犐犆犛２３．１６０

犑７８

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜３１６３—２００７

代替ＧＢ／Ｔ３１６３—１９９３

真空技術術語

犞犪犮狌狌犿狋犲犮犺狀狅犾狅犵狔—犜犲狉犿犻狀狅犾狅犵狔

（ＩＳＯ３５２９：１９８１Ｖａｃｕｕｍｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ—Ｖｏｃａｂｕｌａｒｙ，ＭＯＤ）

２００７１２０２發布２００８０６０１實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局

發布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜３１６３—２００７

目次

前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅲ

１范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

２一般術語!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

３真空泵及有關術語!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!６

４真空計!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１３

５真空系統及有關術語!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１９

６檢漏及有關術語!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２５

７真空鍍膜技術!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２７

８真空干燥和冷凍干燥!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３２

９表面分析技術!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３７

１０真空冶金!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!４２

附錄Ａ（資料性附錄）在采用國際單位制（ＳＩ制）之前使用的壓力單位和換算系數!!!!!!４８

附錄Ｂ（資料性附錄）符號表!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!５０

附錄Ｃ（資料性附錄）真空泵分類表!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!５１

附錄Ｄ（資料性附錄）本標準章條編號與ＩＳＯ３５２９：１９８１章條編號的對照一覽表!!!!!!!５２

附錄Ｅ（資料性附錄）本標準與ＩＳＯ３５２９：１９８１的技術性差異!!!!!!!!!!!!!!!５６

中文索引!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!５７

英文索引!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!７３

參考文獻!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!８９

Ⅰ

書

犌犅／犜３１６３—２００７

前言

本標準修改采用ＩＳＯ３５２９１：１９８１《真空技術術語第１部分：一般術語》（英文版）、ＩＳＯ３５２９２：

１９８１《真空技術術語第２部分：真空泵及有關術語》（英文版）和ＩＳＯ３５２９３：１９８１《真空技術術

語第３部分：真空計》（英文版）。

本標準對ＩＳＯ３５２９１：１９８１、ＩＳＯ３５２９２：１９８１和ＩＳＯ３５２９３：１９８１進行了整合并重新起草。

在采用ＩＳＯ３５２９：１９８１《真空技術術語》時，刪除了國際標準的前言，考慮到技術的發展，本標準

增加了一些條款，也做了一些編輯上的修改：

ＩＳＯ３５２９１：１９８１中的附錄Ａ為本標準中的附錄Ａ；

ＩＳＯ３５２９１：１９８１中的附錄Ｂ為本標準中的附錄Ｂ；

ＩＳＯ３５２９２：１９８１中的附錄Ａ為本標準中的附錄Ｃ；

ＩＳＯ３５２９１：１９８１、ＩＳＯ３５２９２：１９８１和ＩＳＯ３５２９３：１９８１中的英文索引整合為本標準中的英文

索引。

本標準參考了ＤＩＮ２８４００《真空技術術語及定義》的系列標準，增加了真空技術術語的章節。分

別是：

———第５章：真空系統及有關術語；

———第６章：檢漏及有關術語；

———第７章：真空鍍膜技術；

———第８章：真空干燥和冷凍干燥；

———第９章：表面分析技術；

———第１０章：真空冶金。

在附錄Ｄ中列出了本標準章條編號與ＩＳＯ３５２９：１９８１《真空技術術語》章條編號的對照一覽表。

將有關技術性差異編入正文中并在它們所涉及的條目的頁邊空白處用垂直單線標識。在附錄Ｅ中給

出了這些技術性的差異及其原因的一覽表以供參考。

本標準增加了參考文獻和中文索引。

本標準代替ＧＢ／Ｔ３１６３—１９９３《真空技術術語》。

本標準的附錄Ａ、附錄Ｂ、附錄Ｃ、附錄Ｄ、附錄Ｅ均為資料性附錄。

本標準由中國機械工業聯合會提出。

本標準由全國真空技術標準化技術委員會（ＳＡＣ／ＴＣ１８）歸口。

本標準起草單位：東北大學、沈陽真空技術研究所。

本標準主要起草人：張世偉、王曉冬、巴德純、張以忱、徐成海、王學智。

本標準所代替標準的歷次版本發布情況為：

———ＧＢ／Ｔ３１６３—１９８２、ＧＢ／Ｔ３１６３—１９９３。

Ⅲ

犌犅／犜３１６３—２００７

真空技術術語

１范圍

本標準規定了真空技術方面的一般術語、真空泵及有關術語、真空計術語、真空系統及有關術語、檢

漏及有關術語、真空鍍膜技術術語、真空干燥和冷凍干燥術語、表面分析技術術語和真空冶金術語。

本標準適用于真空技術方面的技術文件、標準、書籍和手冊等有關資料的編寫。

２一般術語

２．１

標準環境條件狊狋犪狀犱犪狉犱犪犿犫犻犲狀狋犮狅狀犱犻狋犻狅狀狊

溫度：２０℃

相對濕度：６５％

干燥空氣大氣壓力：１０１３２５Ｐａ＝１０１３．２５ｍｂａｒ

２．２

標準氣體狀態狊狋犪狀犱犪狉犱狉犲犳犲狉犲狀犮犲犮狅狀犱犻狋犻狅狀狊犳狅狉犵犪狊犲狊

溫度：０℃

壓力：１０１３２５Ｐａ

２．３

真空狏犪犮狌狌犿

用來描述低于大氣壓力或大氣質量密度的稀薄氣體狀態或基于該狀態環境的通用術語。

２．４

真空區域