1、目 錄一、各部位機構位置之簡介.31.1主要機構之位置。1.2門板拆卸之步驟。二、 日保養項目.42.1開機前檢查。2.2燈管狀態檢查。2.3溫度控制器檢查。2.4檢查電源供應器輸出電壓、電流。2.5燈管吹氣流量計檢查。2.6膠條調壓閥檢查。2.7三點式氣源壓力表檢查。2.8框架真空壓力表檢查。三、 周保養項目.93.1 全機臺外部機殼擦拭。3.2 CCD 攝影機鏡頭清潔。3.3 CCD 攝影機升降氣缸檢查。3.4 CCD 攝影機傳動皮帶檢查。3.5 曝光臺框架傳動皮帶檢查。3.6 輔助氣缸檢查是否漏氣。四、 月保養項目.134.1空氣過濾網清潔。4.2蒸發器濾網檢查。4.3總氣壓表濾心檢查。

2、4.4曝光臺框架氣缸檢查。4.5各部位滑軌及滑座潤滑度檢查。五、 季保養項目.155.1各部位滑軌及滑座上黃油。5.2檢查各部位氣缸動作是否正常。5.3檢查各部位螺栓有無松脫。5.4檢查電控SENSOR、電子零件及各部位配線有無松脫斷裂。5.5檢查電控SENSOR及電子零件。六、 年保養項目.166.1過濾網更換。6.2光學組件檢查。七、 燈管拆卸及組裝17 7.1燈組機構位置。7.2主要組件。 7.3組裝方法。八、玻璃的更換.208.1更換步驟。 8.2更換玻璃注意事項。一、各部位機構及位置簡介真空壓力表及溫度控制器1.1主要機構之位置配電盤燈室曝光室門板拆除后可看見框架傳動機構曝光室冷卻循

3、環機構觸碰式屏幕CCD影像傳動機構文章內的左右側是以面對機臺為分界的標準，面對機臺右手邊為右側，左手邊為左側。1.2門板拆解之步驟 A.將圖面門板鎖處按下。 B.按下后：門板鎖會彈起。 C.彈起后左側的門板鎖向順時針方向旋轉，右側則向逆時針旋轉即可打開二、日保養項目：2.1開機前檢查。2.2燈管狀態檢查。2.3溫度控制器檢查。2.4檢查電源供應器輸出電壓、電流。2.5燈管吹氣流量計檢查。2.6膠條調壓閥檢查。2.7三點式氣源壓力表檢查。2.8框架真空壓力表檢查。2.1開機前檢查：a.從前至后、由左至右檢查機臺表面須保持清潔不可有放置異物。b.檢查外框架上不可有異物。（注:機臺操作面為外,曝光室

4、為內）。注意！不可放置異物 c.檢查機臺前方之底片真空表此時四個表都應為0 inch-Hg。 2.2燈管狀態檢查： 點燈次數點燈時數開啟電源，由屏幕的主畫面檢查燈管狀態中的點燈次數、點燈時數，是否超過標準值。 燈室溫度：在3050之間2.3溫度控制器檢查：檢查位于機臺正面之溫度控制器。 曝光室溫度：在1826之間 2.4檢查電源供應器輸出電壓、電流： A.打開燈室右側下門板。 B.找到電源供應器。燈管電壓：50V燈管電流：100AC.檢查電源供應器輸出電壓、電流值。2.5燈管吹氣流量計檢查： A.打開燈室左側下門板。 B.找到吹氣流量表。 .C.檢查流量表是否達到刻度上50下80。2.6膠條調

5、壓閥檢查： A打開曝光室右側下門板。 B.找到膠條調壓閥。確認表壓力0.040.05Mpa之間。上下2個表都要！C.檢查上/下框氣密膠條調壓閥、確認表壓力在0.040.05Mpa）之間。上下2個表都要！2.7三點式氣源壓力表檢查： A.檢查機臺左側后方三點式氣源組合。 B.認表壓力在0.50.6Mpa之間。 2.8框架真空壓力表檢查：上框架真空壓力表檢查位于機臺正面之框架真空壓力表。（范圍100140Pa，最佳值120Pa） 下框架真空壓力表三、周保養項目：3.1 CCD影像傳動機構位置。3.2 全機臺外部機殼擦拭。3.3 CCD 攝影機鏡頭清潔。3.4 CCD 攝影機升降氣缸檢查。3.5 C

6、CD 攝影機傳動皮帶檢查。3.6 曝光臺框架傳動皮帶檢查。3.7 輔助氣缸檢查是否漏氣。3.1 CCD影像傳動機構位置：CCD傳動皮帶曝光臺框架CCD攝影機CCD影像傳動機構 3.3 CCD攝影機鏡頭清潔：利用氣槍清潔表面后，再利用無塵紙將鏡頭擦拭干凈。（注：氣槍內空氣不可有油、水氣）CCD鏡頭3.4 CCD攝影機升降氣缸檢查：CCD升降汽缸氣壓調節閥 A.找到位于CCD攝影機旁的升降氣缸。 B.檢查氣壓調節閥有無漏氣的現象。3.5 CCD攝影機傳動皮帶檢查： A.由主畫面選取維修，進入維修 B.關閉框架傳動馬達煞車。畫面后看左下方之指令列。 傳動皮帶將上下框架推至中央位置 C.將上下框架推至

7、中央位置即可看見 D. 檢查皮帶松緊度并檢查皮帶有無龜裂。CCD攝影機傳動機構。3.6 曝光臺框架傳動皮帶檢查： A.打開曝光室右側上門板。 B.找到曝光架傳動皮帶。 C. 檢查曝光架皮傳動皮帶松緊度并檢查皮帶有無龜裂。3.7輔助氣缸檢查是否漏氣(新款之機臺已無輔助氣缸)： A.打開機臺前面下方門板。 B. 左右兩側的氣缸即為輔助氣缸。 C. 將氣缸頭伸出之后，輕輕搖晃氣缸頭檢查有無松動現象。檢查氣壓調節閥有無漏氣的現象。（注：氣壓調節閥的圖示請參照5.2節）四、月保養項目：4.1空氣過濾網清潔。4.2曝光臺框架氣缸檢查。4.3各部位滑軌及滑座潤滑度檢查。4.1空氣過濾網檢查：定期檢查空氣過濾

8、網有無破損及毀壞的現象。 A.找到機臺后方濾網罩蓋。 B機臺后方濾網罩蓋拆除后可看見濾網， 順著箭頭方向將濾網抽出。 C.將濾網抽出后，檢查有無破損及毀壞之現象。建議36個月后更換新品4.2 蒸發器濾網的檢查： A.找到冷卻循環機構的蒸發器濾網罩蓋。 B.拆下濾網罩蓋的螺絲后抽出濾網。 C. 將濾網抽出后，檢查有無破損及毀壞之現象。建議36個月后更換新品4.3 總氣壓表濾心檢查:將兩組上蓋旋開后檢查是否有油污或是水分過多的狀況，如有則需更新。(建議每六個月至少需更新一次)4.4曝光臺框架氣缸檢查： A.將曝光臺上框架升起之后，可以看到 B.汽缸頭伸出之后，輕輕搖晃氣缸頭檢查有無左右兩側的氣缸即

9、為曝光臺框架氣缸。 松動現象。檢查氣壓調節閥有無漏氣的現象。4.5各部位滑軌及滑座潤滑度檢查：定期對于各部位的滑動機構做檢查，除了保持滑動機構的清潔外，并檢查是否有異物在移動機構上，或是有移動不暢的動作產生。五、季保養項目：5.1各部位滑軌及滑座上黃油。5.2檢查各部位氣缸動作是否正常。5.3檢查各部位螺栓有無松脫。5.4檢查電控SENSOR、電子零件及各部位配線有無松脫斷裂。5.1各部位滑軌及滑座上黃油：在各部位的滑軌及滑座上都可看到注油嘴，用碎布擦去各滑軌滑座上的廢油，并于注油嘴加注適量的黃油使其達到潤滑的效果。注油嘴注油嘴 5.2檢查各部位氣缸動作是否正常：將汽缸頭伸出之后，輕輕搖晃汽缸

10、頭檢查有無松動發生。檢查各氣缸氣壓調節閥有無漏氣的現象。（注：在此僅以輔助汽缸之圖舉例說明）氣壓調節閥 氣壓調節閥5.3檢查各部位螺栓有無松脫：檢查各部位螺栓有無松動、松脫發生。并檢查滑動標志有無脫落、滑動的現象。5.4檢查電控SENSOR、電子零件及各部位配線有無松脫斷裂：檢查線路、SENSOR部份有無松脫、腐蝕、拉扯斷裂之現象發生。如果有上述現象馬上行修復及更換。六、年保養項目：6.1過濾網更換。6.2光學組件檢查。6.1過濾網更換：定期更換過濾網。6.2光學組件檢查：各組件表面必須保持清潔。如果有損壞的狀況，請聯絡本公司，本公司將盡速派員檢查處理。各主要光學組件如下：冷光鏡 反射鏡 曲鏡

11、 聚焦鏡 鏡碗七、燈管的拆卸及組裝：7.1燈組機構位置。7.2主要組件。7.3拆卸及組裝步驟。7.1燈組機構位置：燈組機構打開燈室右（或左）側之蓋板，即可看到燈組機構。7.2主要組件：銅接頭燈管導線燈管上方銅接頭7.3拆卸及組裝步驟：l 拆卸燈管警告! 在進行燈管更換程序時，務必關閉機臺主電源以維護人身安全。A.先于冷光鏡上方放置軟性海綿，以維護冷光鏡于拆換過程中避免碰撞。B.以隨機附贈之拆卸扳手先將下端燈管導線端的礙子固定端螺絲放松（下端燈管導線連接礙子，故放松礙子的固定端螺絲即可），拆除后將下端導線纏繞防止碰撞冷光鏡。上端燈管導線下端燈管導線 C.以右手放松上端燈頭之銅接頭的固定螺絲，左手

12、扶住下端燈頭，待上端固定螺絲放松后， 左手慢慢向下取出（以稍微傾斜的角度取出燈管），取出時務必小心。l 換上新燈A.拆開包裝盒取出燈管保護膠套，注意在任何過程中不可觸摸到燈管石英玻璃部份，以免造成熱集中導致爆管，以兩手握住燈管兩側金屬端取出新燈。B.裝燈時陽極端在上切勿裝反，如圖示：CBT燈管 ( LAA-0004 )陰極（前端為圓錐形）陽極端在上陽極（前端為梯形）陰極端在下尖點朝上將下端導線的礙子固定端螺絲先鎖緊，左手握住陰極端，右手將陽極端穿過燈座將燈管往上推插入燈座內，右手同時將燈座銅接頭固定螺絲鎖緊將燈管固定住，最后將上端燈管導線裝回上端導線固定座后，鎖緊即完成。先將燈管陰極銅接頭及導線接上。八、玻璃的更換8.1更換步驟：一、 先把管繼手拆除，松開玻璃壓板。二、 銅頭先涂上uv膠，把銅頭插入玻璃的銅頭孔內。三、 銅頭插入銅頭孔時，要注意到不要有歪斜或是高低不平的現象。四、 4根銅頭都插入銅頭孔之后，小心的將玻璃放置在機臺曝光平臺上。五、 執行曝光利用uv光線讓uv膠硬化( 曝光次數：3次左右)。 5KAC 6次以上。六、 曝好光之后檢查pin孔內的uv膠，是不是真的有硬化。七、 將玻璃裝入框架，要注意玻璃的pin孔要和框架的pin孔對齊。八、 鎖上玻璃固定壓板。(注意力道且平均