ICS37.020:17.180N33中華人民共和國國家標準GB/T18907—2002透射電子顯微鏡選區電子衍射分析方法Methodofselectedareaelectrondiffractionfortransmissionelectronmicroscopes2002-12-05發布2003-05-01實施華中民共和發布國家質量監督檢驗檢疫總局

GB/T18907一2002前言L范圍2原理3儀器設備4試樣……參照樣品6試驗方法·6.1儀器準備6.2選區電子衍射譜的獲得6.3衍射常數L入的測定7衍射譜的測量與計算附錄A（規范性附錄）純金與純鋁的品面間距表附錄B（規范性附錄）單晶體的標準衍射譜………B.1面心立方品體的低指數晶帶衍射譜B.2體心立方品體的低指數品帶衍射譜B.3密排六方品體的低指數晶帶衍射譜參考文獻…………

GB/T18907一2002前本標準的附錄A和附錄B為規范性附錄。本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出本標準由全國微束分析標準化技術委員會歸口本標準由北京科技大學材料物理與化學系、北京有色金屬研究院測試所起草.本標準主要起草人：柳得槽、劉安生

GB/T18907—2002透射電子顯微鏡選區電子衍射分析方法范圍本標準規定了用透射電子顯微鏡對薄品體試樣微米級區域進行選區電子衍射分析的方法。本方法適用于各種金屬與非金屬品體薄膜（包括粉末試樣與萃取復型試樣)的電子衍射分析。可分析的最小試樣區直徑為12m。應用電子衍射譜可以獲得試樣品體對稱性、點陣常數和布拉菲格子類型等數據。利用已知品體薄膜的電子行射譜可以測定透射電子顯微鏡的衍射常數。被分析試樣區直徑小于1Pm時·可參照執行。2原理在透射電子顯微鏡中的薄晶體試樣被高能電子束照射時.在物鏡的后焦平面上將產生相應的電子衍射譜。該電子衍射譜經中間鏡、投影鏡放大并投影在熒光屏上。單品體的電子衍射譜由排列成平行四邊形的衍射斑組成，在衍射譜上由試樣品面（hkl)產生的衍東斑與透射斑的距離尺m和品面間距mu之間的近似關系為：式中：L=/o·M·M，/是顯微鏡的物鏡焦距,M和M-分別為中間鏡和投影鏡的放大倍數：-工作電壓下對應的照明電子束波長.單位為納米（nm）：L入——透射電子顯微鏡的衍射常數，可通過已知晶體的衍射譜進行測定(見6.3)。在單品體衍射譜上測量衍射斑與透射斑中心的距離尺.根據上式可得到有關品面（hkl)的品面間距。任意兩個衍射斑hkh和hk與透射斑中心連線之間的夾角等于這兩個品面（hkL）和（hkL）之間的夾角轉動試樣獲得同一個單品體不同取向的兩張衍射譜.選擇不在同一張衍射譜上的三個衍射斑構成的一個倒易點陣初基胞，可標定衍射斑指數并確定其點陣常數。多晶體試樣的衍射譜是以透射斑為中心的一系列同心圓，每一個圓由品面間距相同的(hkl)品面的衍射組成，分別測量各個衍射圓的半徑Rm.根據上式得到有關品面（hkl)的晶面間距m,可標定衍射圓指數并確定品體的點陣常數。3儀器設備透射電子顯微鏡(帶雙傾試樣臺或單傾旋轉試樣臺)。-測量放大鏡(可測長度和平面角度)或比長儀、量角器照照相材料和底片觀察器暗室及照像底片的顯