真空系統(tǒng)研制需求一、需求明細(xì)序號標(biāo)的名稱單位數(shù)量1耦合器高真空排氣臺研制套12老煉平臺真空系統(tǒng)研制套1二、項目服務(wù)要求序號服務(wù)要求1（一）服務(wù)范圍本次項目需要研制1套真空系統(tǒng)：包括1套耦合器高真空排氣臺，用于1.3GHz耦合器、3.9GHz耦合器及高次模吸收器高真空排氣，1套老煉平臺耦合器真空系統(tǒng)，用于耦合器老煉平臺被測1.3GHz耦合器對測試過程中的超高真空獲取、維持和破空。2（二）服務(wù)內(nèi)容1、保質(zhì)、保量、準(zhǔn)時的將1套真空系統(tǒng)送達綜合粒子設(shè)施研究院指定地點，并負(fù)責(zé)現(xiàn)場安裝、調(diào)試。2、自儀器驗收合格之日起，向采購人提供1年免費保修服務(wù)。在保修期內(nèi)，售后服務(wù)要求屬產(chǎn)品質(zhì)量問題所發(fā)生的一切費用由負(fù)擔(dān)。3、必須具有專業(yè)的維修工程師，能有效保證售后維修服務(wù)。4、保修期內(nèi)，發(fā)生的配件損耗和非人為因素發(fā)生的配件損壞，更換或維修不收取配件及人工費用。5、須對最終用戶在安裝現(xiàn)場或國內(nèi)其他場所進行免費人員培訓(xùn)2人2次（共4人次）或以上。3（三）人員要求必須具備專業(yè)技術(shù)人員進行技術(shù)溝通，及專業(yè)維修工程師進行售后服務(wù)。4（四）技術(shù)要求一、耦合器高真空排氣臺耦合器真空排氣臺設(shè)備主要由排氣移動小車、加熱鐘罩、升降機構(gòu)、電控系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)組成。技術(shù)指標(biāo)參數(shù)要求如下：1、加熱溫度：最高600℃可調(diào)，升溫速度40℃/h。2、溫度均勻性：優(yōu)于±10℃。3、有效加熱空間：φ800*H1000mm。4、雙真空排氣要求：（1）具備雙真空排氣系統(tǒng)：外真空抽氣系統(tǒng)（排氣臺真空）由設(shè)計并提供，要求排氣工作時外極限真空度（耦合器環(huán)境真空）優(yōu)于于1×10-4Pa。內(nèi)真空（耦合器內(nèi)部真空）設(shè)計預(yù)留真空管道四通接口，用于設(shè)備真空抽口對接、抽氣、RGA分析、真空監(jiān)測。（2）排氣系統(tǒng)內(nèi)部嚴(yán)格清潔及充分除氣，保證氣密性及高真空度。所有涉及真空部件都嚴(yán)格遵守超高真空制造工藝，每條管道、每個閥門都經(jīng)嚴(yán)格的檢漏及清洗除氣，保證無污染，漏率低于1E-10Pa.m3/s。5、內(nèi)部加熱環(huán)境采用全不銹鋼，潔凈程度達到千級潔凈環(huán)境。6、冷卻方式：加熱鐘罩具備外部水冷結(jié)構(gòu)設(shè)計，水冷與采用外焊循環(huán)水路，所有涉及真空的部分均沒有焊縫。7、電控系統(tǒng)：電控系統(tǒng)可對抽排氣臺真空、加熱、快冷等進行自動化控制，同時各閥門、泵、加熱等操作也可手動按鈕操作。電控系統(tǒng)升溫、保溫、降溫過程，烘烤過程始終與特定真空值連鎖，以保證耦合器不被氧化。（1）操控界面：界面為觸摸屏+機械按鈕的操作方式，所有的操作均能在觸摸屏完成，所有狀態(tài)可在觸摸屏內(nèi)顯示，包括：泵、閥狀態(tài)，溫度、真空度、電流。（2）自動控制功能：自動控制功能滿足抽真空、加熱、充氣動作，兼顧流程合理，安全可靠，合理的信號反饋滿足閉環(huán)控制。（3）UPS電源：采用UPS供電(保證運轉(zhuǎn)30分鐘或以上)離子泵維持真空。（4）參數(shù)設(shè)定：所有控制參數(shù)，包括溫度、真空度、時間等，均可由用戶自行設(shè)定。（5）聯(lián)鎖保護與安全警報功能：各閥門帶有信號反饋，泵閥聯(lián)鎖保護。真空度低，強制關(guān)閉插板閥，保護分子泵、離子泵。真空度低，溫度保持，直至關(guān)閉等保護動作。真空度與加熱動作聯(lián)鎖。內(nèi)外真空度定值報警。超溫、加熱器跳閘等報警保護。水壓、電源缺相、氣源壓力不足、PLC電池電量低等均有報警。所有報警可執(zhí)行相關(guān)聯(lián)的保護動作，防止對設(shè)備造成損壞。（6）數(shù)據(jù)記錄：由觸摸屏對真空度、溫度、電流、電壓等進行實時記錄顯示，記錄數(shù)據(jù)可在屏內(nèi)查閱或外接設(shè)備讀取。二、老煉平臺真空系統(tǒng)耦合器在老煉平臺上背靠背安置，并進行高功率老煉。老煉過程中的真空系統(tǒng)原理圖如下圖所示，可見真空系統(tǒng)總體分為分子泵組、離子泵、真空規(guī)、真空計、真空閥門、真空管道及耗材。耦合器包含三部分真空：上游耦合器熱端真空，下游耦合器熱端真空，冷端真空（通過矩形波導(dǎo)連接共用）。使用時先由分子泵組將管道抽至高真空態(tài)，再切換為離子泵組維持耦合器內(nèi)部超高真空狀態(tài)。本次項目需要根據(jù)耦合器真空度及漏率要求、潔凈度要求搭建圖示真空系統(tǒng)（不含分子泵）。總體技術(shù)目標(biāo)：該真空系統(tǒng)能使1.3GHz高功率耦合內(nèi)部真空度達到10-6Pa量級。各處接口漏率要求為1×10-11Pa.m3/s。所有真空管道、真空閥門都須經(jīng)嚴(yán)格的檢漏及清洗除氣，保證無污染。以下為項目具體技術(shù)要求：1、離子泵和電源（數(shù)量：3套），技術(shù)要求：極限真空度：≤2.0x10-8Pa。自身抽空口：CF35。單臺離子泵整體重量：≤7kg。抽速：25L/S(N2)。潔凈間潔凈裝配。2、真空規(guī)（數(shù)量：4件），技術(shù)要求：全量程測量，量程1000mbar~1E-8mbar。接口：CF35。3、真空計（數(shù)量：2件），技術(shù)要求：雙通道顯示，支持RS485或RS232通訊。4、慢充系統(tǒng)（數(shù)量：1套），技術(shù)要求： 氣體經(jīng)過過濾器及流量控制器?？煽刂茪怏w流量大小。所有管路EP級別。5、真空閥門全金屬角閥（數(shù)量：6件），技術(shù)要求：材質(zhì)：全金屬。類型：角閥。密封方式：金屬密封。接口：CF35。操作方式：手動。閥體泄漏率：≤1×10-11Pa.m3/s。閥座泄漏率：≤1×10-11Pa.m3/s。烘烤溫度：最大150℃。6、真空管道6.1手動隔膜閥（數(shù)量：4件），技術(shù)要求：接口：CF35。密封方式：橡膠密封。漏率：≤1×10-9Pa.m3/s。6.2四通CF35（數(shù)量：4件），技術(shù)要求：材質(zhì)：全不銹鋼。密封方式：金屬密封。接口：CF35。漏率：≤1x10-11Pa.m3/s。整體電解拋光，鈍化處理，真空除氣，脫氣速率低，背景干擾小，可烘烤。6.3三通CF35（數(shù)量：6件），技術(shù)要求：材質(zhì)：全不銹鋼。密封方式：金屬密封。接口：CF35。漏率：≤1x10-11Pa.m3/s。整體電解拋光，鈍化處理，真空除氣，脫氣速率低，背景干擾小，可烘烤。6.4液壓波紋管KF40-1500（數(shù)量：6件），技術(shù)要求：材質(zhì)：全不銹鋼。長度：1.5米。接口：KF40。密封方式：橡膠密封。漏率：≤1×10-9Pa.m3/s。6.5轉(zhuǎn)換接頭KF40-CF35（數(shù)量：6件），技術(shù)要求：材質(zhì)：316L不銹鋼。整體電解拋光，鈍化處理。6.6緊固半法蘭CF35（數(shù)量：10件），技術(shù)要求：材質(zhì)：硅青銅。6.7快卸卡箍KF25（數(shù)量：10件），技術(shù)要求：材質(zhì)：304不銹鋼。6.8快卸卡箍KF40（數(shù)量：10件），技術(shù)要求：材質(zhì)：304不銹鋼。7、真空耗材7.1無氧銅墊圈CF16（數(shù)量：400件），技術(shù)要求：材質(zhì)：TU1無氧銅材質(zhì)。7.2無氧銅墊圈CF25（數(shù)量：100件），技術(shù)要求：材質(zhì)：TU1無氧銅材質(zhì)。7.3無氧銅墊圈CF35（數(shù)量：400件），技術(shù)要求：材質(zhì)：TU1無氧銅材質(zhì)。7.4無氧銅墊圈CF100（數(shù)量：100件），技術(shù)要求：材質(zhì)：TU1無氧銅材質(zhì)。5（五）成果要求1.因履行本合同所產(chǎn)生的研究開發(fā)成果及其相關(guān)知識產(chǎn)權(quán)權(quán)利均歸屬采購人，且采購人可以不受限制地進行使用，無權(quán)干涉。不對該等研發(fā)成果及相關(guān)知識產(chǎn)權(quán)權(quán)利享有任何權(quán)利，未經(jīng)采購人書面同意，不得以任何方式使用該等研發(fā)成果及相關(guān)知識產(chǎn)權(quán)，也不得擅自許可任何第三方使用。2.采購人有權(quán)利用按照本合同約定提供的研究開發(fā)成果進行后續(xù)改進。由此產(chǎn)生的具有實質(zhì)性或創(chuàng)造性技術(shù)進步特征的新的技術(shù)成果及其權(quán)屬，均歸采購人享有，不基于該等新的技術(shù)成果享有任何權(quán)利或收益。3.利用采購人提供的技術(shù)、資料或工作條件等，開發(fā)出本合同約定的研究開發(fā)成果以外的研究開發(fā)成果的，該等研究開發(fā)成果及其權(quán)屬歸采購人享有，不基于該等技術(shù)