輝光離子氮化爐(glowplasmanitridingfurnace)一、概述離子氮化是在13.3-1333Pa的真空容器中使含氮稀薄氣體在直流電場中電離，正離子轟擊金屬零件表面形成氮化層，正離子轟擊金屬零件表面形成氮化層，以達到表面硬化的方法。離子氮化對于球墨鑄鐵，合金鋼，不銹鋼，粉末冶金制品，鈦合金，高速鋼，工具鋼等均有顯著氮化效果。二、設備的組成離子氮化爐由爐體，輸電裝置，真空獲得系統，供電系統，供氣系統，溫度測量五部分組成。1、爐體由爐蓋、筒體、爐底盤和底架組成，其中爐蓋、筒體、爐底盤夾層通冷卻水，爐內設有不銹綱，滲鋁板雙層隔熱屏，（ LD-25）型只有不銹綱一層，爐體上設有雙層鋼化玻璃觀察窗，以供離子氮化過程中觀察爐內情況之用。2、爐底設有堆放陰極一個，堆放陰極與陰極支承上安放著工作盤，工作盤，工件可直接放在此盤上。3、爐體的真空獲得系統一般由兩臺旋片式真空泵及串有碟閥的管道系統組成， 碟閥的作用是通過關閉或旋轉不同的角度調度調節抽氣量以維持不同進行氣量條件下的爐內壓強。真空度的測量用配套 ZDZ-4型電阻真空計，從表頭可直接讀出真空值。4、爐體的供氣管進口設在爐殼筒體上，流量計采用 701HB型氫定標，氮定標的轉子流量計各 1只，以便通氮氫混合氣，單用氫流量計通氨氣時，其讀數按下列式修正：Q=KQ標Q標 轉子流量計出廠時的所標定的刻度值；K 修正系數，由緩沖罐壓力確定如下表 ；緩沖罐壓 K力Kg/cm2L1.0 0.50.4 0.45、熱電偶經陰極插入爐內，進行模擬測量，由控溫儀表記錄溫度。進行 P、I、D控溫。三、主要技術參數項目單位25A50A100A真空室容積0.716極限真空度Pa6.67壓升率Pa/min0.133所配真空泵臺2x-82x-152x-152x-152x-152x-30有效工作室尺寸cmΦ65×75Φ85×90Φ110×120最大加熱面積cm21.25×1042.5×1045×104裝爐量t0.81.22最高工作溫度℃650650650外形尺寸mmΦ1240×2000Φ1557×2350Φ1875×2800冷卻水耗量（平均m30.70.80.9值）出水口溫度℃<55<55<55爐體總重t1.62.733.55四、使用條件、室內使用，地面平整，通風良好，環境整潔（從而保證向爐殼沖氣后爐內清潔）。2、環境溫度在 +5~40℃，倘若環境溫度低于 +5℃，需給真空泵周圍加熱。3、環境相對濕度不大于 85%。、周圍無明顯震動及高頻設備。、周圍無導電塵埃，無爆炸性氣體，無腐蝕金屬和絕緣的氣體。6、海拔不超過 1000米。、自備進水，出水管。、自備供氣氣源及氣管。五、安裝1、熟讀本設備及真空儀表、控溫儀表、真空泵的安裝使用說明書，熟悉有關安裝圖紙資料。2、檢查設備成套情況及附件是否齊全。、爐體安裝后，方能打開防氣閥，吊開鐘罩，清理干凈后，按圖紙裝配陰極輸電裝置和陰極盤支承，然后將鐘罩蓋好，預備抽真空。、拆去真空泵的皮帶，接線試電動機的旋轉方向，使之與真空泵護罩上標志的方向相同，然后將真空泵與爐體通過掛管道連接好。5、把真空規管通過橡膠管插入爐底盤下，并按 ZDZ-4型電阻真空計使用說明書接好規管連接線（連接線加長會影響讀數的準確性）。6、按進水、出水的標志，接好供水、排水的管路，爐體爐蓋和爐底應單獨供水和出水。7、爐體本身是陽極，必須按標志可靠接地，單獨埋設地線，其接地電阻不得大于 4歐姆，不得以接零代替接地。鐘罩與底盤須用導線相連。8、氨氣進嘴設在爐體上，有堵頭，待測試過極限真空度和漏氣率后方可取走堵頭安裝進氣管路。供氣流程：氨氣瓶— >減壓閥—>熱分解爐—>流量計—>爐底內、爐體安裝應用水平儀找平，不得晃動及傾斜。六、調整與測試1、絕緣電阻的測量：爐內充入大氣，在非真空，空爐條件下用 2500兆歐表測量絕緣電阻，陰極對陽極（對地），陰極對熱電偶絲均應不小于4兆歐，測量時必須斷開陰極，陰極及熱電偶與電器柜的連線，否則要損壞元件及儀表。2、抽氣速度的測試打開 ZDZ-4電阻真空計的開關，啟動真空泵先進行 1~2分鐘后打開碟閥，抽真空達到 6.67Pa為止。3、要經過幾次 反復抽氣后，測試壓升率，待爐內壓強穩定在 6.67Pa時關閉碟閥，60分鐘后測得壓強 Pt，計算壓升率。-2Pt-5×10△P=

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≤0.133Pa/mint式中：（t）—分鐘（min）

（Pt）—TOYY附：

Pa與TOYY的換算：

1TOYY=133.322Pa4、啟動真空泵抽氣至極限真空度，

向爐內供氣，調整氣氛流量和碟閥使爐內壓強穩定在所需要的范圍。5、按使用說明書的說明進行操作，對工作盤進行起輝。6、關閉碟閥，停閥。經過清理，可以在500℃左右保溫1小時，使工作盤工作穩定。停止供電，停止供氣，降溫到200℃以下后停止冷卻水，以待裝爐正式生產使用。七、使用注意事項、工作中嚴禁觸摸陰極，以免觸電。、開爐過程中，如發現連續在固定點出現弧光時，需停爐檢查零件質量或是否有其它原因，切勿勉強工作。、緩沖罐內壓力<1Kg/cm2。八、維護、保護與檢修1、真空室必須保持清潔、干燥，不使用時應保持真空狀態，冬季停爐或長期不使