1、凈室的潔凈度10 萬級10萬級潔凈室潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室，是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、 室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍 內，而所給予特別設計之房間。潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面，潔凈室被定義為 具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作 程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣

2、中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振 動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不 論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、 溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日 及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為 潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大 于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰

3、塵標準的顆粒相對于 我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點 的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必 然的要求。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在 3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。潔凈室要獲得良好的潔凈效果，不僅要著重采取合理的空調凈化措施，而且也要求工藝、建筑及其他專業采取相應的措施 ：不但要有合理的設計，而且還 要精心的符合規范的施工安裝

4、，以及正確的使用潔凈室和科學的維護管理。為 使潔凈室獲得良好的效果，國內外已有不少文獻從不同的角度作過闡述。實際 上，不同專業之間很難做到理想地配合，而且設計者很難把握施工安裝質量以 及使用和管理情況，尤其后者。就潔凈室凈化措施而言，許多設計者，或者還 有施工方，往往對其必要條件未予足夠重視，造成潔凈效果不理想。本文僅就潔凈室凈化措施中達到潔凈度要求的四個必要條件簡要論述。一、送風潔凈度要保證送風潔凈度符合要求，關鍵是凈化系統末級過濾器的性能和安裝。凈化系統末級過濾器一般采用高效過濾器或亞高效過濾器。按我國標準1規定高效過濾器效率分四檔：A類為99.9%, B類為 99.99%, C類為學 9

5、9.999%, D類為（對0.1仙m粒子）99.999%（亦稱超高效過濾器）;亞高效過濾 器2為（對0.5 g粒子）9599.9%。效率越高，過濾器的價格也越貴。所以選 擇過濾器時應本著既要滿足送風潔凈度要求，又要考慮經濟合理。從潔凈度要 求考慮，以低級別潔凈室選用低性能過濾器、高級別潔凈室選用高性能過濾器為原則。一般說來：100萬級可選用高中效過濾器；低于1萬級可選用亞高效或A類高效過濾器；1萬100級選用B類過濾器；1001級選用C類過濾器。二、氣流組織潔凈室的氣流組織與一般空調房間有所不同，它要求將最干凈的空氣首先送 到操作部位，它的作用在于限制和減少對加工物的污染。為此，在設計氣流組

6、織時應考慮這些原則：盡量減少渦流，避免將工作區以外的污染帶入工作區； 盡量防止灰塵的二次飛揚以減少灰塵對工件的污染機會；工作區的氣流要盡量 均勻，且其風速要滿足工藝和衛生要求，當氣流向回風口流動時要使空氣中的 灰塵能有效的帶走。根據不同的潔凈度要求，選擇不同的送、回風方式。三、送風量或風速足夠的通風換氣量是為了稀釋和排除室內污染空氣，根據不同的潔凈度要求，當潔凈室凈高較高時，適當增加換氣次數。其中，100萬級潔凈室的通風量是按高中效凈化系統考慮7,其余均按高效凈化系統考慮；當10萬級潔凈 室高效過濾器集中布置在機房或系統末端采用亞高效過濾器時，可適當提高換 氣次數10-20%。四、靜壓差潔凈室

7、維持一定的正壓是保證潔凈室不受或少受污染、以維持設計潔凈度等 級必不可少地條件之一。即便是負壓潔凈室，它也必須有不低于它潔凈度級別 地相鄰房間或套間維持一定地正壓，負壓潔凈室的潔凈度才能得以維持。潔凈室正壓值是指門窗全部關閉狀態下，室內靜壓大于室外靜壓的數值。它 是通過凈化系統送風量大于回風量和排風量的方法來達到。為了保證潔凈室正 壓值，送風、回風和排風機最好聯鎖，系統開啟時先啟動送風機，再啟動回風 機和排風機；系統關閉時先關排風機，再關回風機和送風機，以防止潔凈室在系 統開啟和關閉時受到污染。對于一個潔凈室來說，以上四個必要條件必須同時得到滿足，才能保證潔凈度達到要求并具備應有的抗污染干擾能

8、力。塵粒最大允許數/立方米 潔凈度級別塵粒最大允許數/2.83升 0.5 gm 5 gm 0.5 gm 5 gm100 級3,520291001000 級35,200293100010,000 級352,0002,9309968100,000 級3,520,00029,3009,96283300,000 級10,560,00087,90029,8852491000,000 級35,200,000293,00099,616829潔凈級別塵埃最大允許數/ m 3微生物最大允許數相當于ISO分級 0.5mm 5mm浮游菌/m 3沉降菌/皿100級3,500051ISO 5 級10,000 級350,

9、0002,0001003ISO 7 級100,000 級3,500,00020,00050010ISO 8 級300,000 級10,500,00060,00015ISO 9 級ISO14644最高濃度極限(顆粒數/m 3)近似對應分級0.1mm0.2mm0.3mm0.5mm1.0mm5.0mm傳統規格ISO 1 級102ISO 2 級10024104ISO 3 級1,0002371023581級ISO 4 級10,0002,3701,0203528310 級ISO 5 級100,00023,70010,2003,52083229100 級ISO 6 級1,000,000237,000 102,00035,2008,3202931,000 級ISO 7 級352,00083,2002,93010,000 級ISO 8 級3,520,000832,00029,300100,000 級ISO 9 級35,200,0008,320,000293,000懸浮粒子最大允許數/立方米潔凈度級別靜態動態(b) 0.5 p,m(d) 5 gm 0.5 gn(d) 5 gmA級35001 (e)35001 (e)B級35001 (e)35000020