。修訂后的內容為：氧化銦錫靶材分為平面型靶材和管狀型靶材，其規格尺寸及其偏差由供需雙方商定。4.8.2修訂的依據：氧化銦錫靶材的物理規格由磁控濺射機臺的規格決定。通常平面型靶材受磁場的局限，靶材利用率通常為30%左右。隨著磁控濺射鍍膜設備工藝的發展，出現管狀型靶材磁控濺射鍍膜設備。管狀型靶材在使用時進行旋轉運動，靶材利用率通常能夠達到75%左右。管狀型靶材的市場份額也逐步提升，日漸發展為常規產品。原標準中只規定了片狀或其他形狀，未明確體現管狀型靶材。因此提出修訂，氧化銦錫靶材物理規格分為平面型和管狀型。4.9表面質量的修訂4.9.1將表面質量更改為外觀質量4.9.1更改的依據:ITO靶材行業的通常定義將表面質量定義為外觀質量。4.10增加了內部質量的要求4.10.1增加的內容：氧化銦錫靶材應無裂紋，氣孔直徑不大于0.3mm，單位面積氣孔個數≤5。4.10.2增加內部質量要求的依據：在氬離子的濺射作用下，氧化銦錫靶材的內部逐漸顯現。當靶材內部出現裂紋或者孔洞、異物時，形成等離子異常放電，電壓異常以及導致結瘤產生。這些都是磁控濺射應用領域的異常，因此提出增加內部質量的規定。五、標準中涉及專利的情況本標準不涉及專利問題。（若標準中涉及專利，需要在附件中提供必要專利信息披露表、已披露的專利清單、必要專利實施許可聲明表等材料。）六預期達到的社會效益等情況6.1項目的必要性ITO靶材是我國明確要求發展的重點高新材料，工業與信息化部發布的《重點新材料首批次應用示范指導目錄（2019版）》第237項的重點高新材料項目為“高性能稀土發光材料”、第251項。家標準化管理委員會發布的《2021年國家標準立項指南》第（二）章節強調：加強“碳達峰”標準化支撐力度，加快新能源開發利用、電力儲能、需求側等的管理，推進能源互聯網標準化工作，推進光伏能源標準體系建設，而氧化銦錫靶材就是極具前景的異質結光伏電池產業的核心基礎材料。從全球精銦消費的行業結構看，銦的首要應用仍是平板顯示領域（見圖4-1），包括傳統的ITO靶材以及新興的銦鎵鋅氧化物（IGZO）以及綁定用銦。2022年盡管全球面板市場仍處于低迷期、價格不振，但國內面板產量保持增長，統計數據顯示，2022年上半年中國面板廠商出貨量約8400萬片，全球市占率達67%，同比增長6.2%。其中，京東方出貨量超3000萬片，位居全球第一。銦在ITO靶材領域應用占全球的78%左右，較上年基本持平，但中國占比在逐年上升，日韓增速有所下降.中國靶材的產能和產量正處于擴張期，目前中國已經成為全球靶材增產的主力。總體來看，全球銦消費行業保持樂觀，不管是在傳統顯示行業還是新興光伏行業中ITO靶材均有一定的較大的市場容量及市場預期，下圖為近年來ITO靶材的市場規模及2023年和2024年的市場預期。另一方面，ITO靶材在光伏電池異質結上的應用已日新月異，將成為另一個重要的應用市場，計2023年HJT出貨量將達15GW,而隨著擴產產能的釋放，HJT后續將會進入產能快速釋放階段，到2027年出貨量將達643GW,在2032年將有超過1000GW的市場需求，現有工藝中HJT的每GW銦需求量在3噸左右，短期銦需求量會在HJT的推動下，高速增長。下表10為全球HTJ全球市場及預期：6.2全球主要銦類靶材生產供應商全球主要的銦類靶材生產供應商有以下幾家：仕控股株式會社全資子公司。引能仕控股總部位于日本，為東京證券交易所上市公司，2021年財富世界五百強排名第166位。JX金屬主要運營金屬業務，主要產品包括鍛銅產品、特種鋼、銅箔、化合物半導體基板、金屬粉末、高純度金屬、濺射靶材等。其濺射靶材應用領域覆蓋半導體、平板顯示器、磁性材料、光伏電池等行業，主要靶材產品包括銅靶材、鋁靶材、鈦靶材、鉭靶材、鎢靶材、ITO靶材等。（2）東曹東曹株式會社（TosohCorporation）成立于1935年，總部位于日本，為東京證券交易所上市公司。東曹的靶材產品主要用于半導體、太陽能光伏、平板顯示器、磁記錄媒體等領域，主要靶材產品包括鋁靶材、銅靶材、鉭靶材、鈦靶材、鉻靶材、ITO靶材等。（3）三井礦業三井金屬礦業株式會社（MitsuiMining&SmeltingCo.,Ltd.）成立于1950年。擁有功能材料業務、金屬業務、汽車零部件業務等部門，主營業務包括功能材料和電子材料的制造與銷售、有色金屬冶煉、資源開發、貴金屬回收、材料相關業務、汽車零部件的制造與銷售等。三井礦業的靶材產品由功能材料業務部門負責，靶材產品主要為ITO靶材、IGZO靶材。（4）隆華科技隆華科技集團（洛陽）股份有限公司成立于1995年7月。隆華科技主要業務由電子新材料、高分子復合材料、節能環保三大產業板塊構成。其中，電子新材料業務以靶材為主要產品，主要由其子公司四豐電子與晶聯光電運營，主要