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1、淺能級(jí)雜質(zhì)的特點(diǎn)淺能級(jí)雜質(zhì)的特點(diǎn):淺能級(jí)雜質(zhì)的作用淺能級(jí)雜質(zhì)的作用:載流子濃度載流子濃度=(形狀密度形狀密度g(E) 分布函數(shù)分布函數(shù)f(E)dE)/V*形狀密度形狀密度=所摻施主雜質(zhì)的濃度所摻施主雜質(zhì)的濃度ND(E=ED)*形狀密度形狀密度=所摻受主雜質(zhì)的濃度所摻受主雜質(zhì)的濃度NA(E=EA)重點(diǎn)：重點(diǎn)：n0、p0、EF隨摻雜濃度和溫度的變化規(guī)隨摻雜濃度和溫度的變化規(guī)律律方法：方法： n0、p0、nD、PA + 電中性方程電中性方程溫溫 區(qū)區(qū) 低溫低溫 中溫中溫 高溫高溫 費(fèi)米能級(jí) 載流子濃度)2ln(21210CDDCFNNTkEEETkECDDeNNn021202)ln(0CDCFNNT

2、kEEDNn 0CVVCiFNNTkEEEEln21210TkEVCigeNNnpn0212001n T分析、討論分析、討論TkECDDeNNn021202DNn 0TkEVCigeNNn02122EF T3EF 摻雜摻雜T一定，那么一定，那么NC也一定也一定T一定，ND越大，EF越接近ECT一定，NA越大，EF越接近EV。鋅鋅(Zn)(Zn)在在SiSi中為一雙重受主中為一雙重受主, ,即每一個(gè)即每一個(gè)ZnZn原子可在原子可在EA1(EA1-EV=0.31eV)EA1(EA1-EV=0.31eV)能能接納接納1 1個(gè)電子個(gè)電子, ,在較高能級(jí)在較高能級(jí)EA2(EA2-EV=0.55eV)EA2(EA2-EV=0.55eV)上接受第上接受第2 2個(gè)電子個(gè)電子. .為了完為了完全補(bǔ)全補(bǔ)償償1 1個(gè)個(gè)ND=1016cm-3ND=1016cm-3的的n-Sin-Si樣品樣品, ,需求摻入需求摻入ZnZn的濃度為多少的濃度為多少?(?(設(shè)設(shè)Eg=1.12eV)Eg=1.12eV

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