標準解讀

《YS/T 980-2014 高純三氧化二鎵雜質含量的測定 電感耦合等離子體質譜法》是一項針對高純度三氧化二鎵中雜質元素含量分析的標準。該標準主要規定了使用電感耦合等離子體質譜（ICP-MS）技術來檢測樣品中的多種微量元素的方法流程，適用于評估材料純度以及控制生產過程質量。

標準詳細描述了從樣品準備到最終結果報告的一系列步驟。首先，在樣品制備階段，需要將待測的高純三氧化二鎵溶解于適當的溶劑中形成溶液，并可能根據具體要求進行稀釋或其他預處理以適應后續分析條件。接著是儀器設置部分，包括選擇合適的ICP-MS參數如射頻功率、載氣流量等，確保獲得最佳靈敏度和穩定性。

在實際測量過程中，通過與已知濃度的標準溶液比較來確定未知樣品中各目標元素的具體含量。為了保證數據準確性，還強調了空白實驗的重要性，即采用同樣的方法對不含待測成分的對照樣進行測試，以此排除外界因素干擾。此外，標準也提到了內標法的應用，通過添加一定量的非目標元素作為參考點，幫助校正因基體效應或信號漂移引起的變化，從而提高定量分析的精確性。

整個分析流程結束后，按照指定格式整理并記錄下所有相關數據，包括但不限于樣品信息、儀器工作條件、所用標準物質詳情及最終計算得出的結果等。這些內容構成了完整的檢測報告，為用戶提供關于其產品雜質水平的有效反饋。


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....

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  • 正在執行有效
  • 2014-10-14 頒布
  • 2015-04-01 實施
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YS/T 980-2014高純三氧化二鎵雜質含量的測定電感耦合等離子體質譜法_第1頁
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文檔簡介

ICS7704030

H17..

中華人民共和國有色金屬行業標準

YS/T980—2014

高純三氧化二鎵雜質含量的測定

電感耦合等離子體質譜法

Determinationofimpuritiesofhighpuritygalliumoxide—

Inductivelycoupledplasma-massspectrmetry

2014-10-14發布2015-04-01實施

中華人民共和國工業和信息化部發布

YS/T980—2014

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位峨嵋半導體材料研究所南京中鍺科技股份有限公司廣東先導稀材股份有限

:、、

公司

。

本標準主要起草人劉愛華孫平種娜鄭孝桃楊海燕朱贊芳陳劼劉心君

:、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T980—2014

高純三氧化二鎵雜質含量的測定

電感耦合等離子體質譜法

1范圍

本標準規定了高純三氧化二鎵中雜質元素含量的測定方法

。

本標準適用于高純三氧化二鎵中鈉鎂鈣鈦釩鉻錳鐵鎳鈷銅鋅錫鉛銦含量的測定

、、、、、、、、、、、、、、。

各元素測定范圍為-6-5

(1×10)%~(4×10)%。

2方法提要

試料經混酸溶解制備成待測溶液后用電感耦合等離子體質譜儀進行測定獲得待測元

,(ICP-MS),

素質量數信號以雜質元素質量數的信號強度為縱坐標雜質元素濃度為橫坐標繪制標準加入法工作

。,

曲線進而計算所測樣品中待測元素的質量分數推薦采用附錄所列測量元素的同位素質量數

,。A。

3試劑和材料

除非另有說明在分析中所使用的水均為去離子水電阻率

,,≥18.0MΩ/cm。

31硝酸總雜質含量質量分數為

.,≤1ng/mL,70%。

32鹽酸總雜質含量質量分數為

.,≤10ng/mL,65%。

33標準貯存溶液

.

331混合標準貯存溶液由含待測元素組成的混合標準溶液規格濃度

..:(:GSB04-1767—2004),

為

1000μg/mL。

332鈦標準溶液由國家標準物質研究中心提供規格介質為硝酸

..(1000g/mL)(:GF5310),2%

溶液μ

。

333釩標準溶液由國家標準物質研究中心提供規格介質為硝酸

..(1000g/mL)(:GF5311),2%

溶液μ

。

334錫標準溶液由國家標準物質研究中心提供規格介質為

..(1000g/mL)(:GSB04-1753—2004),

鹽酸溶液μ

3%。

34混合標準溶液的配置分別移取的混合標準貯存溶液鈦標準溶液釩標

.:0.01mL(3.3.1)、(3.3.2)、

準溶液錫標準溶液于的容量瓶稀釋至刻度此時混合標準溶液各待測雜質元

(3.3.3)、(3.3.4)100mL,,

素的濃度為

0.1μg/mL。

35氬氣純度

.:>99.999%。

4儀器

電感耦合等離子體質譜儀經過優化儀器工作條件得出儀器工作參數參見附錄

:,,B。

5分析步驟

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