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文檔簡介
1、程序(Steps)品質(zhì)與安全注意事項(xiàng)(Quality and Safety Issues)調(diào)校頻率:每周1調(diào)校工時(shí):30分鐘開機(jī)作業(yè)(操作面板附圖列于附件中)1.溫度修改方式:”此符號(hào)之按鈕朝上者, 表示溫度向上修訂;反之表示溫度向下修訂coc機(jī)臺(tái)調(diào)校操作指導(dǎo)書機(jī)臺(tái)名稱COG制程生產(chǎn)機(jī)臺(tái)目的維持生產(chǎn)產(chǎn)品品質(zhì)調(diào)校項(xiàng)目平行度,溫度標(biāo)準(zhǔn)(spec)適用范圍COG制程生產(chǎn)機(jī)臺(tái)使用工具感壓紙,素玻璃,內(nèi)六角板手,鐵氟龍,溫度測量器調(diào)校頻率不同項(xiàng)目分別訂定1調(diào)校工時(shí) 不同項(xiàng)目分別訂定.調(diào)校前之作業(yè)及檢查(項(xiàng)目:本壓著ACTUAL BOND HEAD支撐平臺(tái)之平行度)程序(Steps)品質(zhì)與安全注意事項(xiàng)(Q
2、uality and Safety Issues)actual bond head支撐平臺(tái)之溫度1. 注意咼溫燙手2. ACTUAL BOND HEAD度 :200 r3. 支撐平臺(tái)溫度(BACK UP):室溫2.準(zhǔn)備感壓紙(型號(hào)不限)1. 感壓紙:雙層2. 使用時(shí)先將感壓紙之粗糙面相對3.準(zhǔn)備素玻璃(型號(hào)不限)1.使用前需先用無塵布沾酒精將單片玻璃 表面清潔干凈.調(diào)校操作程序(項(xiàng)目:本壓著ACTUAL BOND HEAD支撐平臺(tái)之平行度)1. 按“ACTUABONDJNIT之加熱器激活按鈕( 37' 方形),并立即修改溫度控制器 38'之溫度,由 290 r 降至 200 C
3、2. “actual bond units力值設(shè)定為 7 kgf/cm 2 左右莎用感壓紙及單片玻璃,進(jìn)行本壓頭與支撐平臺(tái) 之平行度測試,擺設(shè)方式如右圖,步驟如后述4. 按“ MANUAL( 9方形)于觸控屏幕中選取“actual bond 進(jìn)入“ solenoid valve模式 中5. 按“ LCD table back & FORTH 使LCD TABLE 前進(jìn)6. 按 “ LCD table up & DOWN 使LCD TABL下降7. 感壓紙及單片玻璃放置完成后,按“ ACTUABONUP& DOWN,使本壓頭下降約35秒,再按“ ACTUABOND UP
4、& DOWN使本壓頭上升8. 檢視下層白色感壓紙上之壓痕 (紅色)顯示是否 均勻,若發(fā)現(xiàn)輪廓內(nèi)有局部之紅色顯示特別明顯時(shí),可依不同狀況做處理:D.感壓紙疊放次序?yàn)椋ㄉ希和该鳎拢喊?色)9. 確認(rèn)平行度0!后,按“ 0RIGN (17方形),原點(diǎn)回復(fù)10. 每班首件檢查后,有突發(fā)品質(zhì)異常,為確認(rèn)本壓 頭平行度急需調(diào)校作業(yè)時(shí),程序如下11. 按下“ ACTUAL BOND UN”之加熱器激活按鈕 ( 37'方形),使溫度下降(燈滅表示OFF12. 依照“項(xiàng)次18”之方式,完成水平調(diào)試1. 若存在感壓紙顏色較淺(深)之一端,表 示其相對B/ U位置較高(低)2. 若左右方向(X向)
5、壓力不均,則調(diào)較左 右方向之微調(diào)器;若前后方向(丫向)壓力 不均,則調(diào)較前后方向之微調(diào)器;3. 重復(fù)“項(xiàng)次27”之方式,測試平行度直 至感壓紙X. 丫向顏色均勻0K導(dǎo)電粒子變形比例(X.Y方向)嚴(yán)重失調(diào)13.依照“項(xiàng)次10”之方式,將溫度控制器 38' I之 溫度升至290E1. ACTUAL BON溫度降至200E以下時(shí)即可 調(diào)校使本壓頭壓著時(shí)間縮短至13秒,避免感壓 紙?jiān)飧邷仄茐模绊憸y試效果1. 測完平行度后,溫度之修改須立即執(zhí)行, 不可遺漏 290 E程序(Steps)品質(zhì)與安全注意事項(xiàng)(Quality and Safety Issues)調(diào)校頻率:每周1調(diào)校工時(shí):30分鐘開機(jī)
6、作業(yè)(操作面板附圖列于附件中)四.調(diào)校操作程序(項(xiàng)目:ACF貼付頭與支撐平臺(tái)之平行度)1. “ ACF ATTACH壓力值設(shè)定為7 kgf/cm 2左右2. 使用感壓紙及單片玻璃,進(jìn)行本壓頭與支撐平臺(tái) 之平行度測試,擺放方式如右圖,步驟如后述ACFB/CLCD TABLE壓著頭雙層感壓紙/單片玻璃三.調(diào)校前之作業(yè)及檢查(項(xiàng)目:ACF貼付頭與支撐平臺(tái)之平行度)程序(Steps)品質(zhì)與安全注意事項(xiàng)(Quality and Safety Issues)1.ACF ATTACH及支撐平臺(tái)之溫度4.ACF ATTACH支撐平臺(tái)溫度:室溫2.準(zhǔn)備感壓紙(型號(hào)不限)3. 感壓紙:雙層4. 使用時(shí)先將感壓紙之
7、粗糙面相對3.準(zhǔn)備素玻璃(型號(hào)不限)1.使用前需先用無塵布沾酒精將單片玻璃 表面清潔干凈4.準(zhǔn)備另一 ACF貼付頭(相同型號(hào))1.0.23厚鐵氟龍平整的、完全的粘貼于 ACF貼付頭下方,用刀刃修裁至二者吻合3.按“MANUAL( 9方形)于觸控屏幕中選“ACF SUPPLY 進(jìn)入“ JOG MOVEME”模式中4.按“ LCD TABLE X(Y) AXIS” CW,使 LCD TABL使感壓紙及單片玻璃完全位于 ACF ATTACH 下方(如上圖所示)前進(jìn)5. 感壓紙及單片玻璃放置完成后,進(jìn)入“SOLENOIVALVE 模式中,按“ ACF ATTACH , 使貼付壓著頭下降約35秒,再按“
8、 ACF attach 使壓著頭上升6. 檢視下層白色感壓紙上之壓痕,其顏色顯示是 否均勻,若發(fā)現(xiàn)輪廓內(nèi)有局部之紅色顯示特別明顯時(shí),可依不同狀況做處理:7. 確認(rèn)完成平行度測試后,按“ ORIGIN ( 17'方形),原點(diǎn)回復(fù)8. 每班貼付不良時(shí),為確認(rèn)貼付頭平行度急需調(diào)校 時(shí),程序如下9. 按下“ ACF UNIT之加熱器激活按鈕( 33'方 形),使溫度下降(燈滅表示OFF -10. 依照“項(xiàng)次16”之方式,完成水平調(diào)試11.依照“項(xiàng)次9”之方式,將溫度控制器( 33'方 形)之溫度升至150C1. 感壓紙顏色較淺(深)一端,表示熱壓頭 位置較高(低),將感壓紙顏色
9、較淺(深) 端定位螺栓調(diào)松,調(diào)整使熱壓頭相應(yīng)位置降 低(升高)2. 重復(fù)“項(xiàng)次26”之方式,測試平行度直 至感壓紙兩端顏色均勻0K1.ACF ATTACH溫度關(guān)閉后即可調(diào)校1.使貼付壓著頭壓著時(shí)間縮短約為13秒, 避免感壓紙?jiān)飧邷仄茐模绊憸y試效果1.測完平行度后,溫度之修改須立即執(zhí)行, 不可遺漏150 C五.調(diào)校前之作業(yè)及檢查(項(xiàng)目:本壓著ACTUAL BOND HEAD支撐平臺(tái)之溫度)程序(Steps)品質(zhì)與安全注意事項(xiàng)(Quality and Safety Issues)1.調(diào)整ACTUAL BOND HE及支撐平臺(tái)之溫度2. 準(zhǔn)備溫度記錄器3. 準(zhǔn)備單片玻璃及IC4. 使用前需先將測溫
10、線,單片玻璃及IC做組合,如 右圖1. 注意咼溫燙手2. ACTUAL bond HEAD度 :290 C3. 支撐平臺(tái)溫度:100 r型號(hào)不限玻璃及IC型號(hào)不限單片玻璃單片玻璃IC熱偶器固定膠帶固定膠IC32.ACF ATTACH HEA溫度:150 C5.將測溫線之訊號(hào)輸出端接入溫度記錄器,并設(shè)定 溫度記錄器之記錄模式1.溫度記錄器之操作方式另行說明六.調(diào)校操作程序(項(xiàng)目:本壓著ACTUAL BOND HEAD支撐平臺(tái)之溫度)程序(Steps)品質(zhì)與安全注意事項(xiàng)(Quality and Safety Issues)調(diào)校頻率:每月1.按“ACTUABONDUNIT”之加熱器激活按鈕( 37&
11、#39; 方形),并設(shè)定溫度控制器 P'之溫度 290rI調(diào)校工時(shí):30茅鐘開機(jī)作業(yè)(操作面板附圖列于附件中)1.溫度修改方式:”此符號(hào)之按鈕朝上 者,表示溫度向上修訂;此符號(hào)朝下者表示 溫度向下修訂2. 按“ACTUAL BOND BASE UNIT之加熱器激活按 鈕(飛9形),并設(shè)定溫度控制器 40'之溫度100C3. 按“ MANUAL( 9方形)于觸控屏幕中選 “ACTUAL bond 進(jìn)入” SOLENOID VALVE模式中4. 按“ LCD TABLE BACK & FORTH 使LCD TABLE 前進(jìn)5. 按 “ LCD TABLE UP &
12、DOV”N 使LCD TABL下降6. 放置測溫線組,如右圖本壓著測溫線組head熱偶器緩沖材rLCD)table bu77.放置測溫線組后,按“ACTUABONDUP& DOW”, 使本壓頭下降約10秒,再按“ ACTUAL BOND UP & dowVn使本壓頭上升1. 按“ ACTUAL BOND UP & DOV前J,先激活 溫度記錄器8.檢視溫度記錄器之記錄是否正常1. 將記錄紙撕下,核對標(biāo)準(zhǔn)溫度曲線2. 若差異甚多,須再作一次測試3. 若再作一次測試之結(jié)果仍與標(biāo)準(zhǔn)溫度曲 線差異甚多,則須進(jìn)行調(diào)校4. 標(biāo)準(zhǔn)溫度曲線,按ACF勺實(shí)際制程需求條 件而定9. 完成溫
13、度測試后,按“ LCD TABLE UP & DOWN 使LCD TABL上升10. 按 “ LCD TABLE BACK & FORTH 使 LCD TABLE 退回原位七.調(diào)校前之作業(yè)及檢查(項(xiàng)目:ACF貼付頭之溫度)程序(Steps)品質(zhì)與安全注意事項(xiàng)(Quality and Safety Issues)1.調(diào)整ACF貼付頭之溫度1.注意咼溫燙手(型號(hào)不限)(型號(hào)不限)ACF測溫線組2. 準(zhǔn)備溫度記錄器3. 準(zhǔn)備單片玻璃4. 使用前需先將熱偶器,單片玻璃做組合,如右圖熱偶器素玻璃固定膠帶1.溫度記錄器之操作方式另行說明5. 將熱偶器之訊號(hào)輸出端接入溫度記錄器,并設(shè)定 溫度
14、記錄器之記錄模式八.調(diào)校操作程序(項(xiàng)目:ACF貼付頭之溫度)程序(Steps)品質(zhì)與安全注意事項(xiàng)(Quality and Safety Issues)調(diào)校頻率:每月調(diào)校工時(shí):30分鐘操作面板附圖列于附件中1.按“ACFUNIT'之加熱器激活按鈕(33'方形), 并設(shè)定溫度控制器 34'之溫度 150C1.溫度修改方式:”此符號(hào)之按鈕朝上 者,表示溫度向上修訂;此符號(hào)朝下者表示 溫度向下修訂2. 按“MANUAL: 9方形)于觸控屏幕中選“ACFSUPPLY 進(jìn)入 “POINT MOVEMEN模式中3. 按“LCD ALIGNMENT POS”,使LCD TABL前進(jìn)4.
15、 于觸控屏幕中,進(jìn)入“ JOG MOVEMEN模式中,于ACI貼付頭之下方5.放置測溫線組,如右圖持續(xù)按“ LCD TABLE YXIS之CW ,使支撐平臺(tái)位ACF HEAD熱偶器LCD TABLE BU6. 放置測溫線組后,按“ ACF ATTACH UP & DOWN使AC!貼付頭下降約7秒,再按“ ACF ATTACH UP & DOWN使AC!貼付頭上升7. 檢視溫度記錄器之記錄是否正常1.按“ ACF ATTACH UP & DO”前,先激活 溫度記錄器1. 將記錄紙撕下,核對標(biāo)準(zhǔn)溫度曲線2. 若差異甚多,須再作一次測試3. 若再作一次測試之結(jié)果仍與標(biāo)準(zhǔn)溫度曲
16、 線差異甚多,則須進(jìn)行調(diào)校4. 標(biāo)準(zhǔn)溫度曲線,按ACF勺實(shí)際制程需求條 件而定8.完成溫度測試后,按“ORIGIN ( 17方形), 原點(diǎn)回復(fù)九.使用窗體COG機(jī)臺(tái)調(diào)校記錄表:操作圖面(23)(24)(25)(26)(28)(29)(30)(31)Adjustment AdjustmentAdjustment AdjustmentLIGHTLCDLIGHTLCPOWER(LSD LSI(2)OPREATION(3)STARTSTOP(5)ENDACF UNIT(27)E.ST OPTEMPO RARY(32)13Id(6 0人 av3y3dVl-dovOQOQNIM 3d VI -Odd(8 0NIOIdO(zO丄 3S3d(9 0dCLLSd3zzna(sO占3z
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