ICS7110020

CCSG.86.

中華人民共和國國家標準

GB/T14851—2025

代替GB/T14851—2009

電子特氣磷化氫

Electronicspecialtygas—Phosphine

2025-03-28發布2025-10-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T14851—2025

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替電子工業用氣體磷化氫與相比除結構

GB/T14851—2009《》。GB/T14851—2009,

調整和編輯性改動外主要技術變化如下

,:

更改了磷化氫應符合的技術要求見第章年版的第章

———(4,20093);

增加了采樣一章見第章

———“”(5);

更改了氧氬氮一氧化碳二氧化碳甲烷其他碳氫化合物砷化氫含量的測定方法見

———+、、、、、、(

年版的

6.2,20094.4、4.5、4.6);

增加了硅烷硫化氫含量的測定方法見

———、(6.2);

更改了水分含量的測定方法見年版的

———(6.3,20094.8);

更改了金屬元素及其他元素含量的測定方法見年版的

———(6.4,20094.9);

增加了鍺烷含量的測定方法見

———(6.5);

增加了顆粒含量的測定方法見

———(6.6);

增加了檢驗規則一章見第章

———“”(7);

更改了標志包裝運輸貯存及安全信息的要求見第章年版的第章

———、、、(8,20095)。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位西南化工研究設計院有限公司中昊光明化工研究設計院有限公司上海正帆科

:、、

技股份有限公司廣東華特氣體股份有限公司福建久策氣體股份有限公司中船重工邯鄲派瑞特種

、、、()

氣體有限公司蘇州金宏氣體股份有限公司江西華特電子化學品有限公司湖北和遠氣體股份有限公

、、、

司全椒南大光電材料有限公司大連保稅區科利德化工科技開發有限公司浙江省標準化研究院昊華

、、、、

氣體有限公司西南分公司宿州伊維特新材料有限公司上海申南特種氣體有限公司上海華愛色譜分

、、、

析技術有限公司大連大特氣體有限公司上海凡偉儀器設備有限公司聯雄投資上海有限公司上海

、、、()、

飛擇科技有限公司上海市計量測試技術研究院沈陽中復科金壓力容器有限公司浙江東開半導體科

、、、

技有限公司和立氣體上海有限公司昆明廣瑞達特種氣體有限責任公司西南化工研究設計院有限

、()、、

公司武漢分公司西南化工研究設計院有限公司雙流分公司

、。

本文件主要起草人孫福楠曾慶騰李東升傅鑄紅王百林曹素英何經余沙婷倪珊珊

:、、、、、、、、、

萬娟秀朱明王新喜孫猛戴璽徐孝天方強孫建施旖旎趙趫鄭新權陳潔吳靚方華李揚

、、、、、、、、、、、、、、、

楊康唐中偉黃輝施衛豐姜陽李春華宮兵王大為易達文李陽梁永強梁成科高靜賴曉峰

、、、、、、、、、、、、、、

譚依玲周鵬云王科熊壯

、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發布情況為

:

年首次發布為年第一次修訂

———1993GB/T14851—1993,2009;

本次為第二次修訂

———。

Ⅰ

GB/T14851—2025

電子特氣磷化氫

1范圍

本文件規定了電子級磷化氫的技術要求采樣試驗方法檢驗規則標志包裝運輸貯存及安全

、、、、、、、

信息

。

本文件適用于亞磷酸熱分解磷化物水解并經提純制備的電子級磷化氫

、。

2規范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險貨物包裝標志

GB190

工業用化學產品采樣安全通則

GB/T3723

所有部分鋼質無縫氣瓶

GB/T5099()

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標志

GB/T7144

液化氣體氣瓶充裝規定

GB/T14193

化學品安全標簽編寫規定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB/T16804