標準解讀

《GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板》是一項國家標準，主要針對用于制造光掩模的石英玻璃基板進行了規范。該標準詳細定義了光掩模用石英玻璃基板的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸和貯存等方面的內容。

在技術要求部分，明確了石英玻璃基板的基本性能指標，包括但不限于尺寸公差、表面質量（如平整度、粗糙度）、光學性質（例如透射率）及物理化學穩定性等。這些參數對于確保最終制成的光掩模能夠滿足微電子工業中對精度與穩定性的高要求至關重要。

關于試驗方法，《GB/T 34178-2017》規定了一系列測試程序來驗證產品是否符合上述技術要求，比如通過特定設備測量基板的幾何形狀誤差、利用干涉儀檢查表面狀況、采用分光光度計測定材料的光學特性等。

此外，還制定了詳細的抽樣方案和合格判定準則，以指導生產者如何從批量產品中選取樣本進行檢測，并根據測試結果判斷整批貨物的質量狀態。

最后，在標志、包裝、運輸和貯存方面也給出了具體指導，旨在保護產品免受外界環境因素的影響，保證其在整個供應鏈過程中的安全性和完整性。這包括建議使用何種類型的包裝材料、標識內容應包含哪些信息、以及在不同條件下適宜采取的存儲措施等內容。


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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2017-09-07 頒布
  • 2018-08-01 實施
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文檔簡介

ICS8104030

Q35..

中華人民共和國國家標準

GB/T34178—2017

光掩模石英玻璃基板

Silicaglasssubstratesforphotomask

2017-09-07發布2018-08-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T34178—2017

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國建筑材料聯合會提出

。

本標準由全國工業玻璃和特種玻璃標準化技術委員會歸口

(SAC/TC447)。

本標準起草單位中國建材檢驗認證集團股份有限公司中建材衢州金格蘭石英有限公司長沙韶

:、、

光鉻版有限公司中國建筑材料科學研究總院國家安全玻璃及石英玻璃質量監督檢驗中心

、、。

本標準主要起草人吳潔王京俠王友軍李弋舟花寧劉煥敏肖頌華聶蘭艦張浩運楊曉會

:、、、、、、、、、、

楊學東孔敏張應語

、、。

Ⅰ

GB/T34178—2017

光掩模石英玻璃基板

1范圍

本標準規定了光掩模石英玻璃基板以下簡稱石英玻璃基板的術語和定義要求試驗方法檢驗

()、、、

規則及標志包裝運輸和貯存

、、。

本標準適用于半導體集成電路光通訊微機電系統光電器件和發光二級管等光

、、(MEMS)、(LED)

刻工藝中光掩模石英玻璃基板

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

石英玻璃化學成分分析方法

GB/T3284—2015

透明石英玻璃氣泡氣線試驗方法

GB/T5949、

氮化鎵單晶襯底表面粗糙度的原子力顯微鏡檢驗法

GB/T32189

光學石英玻璃

JC/T185

石英玻璃制品內應力檢驗方法

JC/T655

石英玻璃術語

JC/T2205

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

JC/T2205。

31

.

總厚度變化totalthicknessvariationTTV

;

石英玻璃基板厚度的最大值和最小值間的差

。

32

.

平整度flatness

石英玻璃基板背表面為理想平面時例如背表面放置在一個理想平坦的平面上石英玻璃基板正

,,、,

表面相對于規定的基準面的偏差以測量范圍內總的示值讀數表示

,(TIR)。

4要求

41規格尺寸及尺寸偏差

.

411石英玻璃基板為正方形形狀示意圖見圖常規邊長及邊長偏差應符合表

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