ICS7712010

H61..

中華人民共和國國家標準

GB/T34213—2017

藍寶石襯底用高純氧化鋁

Highpurityaluminaforsapphiresubstrate

2017-09-07發(fā)布2018-06-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

藍寶石襯底用高純氧化鋁

GB/T34213—2017

*

中國標準出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20179

*

書號

:155066·1-56241

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T34213—2017

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會與全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位四川鑫通新材料有限責(zé)任公司江蘇協(xié)鑫軟控設(shè)備科技發(fā)展有限公司四川鑫炬

:、、

新興新光源材料有限公司東莞市技頂電子科技有限公司

、。

本標準主要起草人錢幼平熊洲唐大林薛抗美黃修康侯龍超張強

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34213—2017

藍寶石襯底用高純氧化鋁

1范圍

本標準規(guī)定了藍寶石襯底用高純氧化鋁的要求試驗方法檢驗規(guī)則以及標志包裝運輸貯存質(zhì)

、、、、、、

量證明書和訂貨單或合同內(nèi)容等

()。

本標準適用于藍寶石襯底用高純氧化鋁以下簡稱高純氧化鋁其他用途的藍寶石單晶用高純氧

(),

化鋁可參照本標準執(zhí)行

。

高純氧化鋁的分子式為相對分子質(zhì)量為晶型為

Al2O3,101.96,α。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

氧化鋁化學(xué)分析方法和物理性能測定方法取樣

GB/T6609.22

氧化鋁化學(xué)分析方法和物理性能測定方法有效密度的測定比重瓶法

GB/T6609.26

半導(dǎo)體材料術(shù)語

GB/T14264

顆粒系統(tǒng)術(shù)語

GB/T16418

高純氧化鋁的痕量金屬元素等離子體發(fā)射光譜檢測方法

JC/T2147

3術(shù)語和定義

和界定的術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T14264GB/T16418。

4要求

41產(chǎn)品分類

.

高純氧化鋁按真密度一般可分為類如表所示

4,1。

表1高純氧化鋁分類

真密度

類別主要生產(chǎn)方式

3

g/cm

高純氧化鋁類火焰法等

1≥3.95

高純氧化鋁類等離子法等

2≥3.80~3.95

高純氧化鋁類壓制燒結(jié)法冷坩堝法等

3≥3.00~3.80、

高純氧化鋁類

4<3.00

42化學(xué)成分

.

高