Al、O摻雜性TiN薄膜的制備及性能研究_第1頁
Al、O摻雜性TiN薄膜的制備及性能研究_第2頁
Al、O摻雜性TiN薄膜的制備及性能研究_第3頁
Al、O摻雜性TiN薄膜的制備及性能研究_第4頁
Al、O摻雜性TiN薄膜的制備及性能研究_第5頁
已閱讀5頁，還剩12頁未讀， 繼續免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

al、o摻雜改性摻雜改性tin薄膜的制備薄膜的制備及性能研究及性能研究 一、研究背景pvd沉積硬質薄膜研究較多，很實用但不夠美觀，限制了其適用范圍一、研究背景優點：pvd沉積tin薄膜具有高熔點、高硬度，顏色以金色為主。它是第一個產業化并廣泛應用的硬質薄膜材料。一、研究背景缺點：其顏色以金色為主，簡單工藝改善很難達到變色的效果，這也限制了其使用范圍我們是否可以沉積彩我們是否可以沉積彩色薄膜，擴大使用范色薄膜，擴大使用范圍，比如電腦外殼圍，比如電腦外殼創新點一、研究背景原有電子產品外殼表面處理技術中電鍍、噴涂、電泳等，外觀精美，顏色多樣，一、研究背景缺點：薄膜硬度低、易劃傷；電鍍、電泳工藝是高污染、高浪費、高耗能工藝技術。背景衍生二、現有條件工程實踐報道pvd沉積cr、ti、al、ni等多元復合金屬氮氧化物薄膜在提高提高薄膜硬度薄膜硬度的同時可實現薄膜顏色變顏色變化化，但未見深入研究三、薄膜設計tialnxoytialnxti45# samples/silicon chips打底層硬質薄膜層變色薄膜四、工藝設計五、產品展示五、產品展示六、力學性能測試隨氧氣通量增大，顆粒邊界緊密化纖維組織細化，致密化，表面平整化六、力學性能測試六、力學性能測試創新點制備tin薄膜的同時摻入al、o：u更高硬度、u抗氧化能力更

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論