Cleanroom介紹2007.2.8Cleanroom介紹2007.2.8Contents2.潔凈室適用行業1.潔凈室的定義3.潔凈室結構4.潔凈工程相關流程Contents2.潔凈室適用行業1.潔凈室的定義3.控制環境中的溫度，濕度，氣流，潔凈度及正壓的密閉空間。防止滲透:防止灰塵和微生物滲透到室內

防止產塵:防止室內產生灰塵或微生物防止堆積

:防止室內積灰塵或微生物迅速去除

:迅速去除室內灰塵和微生物定義潔凈室四大原則1.潔凈室的定義1/35控制環境中的溫度，濕度，氣流，潔凈度及正壓的密閉空間。防止滲潔凈度

Class100?0.1?是什么?※過去美國FED-209潔凈度標準以0.5?粒子數量為基準

0.1?

一根頭發(50~100?)10?可視最小粒子的大小1.潔凈室的定義潔凈度2/35潔凈度Class100?0.1?是什么?C/R適用行業及潔凈度ICR(IndustrialsCleanRoom)SemiconductFPD(LCD/OLED/PDP)PCBBack-LightUnitElec.MaterialClass:1~100Class:10~1,000Class:100~1,000Class:100~10,000Class:100~10,000BCR(BioCleanRoom)MedicineGoodManufacturePracticeGoodLaboratoryPracticeBio-HazardOP-RoomClass:1,000~10,000Class:1,000~100,000Class:1,000~100,000Class:1,000~100,000Class:100~10,0002.潔凈室適用行業3/35C/R適用行業及潔凈度ICR(IndustrialsC土建

/內裝主要工程(I.C.R事例)I.C.R工程事例-PDPHVACUtility電氣B.C.R工程事例-GMP環境3.潔凈室結構4/35土建/內裝主要工程(I.C.R事例)I.C.R工程事土建

/內裝工程

CleanRoomUpperPlenumUnderPlenumCleanRoom潔凈室UpperPlenum上夾層UnderPlenum下夾層SystemCeiling吊頂系統AccessFloor高架地板SystemCeilingAccessFloorReturnPlenum回風夾道CleanRoom結構施工順序涂裝吊頂系統AccessFloor安裝FFU內裝

地面環氧

柱子環氧

格構梁環氧

隔斷

一次螺栓

二次螺栓

安裝盲板

安裝基礎

有空板

寬孔板

安裝過濾器

安裝FFU3.潔凈室結構5/35土建/內裝工程CleanRoomUpperPlen土建

/內裝工程SystemCeilingAccessFloorFFU方式

用個別FFU循環潔凈室空氣

DFU方式

利用夾層的正壓循環空氣

SystemCeiling適用方式

有孔板空氣從潔凈室地板通過

無孔板空氣無法通過

寬孔板更衣室地板

鋼護板中低重量的設備搬入時使用地板類型特征有需要的部分刷防靜電涂料防止產塵防止化學藥品污染其表面

容易清掃

在鋼板上刷防靜電涂料，防止粉塵附著素材輕便，容易變更lay-out改善氣流特征內裝涂裝3.潔凈室結構6/35土建/內裝工程SystemCeilingAccessHVAC工程CleanRoom空調

ConceptFFUO.A.C:正壓/濕度/過濾D/C:溫度

(生產設備散熱作用)F.F.U:循環風量/過濾??生產設備O.A.CEFUFFUClass管理基準DryCoilFFU是可以自由安裝在吊頂上的規格化的系統，適用于高潔凈度的產線。將室內設備發生的熱量用盤管內冷水來冷卻、熱交換并維持室內溫度，多用于高潔凈度、高熱量設備較多的潔凈室。3.潔凈室結構7/35HVAC工程CleanRoom空調ConceptFFHVAC工程AirShowerBlowerFilterUnit進入潔凈間之前用高速潔凈空氣噴淋掉附著在衣物表面的粉塵或微生物Unit內有小型blower，有與風管連接型和自循環型。(CLASS1,000以下~)PassBox安裝在潔凈室墻體上，控制材料或產品進出時發生的污染。CleanUnit安裝高效過濾器和風機的袋型設備，一般常用在室內安裝空間小且中等潔凈度的產線。3.潔凈室結構8/35HVAC工程AirShowerBlowerFilter動力工程①一次配System+MainPiping&Duct+Sub-mainTappingValve(Damper)Sub-mainTappingValve(Damper)+與生產設備連接②HOOK-UP

(二次配)工程分類C/RP-GasCDA供應系統P-Gas供應系統PCW供應系統HV供應系統PV供應系統C/R工業用水槽M/UPumpI.WTankFilterPump工業用水供應系統排氣系統化學品供應系統C/RChemicalC/RC/RC/RHeatACIDToxicOrganicGeneralSolv.C/R3.潔凈室結構9/35動力工程①一次配System+MainPiping電氣工程接地設備的結構（例）TR.中性點電氣生產設備(個別)生產設備(共用)避雷通信GV200.GV200.GV200.GV200.GV100.GV(2?)(2?)(2?)(10?)(5?)地面

S/SS/SS/SS/SS/SS/SC/RC/RM/RM/RLM-PNLP-PNLFFU-PNLUPS,G-PNL

S/SC/RC/RM/RM/RLM-PNLPFFUUPS,GS/SS/SS/SC/R配電柜分布ConceptCase-1Case-23.潔凈室結構10/35電氣工程接地設備的結構（例）TR.中性點電氣生產設備(個別)環境工程廢水處理站FAB.Cleanroom生產設備工業用水ScrubberVOC處理設備DI設備再利用系統廢水中轉站有機廢水的處理無機廢水的處理廢水酸化后端設備PIPERACKC/R管道P/R管道中斷廢水處理設施去除異味DI前端處理自來水廠ReclaimSys.工業用水的處理3.潔凈室結構11/35環境工程廢水處理站FAB.Cleanroom工業用水ScruSTK1.FFU效率性分布2.防止交叉污染的設計3.A/F開孔率的計算5.氣流模擬6.Test及認證4.檢討局部潔凈度3.潔凈室結構氣流工程12/35STK1.FFU效率性分布2.防止交叉污染的設計3.Turn-over結構潔凈室內部工程潔凈設備Filter/FFU

鋼筋混凝土

結構工程

防火措施

BeamCoverSubStructureSupplyPipingDuctSleeve

基礎工程鋼筋混凝土

(B2F)

基礎結構工程架設涂裝4.潔凈工程相關流程13/35Turn-over結構潔凈室潔凈設備Filter/FFUTurn-over結構潔凈室內部工程CleanEquipmentFilter/FFU

鋼筋混凝土

結構工程

防火措施

BeamCoverSubStructureSupplyPipingDuctSleeve

基礎工程

結構工程(4F)

結構工程

(C/RGirder)架設涂裝4.潔凈工程相關流程14/35Turn-over結構潔凈室CleanFilter/FFTurn-over結構潔凈室內部工程CleanEquipmentFilter/FFU

鋼筋混凝土

結構工程

防火措施

BeamCover

SubStructureSupplyPipingDuctSleeve

基礎工程

消防系統BeamCover架設涂裝4.潔凈工程相關流程15/35Turn-over結構潔凈室CleanFilter/FFTurn-over結構潔凈室內部工程CleanEquipmentFilter/FFU

鋼筋混凝土

結構工程

防火措施

BeamCoverSubStructure

SupplyPipingDuctSleeve

基礎工程SubStructure(PC)架設涂裝4.潔凈工程相關流程16/35Turn-over結構潔凈室CleanFilter/FFTurn-over結構架設涂裝潔凈室內部工程CleanEquipmentFilter/FFU

環氧涂料

架設

-墻體

-換氣

-照明

-控制室

-更衣室

環氧4.潔凈工程相關流程17/35Turn-over結構架設潔凈室CleanFilteTurn-over結構架設涂裝潔凈室內部工程CleanEquipmentFilter/FFUSystemCeilingAccessFloor

墻板

Duct工程

CableTrayBusDuctLMPanelUtilityPipe&Duct

照明SystemCeilingSystemCeiling4.潔凈工程相關流程18/35Turn-over結構架設潔凈室CleanFilteTurn-over結構架設涂裝潔凈室內部工程CleanEquipmentFilter/FFUSystemCeilingAccessFloor

墻板

Duct工程

CableTrayBusDuctLMPanelUtilityPipe&Duct

照明

防振機臺AccessFloor4.潔凈工程相關流程19/35Turn-over結構架設潔凈室CleanFilteTurn-over結構架設涂裝潔凈室內部工程CleanEquipmentFilter/FFUSystemCeilingAccessFloor

墻板

Duct工程

CableTrayBusDuctLMPanelUtilityPipe&Duct

照明CleanPanelCleanPanel4.潔凈工程相關流程20/35Turn-over結構架設潔凈室CleanFilteTurn-over結構架設涂裝潔凈室內部工程CleanEquipmentFilter/FFUSystemCeilingAccessFloor

墻板

Duct工程

CableTrayBusDuctLMPanelUtilityPipe&Duct

照明BusDuctLMPanel4.潔凈工程相關流程21/35Turn-over結構架設潔凈室CleanFilteTurn-over結構架設涂裝潔凈室內部工程CleanEquipmentFilter/FFUSystemCeilingAccessFloor

墻板

Duct工程

CableTrayB