中華人民共和國國家計量技術規范

JJF1062—2022

電離真空計校準規范

CalibrationSpecificationforIonizationVacuumGauges

2022-04-29發布2022-10-29實施

國家市場監督管理總局發布

JJF1062—2022

電離真空計校準規范??

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CalibrationSpecificationforIonization代?替JJF1062—1999?

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?JJG462—2004?

VacuumGauges

歸口單位全國壓力計量技術委員會

:

主要起草單位中國計量科學研究院

:

參加起草單位云南省計量測試技術研究院

:

成都國光電氣股份有限公司

本規范委托全國壓力計量技術委員會負責解釋

JJF1062—2022

本規范主要起草人

:

王金庫中國計量科學研究院

()

于紅燕中國計量科學研究院

()

參加起草人

:

周瑩云南省計量測試技術研究院

()

李濘成都國光電氣股份有限公司

()

JJF1062—2022

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術語和計量單位

3………………………(1)

術語

3.1…………………(1)

計量單位

3.2……………(1)

概述

4……………………(2)

計量特性

5………………(2)

校準條件

6………………(2)

環境條件

6.1……………(2)

計量標準及其他設備

6.2………………(2)

校準項目和校準方法

7…………………(3)

校準項目

7.1……………(3)

校準方法

7.2……………(3)

數據處理

7.3……………(5)

校準結果表達

8…………(6)

復校時間間隔

9…………(6)

附錄電離真空計校準記錄格式

A……………………(7)

附錄電離真空計校準證書內頁格式

B………………(8)

附錄電離真空計測量結果的不確定度評定示例

C…………………(9)

Ⅰ

JJF1062—2022

引言

國家計量校準規范編寫規則通用計量術語及

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011《

定義測量不確定度評定與表示和真空技

》、JJF1059.1—2012《》GB/T3163—2007《

術術語共同構成本規范制定的基礎性系列規范

》。

本規范參考了熱陰極電離真空計真空

JB/T7463—2005《》、GB/T34873—2017《

計與標準真空計直接比較校準真空技術真空計與標準真

》、GB/T34876—2017《

空計直接比較校準結果的不確定度評定采用了其中的基本原則對具體方法和技術

》,,

指標進行了細化補充和修改

、。

本規范代替電離真空計及二等標準電離真空

JJF1062—1999《》JJG462—2004《

計

》。

與和相比除編輯性修改外主要技術變化如下

JJF1062—1999JJG462—2004,,:

刪除規管常數和電路的電參數檢測部分

———;

刪除壓力示值誤差超差判據

———;

原規范中要求標準裝置校準室的本底壓力不大于被校真空計壓力下限測量點壓

———

力值的本次修訂將該數值修改為見和

2%,10%(7.2.2.17.2.2.2);

增加不確定度評定方法見附錄

———(C)。

本規范的歷次版本發布情況為

:

———JJG462—2004;JJF1062—1999。

Ⅱ

JJF1062—2022

電離真空計校準規范

1范圍

本規范適用于測量范圍在-92的電離真空計校準

1×10Pa~1×10Pa。

2引用文件

本規范引用了下列文件

:

真空技術術語

GB/T3163—2007

真空技術圖形符號

GB/T3164—2007

真空計與標準真空計直接比較校準

GB/T34873—2017

真空技術真空計與標準真空計直接比較校準結果的不確

GB/T34876—2017

定度評定

熱陰極電離真空計

JB/T7463—2005

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規范

,()。

3術語和計量單位

術語

3.1

真空計

3.1.1vacuumgauge

測量低于大氣壓力的氣體或蒸汽壓力的一種儀器

。

定義

[GB/T3163—2007,4.1.2]

規管

3.1.2gaugehead

某些種類的真空計中包含壓力敏感元件并直接與真空系統連接的部件

,。

電離真空計

3.1.3ionizationvacuumgauge

通過測量氣體在控制條件下電離產生的離子流來確定分子密度進而測得壓力的一

,

種真空計

。

校準室

3.1.