測試技術——

參數式傳感器及其應用第四章問題：1.測量位移可以采用什么傳感器？2.為什么實際中的電容及電感傳感器常采用差動形式？3.電渦流傳感器一般測量什么量，其工作原理是什么？內容4.1傳感器概念4.2電阻式傳感器4.3電容式傳感器4.4電感式傳感器重點：掌握每種傳感器的工作原理及其應用1)基本概念國家標準（GB7665—87）對傳感器定義:

感受規定的被測量并按一定的規律轉換成可用輸出信號的器件或裝置內涵：一個指定的傳感器，只能感受規定的物理量輸入輸出關系服從一定規律傳感器的輸出信號中載有被測量信息4.1傳感器概念

什么是傳感器？重要作用：機械量檢測中不可缺少的首要環節它的精度直接影響測試系統的整體測試精度工程實際中俗稱測量頭、檢測器等，也稱為一次儀表傳感器Transducer/Sensor/probe

4.1傳感器概念

2)組成敏感元件轉換元件轉換電路被測量電量敏感元件直接感受被測量（如：位移）轉換為有確定關系的、易變成電參數的其它物理量（如：應變）轉換元件將其它物理量直接轉換為有確定關系的電參量的元件（如：電阻）有的傳感器兩元件合二為一。

一般傳感器4.1傳感器概念

敏感元件力、轉矩應變轉換元件應變電阻

轉換電路電阻電壓測力環測扭矩軸拉力傳感器4.1傳感器概念

可見（1）敏感元件可以將被測量進行多于一次的變換；（2）敏感元件可以是多個零件的組合體。位移傳感器敏感元件直線位移徑向位移徑向位移彎曲變形彎曲變形應變轉換元件應變電阻4.1傳感器概念

波登管一端開通，一端封閉，當流體進入管中后封閉端產生位移，其位移大小正比于流體的壓強。敏感元件：波登管（C型管）壓強→位移轉換元件：銜鐵位移→電感5—C型彈簧管6、8—線圈7—銜鐵9—機械零點調零螺釘

4.1傳感器概念

基本特性包括靜態特性與動態特性兩大類性能指標。靜態特性

量程、靈敏度、分辨率、精度、非線性、穩定性等。動態特性可用頻率范圍動態放大比設計或選用時必須考慮的問題3)傳感器基本特性4.1傳感器概念

4)傳感器分類

一種被測量可以用不同類型的傳感器來測量同一原理的傳感器通常又可測量多種非電量輸入量分類法可分為溫度、壓力、位移、速度、濕度等傳感器。該分類法適合于用戶和銷售商，便于很明確地根據用途選用傳感器。輸出量分類法

可分為參數式傳感器和發電式傳感器兩類。該分類法適合研發者和學習者，以便于掌握傳感器的工作原理。4.1傳感器概念

將輸入的機械參數變化轉變為電參數變化的傳感器。常用的有電阻、電感和電容式三種基本參數傳感器。這種傳感器由于在工作時其本身沒有內在的能量轉換，而不能產生電信號輸出，故常常也被稱之為無源傳感器。

將輸入的機械參數信號直接轉變為電信號輸出的傳感器。常用的有壓電式、磁電式、光電式、霍爾式以及熱電式等類型傳感器。在工作時其本身就有內在的能量轉換，且能夠產生電信號輸出，故它常常也被稱之為有源傳感器。

參數式傳感器發電式傳感器

本章重點介紹參數式傳感器及其應用

下一章將介紹發電式傳感器及其應用4.1傳感器概念

定義：將非電量變化轉換為電阻變化的傳感器分類：敏感元件

.彈性元件、熱敏元件、滑塊轉換元件電阻轉換電路直流電橋4.2電阻式傳感器電阻R電阻應變式熱電阻式電位計式電阻式傳感器測應變測溫度測位移應變式傳感器的工作原理：利用微應變與電阻的關系

根據電阻定律，導體或半導體的電阻可以表示為：第一項表示材料幾何尺寸變化引起的電阻變化第二項表示材料特性電阻率變化引起的電阻變化1）

應變片式傳感器材料在軸向受力的作用，產生機械變形/結構變形——微應變取對數再微分：已知：可得：——電阻應變式傳感器4.2電阻式傳感器分析電阻率變化（1）金屬材料-與體應變成比例

式中：C比例常數（2）半導體材料-取決于壓阻效應式中：л半導體材料在受力方向壓阻系數

E半導體材料的彈性模量——電阻應變式傳感器4.2電阻式傳感器金屬材料一般ν≈0.3，C≈1，因此金屬材料的電阻應變效應主要來自結構尺寸的變化——尺寸效應，且靈敏系數較小，約為2.0左右。半導體材料

лE>>(1+2ν)，因此半導體材料的電阻變化主要來自

壓阻效應，靈敏系數較大，約為50～200，分散性大。——電阻應變式傳感器4.2電阻式傳感器應變片式傳感器技術參數類型金屬應變片半導體應變片測量范圍με0.1～500000.001～3000靈敏系數1.8～4.550～200標稱阻值Ω120，350，600，…，50001000～5000電阻受溫度影響溫度系數是正值溫度系數一般是負值電阻容差0.1%～0.35%1%～2%有效柵長度/mm0.4～150標準值：3～101～5——電阻應變式傳感器4.2電阻式傳感器金屬應變片與半導體應變片的性能比較——電阻應變式傳感器金屬應變片：

優點是靈敏度一般為常數。

溫度影響比半導體小，由溫度引起的電阻變化與試件應變帶來的電阻變化也幾乎是同一數量級。

缺點是靈敏度較低，需要放大電路。半導體應變片：

優點是靈敏度高，比金屬材料約高50倍，因此有時可以不加放大器，使測量電路大大簡化。

缺點是電阻溫度系數大，比常用金屬絲材料大幾十倍，因此對溫度過于敏感；

此外大應變時靈敏度不為常數4.2電阻式傳感器為什么是缺點？應變片結構目前主要使用金屬箔式應變片——電阻應變式傳感器各種形式應變花4.2電阻式傳感器常用金屬應變片材料康銅(銅鎳為主的合金)：常用的電阻絲材料（電阻溫度系數低）卡瑪合金：比康銅具有更長的疲勞壽命和更寬的溫度范圍

適用于長時間靜態測量鉑鎢合金：具有極長的疲勞壽命應變片性能對絕緣電阻要求高：

粘貼的應變片與被測試件之間的電阻值一般要求R＞108Ω限制最大工作電流Imax：

應變片敏感柵允許通過的不影響其工作特性的最大電流值

通常靜態測量取25mA左右，動態測量可取75～100mA——電阻應變式傳感器？4.2電阻式傳感器柱式應變片式傳感器的應用膜片式（氣體、液體）等截面梁雙孔梁S型拉力梁——電阻應變式傳感器等截面梁4.2電阻式傳感器應變片的安裝安裝質量力傳遞效果

測量效果安裝方向：應變大的方向——應變片縱向安裝方法：粘貼法、焊接法和噴涂法，其中粘貼法最為常用——電阻應變式傳感器應用中注意事項1：4.2電阻式傳感器應變傳感器溫度誤差及補償溫度引起的測量誤差溫度效應：阻值隨溫度變化熱膨脹效應：不同的線膨脹系數導致不同應變電阻溫度效應熱膨脹效應Rt、R0—應變片在溫度t、t0時電阻值α—應變片電阻絲的電阻溫度系數β—電阻絲材料和試件材料的線膨脹系數Ｓ—應變片靈敏系數Δt—溫度變化量——電阻應變式傳感器應用中注意事項2：4.2電阻式傳感器溫度補償方法一：采用橋路補償方法電橋特征：輸出電壓與相鄰臂阻值之差成比例。因此：電橋可以實現溫度補償。——電阻應變式傳感器溫度補償方法二：采取自補償應變片（適當選擇溫度系數及線膨脹系數敏感珊材料）合理選擇敏感柵材料,即其電阻溫度系數α、線膨脹系數β使等式為零。4.2電阻式傳感器2）

熱電阻式傳感器——測量溫度工作原理：

利用電阻隨溫度變化的特性制成的傳感器叫做電阻式溫度傳感器。

兩種類型

金屬熱電阻：純金屬是制造熱電阻的主要材料

可以應用于熱電阻的金屬有鉑、銅、鎳、鐵等

半導體熱敏電阻：分為三類：

負溫度系數熱敏電阻（NTC）；

正溫度系數熱敏電阻（PTC）；

臨界溫度系數熱敏電阻（CTC，在一定溫度下電阻值會發生突變）。PTC和CTC型在一定溫度范圍內，阻值隨溫度劇烈變化，因此常用作開關元件，溫度變化測量主要使用NTC型熱敏電阻。

——熱電阻式傳感器4.2電阻式傳感器兩種類型熱電阻特點：

A.靈敏度溫度升高1℃：大多數金屬的阻值要增加0.4~0.6%——正溫度效應

NTC半導體的電阻值要減小3~6%——負溫度效應——熱電阻式傳感器一般純金屬在溫度變化范圍不大時，電阻值與溫度的關系近似為線性NTC半導體的電阻值與溫度的關系為非線性關系

其中，B是熱敏電阻的材料常數。B.線性度4.2電阻式傳感器電阻—溫度特性曲線鉑、銅的電阻特性曲線比較理想半導體的電阻特性曲線——熱電阻式傳感器4.2電阻式傳感器熱電阻材料選擇電阻溫度系數α要大，制成的溫度傳感器的靈敏度高。電阻溫度系數與材料的純度有關，純度越高，α值就越大，且穩定電阻率要大，這樣可使熱電阻體積較小，熱慣性較小，對溫度變化的響應就比較快在整個測量范圍內，物理化學性質穩定、線性、良好重復性易于加工復制，價格便宜——熱電阻式傳感器4.2電阻式傳感器常用熱電阻：

（1）鉑電阻：

化學穩定性很高，容易提純，便于加工

是最常用的金屬熱電阻材料用于-259.34～630.74℃范圍內的測溫

是基準溫度計——熱電阻式傳感器4.2電阻式傳感器薄膜鉑電阻用真空沉積的薄膜技術把鉑濺射在陶瓷基片上，膜厚在2μm以內，用玻璃燒結料固定Ni(或Pd)引線，制成薄膜元件.特點：微型化、反應快——熱電阻式傳感器4.2電阻式傳感器（2）銅電阻優點：溫度系數α高，價格低廉，易于提純在-50～150℃范圍內近似呈線性關系缺點：電阻率小，體積較大，銅電阻絲細而長，故機械強度降低易氧化，只能用于無侵蝕性介質——熱電阻式傳感器4.2電阻式傳感器幾種金屬熱電阻材料特性——熱電阻式傳感器

鎳和鐵電阻雖然也適合做熱電阻，但由于易氧化、非線性嚴重，較少應用.4.2電阻式傳感器（3）鍺電阻鍺是最常用的半導體材料，純鍺在低溫下電阻率太大,對溫度的靈敏度也不高，因此必須摻雜微量的雜質.

特點：具有負的電阻溫度系數：溫度降低時，其電阻值增加，靈敏度增大電阻溫度關系很穩定，重復性很好——迄今所研究過的半導體中最理想的低溫測量元件標定一次可長期使用，而且它的測量精度可達到0.005K許多國家將鍺電阻溫度計作為4.2K~20K之間的標準測溫儀表——熱電阻式傳感器4.2電阻式傳感器3）

電位計式電阻傳感器原理：將線位移或角位移轉換為與其成一定函數關系的電阻結構：帶有直線或旋轉滑動觸頭的電阻器件種類：按結構形式可分為繞線式、薄膜式等——電位計式傳感器4.2電阻式傳感器4）

電阻式傳感器的應用（1）應變式力傳感器被測物理量：載荷或力

各種類型的測力元件，測量范圍從1mN～108N特點：分辨率高，誤差較小，測量范圍大，靜態與動態都可測，能在嚴酷環境下工作柱式測力元件：體積小、結構緊湊、構造簡單柱式這是一個重要特性！4.2電阻式傳感器

（2）應變式壓力傳感器被測物理量：液體、氣體的動態和靜態壓力例如：動力管道設備進、出口氣體和液體的壓力，發動機噴口壓力，內燃機管道壓力等。4.2電阻式傳感器結構：膜片式或筒式彈性元件在壓力的作用下，圓膜片產生徑向應變和切向應變應變片（3）應變式扭矩傳感器原理：彈性元件在傳遞轉矩時產生應變

軸受到扭矩作用時，剪切應變與它所傳遞的扭矩有線性關系

其中：Me轉軸所受的扭矩、G剪切模量、W扭轉模量

應變片扭矩傳感器徑向刷式集流環示意圖1-扭矩軸；2-應變片；3-絕緣環；4-滑環；5-電刷4.2電阻式傳感器（4）熱敏電阻：種類繁多；由單晶、多晶以及玻璃、塑料等半導體材料制成

PTC、CTC熱敏電阻隨溫度變化阻值變化劇烈，常用開關元件NTC測量靈敏度較高、成本低、體積小（點溫度測量），可滿足不同測溫對象的要求，而且適合動態測量缺點是性能不穩定，互換性差，導致測量精度不高——空調系統的溫控元件a)圓片型b)柱型c)平板型d)結構組成e)符號——熱電阻式傳感器4.2電阻式傳感器1—膜盒

2—連桿

3—曲柄4—電刷5—電阻元件（5）電位計式壓力傳感器

敏感元件將被測量轉換為機械位移，再由電位計將位移轉換為與之成對應關系的電阻或電壓信號輸出。4.2電阻式傳感器傳感器定義：感受特定量、一定規律、可用輸出信號組成：敏感元件、轉換元件電阻式傳感器1）應變式傳感器

原理:結構尺寸效應、壓阻效應2）熱電阻傳感器：

原理：熱阻效應3）電位計傳感器：

原理：滑動觸頭位移改變阻值電阻式傳感器回顧

2）工作原理在忽略邊緣效應的情況下，平行極板電容器的電容量:

δAεUQ3）基本類型

變極距δ：位移

變面積A：位移、壓力（差動）變介質ε：厚度、液位工作原理：將被測量的變化轉換為電容參數的變化。4.3電容式傳感器1）組成：由兩個平行導體（板）構成的電容。A（1）變極距式

兩極板在被測對象作用下,間隙δ發生變化

電容量C與極距δ呈非線性關系，為了減小非線性誤差，極距不能太小，通常極距變化范圍/00.01～0.1。此類電容傳感器僅適于微小位移的測量（0.001mm～零點幾毫米）；靈敏度s與極距的平方成反比，極距越小，靈敏度越高，為了提高靈敏度，極距應盡可能小極距減小受限制：一是非線性誤差增大；二是容易發生電容極板間的電擊穿。一般初始極距0＝0.1～1mm左右。用于非接觸測量靈敏度4.3電容式傳感器如何既能改善非線性、又能提高靈敏度？性能改進方法——差動方式

兩個變極距電容傳感器，被測位移使動片變化，引起極距差動變化，兩個輸出電容也差動變化：一個增大、一個減小。

如果在電路設計上實現：輸出量與兩個電容變化量之差成比例，則差動方式的靈敏度就是原來2倍。

差動電容傳感器常采用交流電橋進行放大，兩個電容就是電橋的相鄰兩個橋臂。動片定片定片δδ4.3電容式傳感器什么電路可以實現此功能？差動變極距式電容傳感器性能分析：

對于兩個極板構成的平行極板電容器，見圖(a),假設動極板上移時，極板間距由初始距離變為，電容變化：

則電容的相對變化量為：

因為<<1，將上式按冪級數展開,得到忽略二次以上高次項的近似解.

對于三個極板構成的差動電容器，見圖(c),假設動極板上移時，上、下極板間距分別變為與，電容為得到了忽略三次以上高次項解。可見：差動電容器靈敏度提高，非線性誤差減小。4.3電容式傳感器（2）變面積式：相對面積變化

靈敏度可見:

靈敏度為常數，輸出特性為線性;減小極距δ可提高靈敏度;可測量1cm～10cm中等大小的位移.應用中也采用差動方式：提高靈敏度

4.3電容式傳感器（3）變介質式內圓筒外圓筒介質靈敏度可見：

靈敏度為常熟，輸出特性為線性；增加面積A、減小極距δ可提高靈敏度。應用

液位高低片狀材料的厚度4.3電容式傳感器4）電容式傳感器優、缺點優點：分辨率高（變極距式）精度高達0.01%動態特性好，適合測量動態量能量損耗小非接觸測量結構簡單，環境適應性好（高溫、輻射等）缺點：電纜分布電容影響大4.3電容式傳感器

5）電容測量時的幾點考慮抗干擾：電容量很小（幾個pf~幾十個pf），易受外界電場干擾，因此：

采用輸入阻抗高，噪聲低的前置放大器引出線應盡量短

采用屏蔽線，而且屏蔽線與殼體及可動電極應有可靠的接地

盡量減小外電場的干擾；極板間絕緣材料要求高：通常要求絕緣電阻在100MΩ以上，以減小漏電阻對測量精度的影響；環境溫度影響：

采用補償電橋以抵消介電常數隨溫度的變化盡量選擇膨脹系數低的材料制造電容式傳感器，以減小尺寸隨溫度的變化。4.3電容式傳感器如何補償？6）電容式傳感器典型結構

變極距(δ）型:(a)、(e)

變面積型(A)型:(b)、(c)、(d)、(f)、(g)（h）

變介電常數(ε)型:（i）～(l)4.3電容式傳感器7）電容式傳感器的應用（1）電容式轉速傳感器（2）電容式厚度傳感器——電容式傳感器的應用4.3電容式傳感器（3）電容式壓差傳感器結構：變間隙差動方式電容傳感器固定極板:兩個凹面鍍金的玻璃圓盤可動電極:一個金屬(不銹鋼)膜片當p1≠p2時，膜片彎向一側，那么兩個差動電容一個增大、一個減小，且變化量大小相同當壓差反向時，差動電容變化量也反向特點：結構簡單，靈敏度高，響應速度快(約100ms)，能測微小壓差(0～0.75Pa)電容式差壓傳感器結構示意圖1－金屬鍍層2－凹形玻璃3－膜片4－過濾器5－外殼——電容式傳感器的應用4.3電容式傳感器（4）電容式加速度傳感器

微加速度傳感器：上、下電極固定不動，動片是左端固定在襯底上的懸臂梁，可以上下振動。三維方向的振動或加速度測量：在殼體內的三個相互垂直方向安裝三個加速度傳感器

3硅襯底，4底層多晶硅——下電極，5中間層多晶硅——振動片；6頂層多晶硅——上電極——電容式傳感器的應用4.3電容式傳感器宏觀尺度電容式加速度傳感器變極距式電容傳感器產品舉例非接觸DWC型電容式位移測量儀：平面、圓柱面線性量程:5/10/50/100/500/1000/2000/3000/4000/5000μm分辨率:0.01%FS

非線性:0.25%FS

頻響:0--7.5KHz

電源:+15V,-15V

輸出:-5V--+5V

溫度穩定性:0.25%FS/h

具有自校靈敏度.非線性功能——電容式傳感器的應用4.3電容式傳感器電容式傳感器回顧特點結構簡單、分辨率高、工作可靠、可非接觸測量類型類型靈敏度特性常測量應用形式變極距式非線性微小位移0.001—﹤1mm壓力、加速度常用差動變面積式線性中等位移1-10cm常用差動變介質式線性液位厚度定義及分類：

基于電磁感應原理，將被測量轉化為電感量.

可測量的物理量位移壓力流量電感式傳感器自感型可變磁阻型渦流式互感型4.4電感式傳感器

分類：1）自感型變磁阻傳感器

組成：自感型變磁阻傳感器由線圈、鐵心、銜鐵三部分組成。原理：將被測量的變化轉換為線圈自感系數的變化。

由于鐵心磁導率遠遠大于空氣磁導率，自感傳感器的自感量為：氣隙面積、氣隙長度改變時，均會引起磁路磁阻變化.4.4電感式傳感器

磁路磁阻Rm由鐵心和銜鐵的磁阻Rf和氣隙磁阻兩部份組成，即：設線圈匝數為N，線圈自感L的定義為：其中：自感型變磁阻傳感器靈敏度

變面積式靈敏度變氣隙式靈敏度自感型變磁阻傳感器類型

變面積式變氣隙式靈敏度低，較少使用靈敏度高，常用變氣隙式靈敏度也可表示為4.4電感式傳感器

自感傳感器缺點：

（a）變面積型工作特性是線性的，但靈敏度低；（b）變氣隙型靈敏度高,但非線性嚴重；為減小非線性誤差，氣隙的初始值δ0不宜過小；為獲得較高靈敏度，氣隙的初始值δ0不宜過大；

=0.1～0.5mm，=(1/5～1/10)

僅測量較小位移0.001——﹤1mm；（c）鐵心對銜鐵的吸力比較大。如何既提高靈敏度又改善非線性？4.4電感式傳感器

雙邊差動式自感型傳感器結構：自感傳感器采用兩個線圈激磁，共用一個活動銜鐵組成，工作時兩線圈的自感呈反相變化，形成差動輸出。應用：主要用于位移測量，也可以用于振動、壓力、流量、液位等參數測量

差動式自感型傳感器可以使兩線圈對銜鐵吸引力相互抵消工作范圍可以達到氣隙的30%，測量范圍可達2mm

實際使用的電感傳感器幾乎全是差動的4.4電感式傳感器

2）互感式差動變壓器互感式電感傳感器，是一種線圈互感值隨鐵芯位移改變而變化的變磁阻式傳感器，其原理類似于變壓器。它主要用于位移測量，也可以用于振動、壓力、流量、液位等參數測量。當它用于精密小位移測量時，一般約為0.001~lmm。應用最多的就是螺線管式差動變壓器，它具有測量精確度高、測量范圍大（可擴大到數百mm，視結構尺寸而定）、穩定性好和使用方便等特點。4.4電感式傳感器

組成：兩個線圈、一個鐵芯原理：互感型電感式傳感器工作時，線圈1通入交變電流，在線圈附近空間產生磁通，從而在線圈2產生感生電壓。即：式中，M21是兩線圈之間的互感系數，即：當鐵芯在兩個線圈的孔中左、右移動時，M21隨著N21變化，u2隨之變化

傳感器工作原理：將被測量的變化轉換為線圈互感系數的變化。注意：u2與x之間的關系呈現非線性，靈敏度也低實用中常采用雙邊差動變壓器結構改善其非線性、提高靈敏度。

4.4電感式傳感器

互感式差動變壓器組成：初級線圈、完全對稱的反極性串聯的次級線圈、鐵芯原理：輸出電壓幅值與鐵芯位移大小成正比理論實際Δx0—零點UT

—殘余電壓WW1W2WPx三段式雙邊差動變壓器量程10-20mm4.4電感式傳感器

調零電阻R解決輸出存在的零點殘余電壓相敏檢波解決鐵心位移的方向性（單輸出對應多輸入）優點：輸出功率大，性能穩定，精度高。缺點：不能反映其方向輸出電壓存在一定的零點殘余電壓

4.4電感式傳感器

二段式差動變壓器測量技術

測量大位移時可采用兩段式差動變壓器,工作行程可達數百毫米（線圈布局不同、心棒構造不同）

l（1L、1R）一感應線圈

2一鐵心

3一滑動支承4一外殼

5一端蓋

6一磁極

7一膠木管

8一勵磁線圈靈敏度一般可達0.5-5V/mm

。為提高靈敏度，勵磁電壓在10V左右，電源頻率以1-10kHz為好。差動變壓器4.4電感式傳感器

3）電渦流傳感器渦流效應（電磁感應定律）：塊狀金屬置于變化著的磁場中或在磁場中運動時，金屬內會產生感應電流，這種電流在金屬體內自身閉合，稱為電渦流，此現象為電渦流效應。

(與變壓器原理相似,二次側只有一匝并且輸出端總是短路的。)組成：高頻激勵電流+線圈表征：電渦流線圈的等效阻抗

Z=R+jωL=F（i1、f、、、t、x）

靠近的被測導體內產生電渦流i2，它也產生交變磁場H2，H2的方向與H1的方向相反。由于磁場H2的反作用，導致傳感器線圈阻抗變化。測量原理：線圈阻抗與距離x、導體、、t有關，通過測量阻抗變化獲得位移、振動、材料鑒別、探傷等靈敏度取決于被測面材料(、、t)4.4電感式傳感器

電渦流傳感器特性(1)電渦流在金屬導體的縱深方向不是均勻分布的，只集中在導體表面。頻率越高，滲透深度越淺頻率越低，滲透深度越深因此，改變頻率可控制檢測深度。(2)當被測對象的材質改變時，輸出的特性曲線也不同，使用時要注意。優點：非接觸測量、線性好，工作范圍寬，

分辨率高，受溫度、濕度的影響小，

使用調整也比較方便。缺點：靈敏度稍低于變氣隙式電容傳感器。

這點優于電容傳感器！4.4電感式傳感器

如何利用它？一體化電渦流位移/振動傳感器（內置前置器）

常用的渦流探頭＋前置器eddyNCDT3300渦流式傳感器線性量程:2mm絕對誤差:≤±0.25%FS分辨率:0.005%FS頻率響應:25kHz(-3dB)探頭適用溫度：-50℃至+150℃4.4電感式傳感器

（1）自感壓力傳感器結構膜盒——彈性敏感元件