DocumentNo.:DocumentNo.:ASY-AE08Internaluseonlyx彈坑試驗與判別作業指導書Revision:001of6ConfidentialTopconfidential

EFFECTIVEDATEShanghaiSiMATShanghaiSiMATMicroelectronicsTechnologyCo.,LtdDESCRIPTIONAPPROVECHECKORIGINATORInitialIssueJinhuachen談紅英沈海軍00 8/08/2023ThisdocumentanditsinformationhereinarethepropertyofSiMATandallunauthorizeduseandreproductionareprohibited.ShanghaiSiMATShanghaiSiMATMicroelectronicsTechnologyCo.,LtdDocumentNo.:DocumentNo.:ASY-AE08Internaluseonlyx彈坑試驗與判別作業指導書Revision:002of6ConfidentialTopconfidential目的：測試鍵合焊接對產品質量產生的影響，保證產品質量。二、適用范圍：全部MOSFET芯片系列產品；掌握打算要求做彈坑試驗的產品。三．作業頻率：每周一鍵合現作業的產品都要做彈坑，產品改機后應準時作業彈坑試驗，調用程序的產品可在做彈坑的同時開機作業，假設彈坑不良請統計數量，批次。四．彈坑試驗作業及推斷方法1鹽酸溶液試驗〔主要適用于Mosfet1所示〕ThisdocumentanditsinformationhereinarethepropertyofSiMATandallunauthorizeduseandreproductionareprohibited.ShanghaiSiMATMicroelectronicsTechnologyCo.,LtdDocumentNo.:ASY-AE08Revision:00 3of6

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Internaluseonly ConfidentialTopconfidential1〕361：2.580±5°c10-15分鐘，剪切方法如以下圖：沿框架〔箭頭所示位置用銳利的刀片剪切，剪切之后的制品必需在實體顯微鏡下確認第一焊點金球狀況，防止因線弧較短時或者剪切不當將金球帶起，引起彈坑。割線后的制品，需用撥針將金線沿載片臺邊緣〔金球遠端〕將金線輕輕挑起，防止金線黏附在載片臺上，操作過程中確定制止金/撥線后圖片〕割線后產品 撥線后產品將已腐蝕干凈的制品分別放入水與酒精中，各用超聲波清洗3～5分鐘，然后ThisdocumentanditsinformationhereinarethepropertyofSiMATandallunauthorizeduseandreproductionareprohibited.ShanghaiSiMATMicroelectronicsTechnologyCo.,LtdDocumentNo.:ASY-AE08Revision:00 4of6

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Internaluseonly ConfidentialTopconfidential晾干或吹干。留意：在整個作業〔包括清洗〕過程中，不行以將制品用力在溶液中晃動。不行以承受任何拔線方式去除未腐蝕掉的焊線。將晾干后的制品在200倍或200倍以上顯微鏡下進展判定并填寫《彈坑試驗記錄表》1212小時。產品檢驗判定方法←OK ←NGThisdocumentanditsinformationhereinarethepropertyofSiMATandallunauthorizeduseandreproductionareprohibited.ShanghaiSiMATMicroelectronicsTechnologyCo.,LtdDocumentNo.:ASY-AE08Revision:00 5of6

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Internaluseonly ConfidentialTopconfidential標準

具體內容OK.(右圖)

圖例〔實物圖〕OK OKNGNG氫氧化鉀溶液試驗〔主要適用于IC2所示〕2〕在量杯中，用電子稱稱取適量氫氧化鉀1：1080±5°cThisdocumentanditsinformationhereinarethepropertyofSiMATandallunauthorizeduseandreproductionareprohibited.ShanghaiSiMATMicroelectronicsTechnologyCo.,LtdDocumentNo.:ASY-AE08Revision:00 6of6

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Internaluseonly ConfidentialTopconfidential將制品〔1.2的方法〕10-20分鐘將已腐蝕干凈的制品分別放入水與酒精中，各用超聲波清洗3～5分鐘，然后晾干或吹干。留意在整個作業〔包括清洗〕用力在溶液中晃動。200200倍以上顯微鏡下進展判定并填寫《彈坑試驗記錄表》產品檢驗判定方法標準

具體內容OK.(右圖)

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