標準解讀

《GB/T 42604-2023 真空技術　真空計　熱陰極電離真空計規(guī)范》是一項國家標準，旨在為熱陰極電離真空計的設計、制造、校準及使用提供指導。該標準詳細規(guī)定了熱陰極電離真空計的技術要求、測試方法以及質量保證措施等內容。

熱陰極電離真空計是一種基于氣體分子在電場作用下被電離的原理來測量低壓環(huán)境中壓力值的儀器。它通過加熱陰極發(fā)射電子，在陽極與陰極之間形成電流，當有氣體存在時，這些自由電子會與氣體分子碰撞并導致氣體分子電離，從而產(chǎn)生離子電流。根據(jù)離子電流大小的變化可以推算出被測環(huán)境中的氣體壓力。

本標準首先明確了適用范圍，即適用于以熱陰極作為電子源進行工作的各種類型電離真空計。接著定義了一系列術語和符號，確保文檔內使用的專業(yè)詞匯具有統(tǒng)一且明確的意義。對于產(chǎn)品分類，標準按照不同工作模式或結構特點將熱陰極電離真空計進行了細分，并對每種類型的基本參數(shù)做出了具體說明。

此外，《GB/T 42604-2023》還制定了嚴格的技術要求，包括但不限于：靈敏度、線性度、響應時間等關鍵性能指標；同時指定了相應的試驗條件和方法，以便于制造商能夠準確評估其產(chǎn)品是否符合規(guī)定。安全方面也得到了充分考慮，如電氣安全、機械強度等方面均有明確規(guī)定。

最后，關于標志、包裝、運輸和貯存等方面也有詳細的指導原則，確保從生產(chǎn)到最終用戶手中的每一個環(huán)節(jié)都能得到妥善處理，保護設備免受損害。


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....

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  • 正在執(zhí)行有效
  • 2023-05-23 頒布
  • 2023-05-23 實施
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文檔簡介

ICS23160

CCSJ7.8

中華人民共和國國家標準

GB/T42604—2023/ISO278942009

:

真空技術真空計

熱陰極電離真空計規(guī)范

Vacuumtechnology—Vacuumgauges—

Specificationforhotcathodeionizationgauges

ISO278942009IDT

(:,)

2023-05-23發(fā)布2023-05-23實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T42604—2023/ISO278942009

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

符號和縮略語

4……………5

熱陰極電離真空計的原理

5………………6

制造商給出的熱陰極電離真空計規(guī)范

6…………………6

制造商另給出的熱陰極電離真空計規(guī)范可選

7()………8

熱陰極電離真空計測量不確定度的貢獻分量

8…………9

附錄資料性典型的玻璃殼體的型真空計

A()B-A…………………12

附錄資料性型真空計的典型電連接

B()B-A…………13

附錄資料性電離真空計的問題

C()……………………14

參考文獻

……………………15

Ⅰ

GB/T42604—2023/ISO278942009

:

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用真空技術真空計熱陰極電離真空計規(guī)范

ISO27894:2009《》。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本文件由全國真空技術標準化技術委員會歸口

(SAC/TC18)。

本文件起草單位中國航天科技集團有限公司第五研究院第五一〇研究所上海精密計量測試研究

:、

所合肥智海光電技術有限公司沈陽匯真真空技術有限公司佛山市順德區(qū)質量技術監(jiān)督標準與編碼

、、、

所重慶大學湖南維格磁流體股份有限公司淄博市計量技術研究院廣州涂氏精怡科技有限公司惠

、、、、、

州市宇之光科技有限公司廣東唯沃科技有限公司深圳市時代高科技設備股份有限公司沈陽真空技

、、、

術研究所有限公司

。

本文件主要起草人成永軍趙瀾孫雯君張虎忠肖寅楓翁俊倪博劉磊趙燕宋青竹王壯

:、、、、、、、、、、、

李春侯軍霞羅付強言繼春言文靜張曉琳董猛陳聯(lián)張瑞芳管保國馮天佑涂進紅蔣振蘭

、、、、、、、、、、、、、

張海鷹田漢溶王玲玲

、、。

Ⅲ

GB/T42604—2023/ISO278942009

:

引言

電離真空計是測量高真空和超高真空的常用儀器在已知溫度的高真空和超高真空環(huán)境下該真

。,

空計收集的離子流與氣體密度和壓力成正比高速運動的電子碰撞電離中性氣體分子產(chǎn)生離子電子

。,

則是通過自持放電或電子發(fā)射陰極產(chǎn)生在商用電離真空計中電子發(fā)射陰極為熱絲也稱為熱陰

。,,“

極它是通過熱發(fā)射原理實現(xiàn)電子發(fā)射

”,。

由于交叉電磁場自持放電的電離真空計在放電電流與氣體密度之間展現(xiàn)出的非線性特征使其校

,,

準非常繁瑣因此在高真空度和超高真空度的壓力范圍內測量線性更好的熱陰極電離真空計可用

。,,“”

于量值傳遞

。

電離真空計若用于高真空和超高真空范圍的量值傳遞和精確測量真空計相關參數(shù)和不確定度值必

,

不可少本文件將對其加以描述因此當使用電離真空計作為參考標準時本文件是對的

,。,,ISO/TS3567

補充

。

Ⅳ

GB/T42604—2023/ISO278942009

:

真空技術真空計

熱陰極電離真空計規(guī)范

1范圍

本文件定義了與熱陰極電離真空計相關的術語并規(guī)定熱陰極電離真空計制造商要給出的具體參

,

數(shù)以及在操作這些儀表時需要考慮的測量不確定度分量原因如下

,,。。

本文件更新了中給出的一些術語和定義

a)ISO3529-3:1981。

熱陰極電離真空計通常用作參考標準本文件為適用的實驗室明確規(guī)定了便于在高真空和超

b),

高真空下正確校準真空計的相關信息使用電離真空計開展高真空和超高真空的可溯源壓力

。

測量時適于在制造商說明書中引述含有真空計相關參數(shù)和特征的信息

,。

本文件還列出了與電離真空計壓力測量相關的重要的不確定度分量也給出了這些不確定度

c),

分量的評估指南對于某些當前或未來的真空計來說不確定度分量的清單可能并不全面

。,。

將電離真空計用作參考標準時本文件是對和的補充

d),ISO/TS3567ISO/TS27893。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

測量不確定度評定和表示

GB/T27418—2017(ISO/IECGuide98-3:2008,MOD)

注被引用的內容與被引用的內容沒有技術上的差異

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