ICS7110020

CCSG.86.

中華人民共和國國家標準

GB/T21287—2021

代替GB/T21287—2007

電子特氣三氟化氮

Electronicspecialtygas—Nitrogentrifluoride

2021-10-11發布2022-05-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T21287—2021

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替電子工業用氣體三氟化氮與相比除結

GB/T21287—2007《》,GB/T21287—2007,

構調整和編輯性改動外主要技術變化如下

,:

更改了三氟化氮應符合的技術要求見第章年版的第章

———(4,20073);

更改了抽樣判定和復驗的要求見年版的

———、(5.1,20074.1);

更改了采樣的要求見年版的

———(5.2,20074.1.6);

增加了尾氣處理的要求見

———(5.3);

增加了試驗方法的一般規定見

———(6.1);

更改了純度計算方法見年版的

———(6.2,20074.2);

更改了氧氬氮一氧化碳二氧化碳四氟化碳氧化亞氮六氟化硫含量的測定方法見

———+、、、、、、(

年版的

6.3,20074.3、4.4);

更改了水分含量的測定方法見年版的

———(6.4,20074.6);

更改了可水解氟化物的測定方法見年版的

———(6.5,20074.5);

更改了標志包裝運輸及貯存見第章年版的第章

———、、(7,20075);

更改了安全信息見年版的附錄

———(7.3,2007D)。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位昊華氣體有限公司中船重工邯鄲派瑞特種氣體有限公司西南化工研究設計

:、()、

院有限公司廣東華特氣體股份有限公司天津綠菱氣體有限公司福建久策氣體股份有限公司海寧市

、、、、

英德賽電子有限公司江西華特電子化學品有限公司浙江省化工研究院有限公司昊華氣體有限公司

、、、

西南分公司蘇州金宏氣體股份有限公司杭州市消費者權益保護委員會秘書處杭州國家電子商務產

、、(

品質量監測處置中心上海申南特種氣體有限公司上海華愛色譜分析技術有限公司大連大特氣體有

)、、、

限公司上海凡偉儀器設備有限公司聯雄投資上海有限公司沈陽中復科金壓力容器有限公司浙江

、、()、、

東開半導體科技有限公司和立氣體上海有限公司昆明廣瑞達特種氣體有限責任公司西南化工研

、()、、

究設計院有限公司武漢分公司西南化工研究設計院有限公司雙流分公司

、。

本文件主要起草人王娟付夢月王少波孟祥軍傅鑄紅陳艷珊馬建修何經余曹素英

:、、、、、、、、、

宋富財蘇子杰丁高松裴友宏韋杰廣史婉君張建君王新喜孫猛鬲春利張琦炎呂博文陳潔

、、、、、、、、、、、、、

吳靚方華依俊廷何波楊康黃輝宮兵王大為易達文李陽梁永強梁成科高靜馬昌寧

、、、、、、、、、、、、、、

唐霞梅李光輝周鵬云黃超

、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發布情況為

:

年首次發布為

———2007GB/T21287—2007;

本次為第一次修訂

———。

Ⅰ

GB/T21287—2021

電子特氣三氟化氮

1范圍

本文件規定了電子級三氟化氮的技術要求檢驗規則試驗方法標志包裝運輸貯存及安全信息

、、、、、

的要求

。

本文件適用于以無水氟化氫與液氨為原料制備提純或以氟化氫銨為原料制備提純得到的三氟

,

化氮

。

2規范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險貨物包裝標志

GB190

化學試劑標準滴定溶液的制備

GB/T601

化學試劑試驗方法中所用制劑及制品的制備

GB/T603

工業用化學產品采樣安全通則

GB/T3723

所有部分鋼質無縫氣瓶

GB/T5099()

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

分析實