ICS77040

H17.

中華人民共和國國家標準

GB/T19199—2015

代替

GB/T19199—2003

半絕緣砷化鎵單晶中碳濃度的

紅外吸收測試方法

Testmethodsforcarbonacceptorconcentrationinsemi-insulatinggallium

arsenidesinglecrystalsbyinfraredabsorptionspectroscopy

2015-12-10發布2016-07-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

半絕緣砷化鎵單晶中碳濃度的

紅外吸收測試方法

GB/T19199—2015

*

中國標準出版社出版發行

北京市朝陽區和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區三里河北街號

16(100045)

網址

:

服務熱線

:400-168-0010

年月第一版

201511

*

書號

:155066·1-52352

版權專有侵權必究

GB/T19199—2015

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準代替半絕緣砷化鎵單晶中碳濃度的紅外吸收測試方法

GB/T19199—2003《》。

本標準與相比主要有以下變化

GB/T19199—2003,:

增加了規范性引用文件術語和定義干擾因素和測試環境章

———“”“”“”“”4;

擴展了半絕緣砷化鎵單晶電阻率范圍將電阻率大于7修改為大于6

———,10Ω·cm10Ω·cm;

將范圍由非摻雜半絕緣砷化鎵單晶修改為非摻雜和碳摻雜半絕緣砷化鎵單晶

———“”“”;

去除了厚度測試樣品的解理制樣方法

———0.4mm~2mm;

室溫差示法測量時將儀器分辨率為-1或-1修改為儀器分辨率-1

———,“0.5cm1cm”,“1cm”。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位信息產業專用材料質量監督檢驗中心天津市環歐半導體材料技術有限公司中

:、、

國電子材料行業協會

。

本標準起草人何秀坤李靜張雪囡

:、、。

本標準所代替標準的歷次版本發布情況為

:

———GB/T19199—2003。

Ⅰ

GB/T19199—2015

半絕緣砷化鎵單晶中碳濃度的

紅外吸收測試方法

1范圍

本標準規定了半絕緣砷化鎵單晶中碳濃度的紅外吸收測試方法

。

本標準適用于電阻率大于6的非摻雜和碳摻雜半絕緣砷化鎵單晶中碳濃度的測定測量

10Ω·cm。

范圍室溫下從153到代位碳原子的最大溶解度時檢測下限為

:1.0×10atoms/cm,77K

143

4.0×10atoms/cm。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

半導體材料術語

GB/T14264

3術語和定義

界定的術語和定義適用于本文件

GB/T14264。

4方法提要

碳為半絕緣砷化鎵中主要淺受主雜質其局域模振動譜帶室溫譜帶峰位為-1譜帶峰

,(580cm,77K

位為-1吸收系數與代位碳濃度具有對應關系由測得的吸收系數根據經驗公式即可計算出碳

582cm),

濃度

。

5干擾因素

51雜散光到達檢測器將導致碳濃度測試結果出現偏差

.,。

52測試樣品的測試面積應大于光闌孔徑否則可能導致錯誤的測試結果

.,。

53室溫測試時砷化鎵中碳帶半高寬可接受的數值應小于-1在光譜計算時較大的半高寬將

.,2cm。,

導致測試誤差半高寬的確定方法見

,9.2.7。

6儀器設備

61傅里葉變換紅外光譜儀儀器的最低分辨率應