中華人民共和國國家計量技術(shù)規(guī)范

JJF1100—2003

平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforFlatEqual

ThicknessInterferometers

2003-05-12發(fā)布2003-11-12實施

國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

JJF1100—2003

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平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范??????????????

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CalibrationSecificationfor代替JJG336—1983?

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FlatEqualThicknessInterferometers

本規(guī)范經(jīng)國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局于年月日批準(zhǔn)并自

20030512,

年月日起施行

20031112。

歸口單位:全國幾何量工程參量計量技術(shù)委員會

負(fù)責(zé)起草單位:中國測試技術(shù)研究院

本規(guī)范由歸口單位負(fù)責(zé)解釋

JJF1100—2003

本規(guī)范主要起草人:

冉慶中國測試技術(shù)研究院

()

陳永康中國測試技術(shù)研究院

()

參加起草人:

李建民中國測試技術(shù)研究院

()

曹箭中國測試技術(shù)研究院

()

JJF1100—2003

目錄

范圍……………………

1(1)

引用文獻(xiàn)………………

2(1)

概述……………………

3(1)

計量特性………………

4(1)

干涉條紋間距測量的重復(fù)性………

4.1(1)

測微目鏡的示值誤差………………

4.2(1)

物鏡系統(tǒng)引起的條紋彎曲量………

4.3(1)

儀器的示值誤差……………………

4.4(2)

校準(zhǔn)條件………………

5(3)

環(huán)境條件……………

5.1(3)

校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器及相應(yīng)設(shè)備…………

5.2(4)

校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法…………………

6(4)

干涉條紋間距測量的重復(fù)性………

6.1(4)

測微目鏡的示值誤差………………

6.2(4)

物鏡系統(tǒng)引起的條紋彎曲量………

6.3(4)

儀器的示值誤差……………………

6.4(5)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)…………

7(5)

復(fù)校時間間隔…………

8(5)

附錄校準(zhǔn)證書內(nèi)容…………………

A(6)

附錄平面等厚干涉儀示值誤差的測量不確定度分析………………

B(7)

JJF1100—2003

平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于平面等厚干涉儀的校準(zhǔn)不適用于只能估讀干涉條紋彎曲量的同類干

,

涉裝置的校準(zhǔn)

。

2引用文獻(xiàn)

通用計量術(shù)語及定義

JJF1001—1998

測量不確定度評定與表示

JJF1059—1999

平晶檢定規(guī)程

JJG28—2000

平面平晶

JB/T7401—1994

使用本規(guī)范時應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本

,。

3概述

平面等厚干涉儀以下簡稱儀器是采用等厚光波干涉原理用于測量物體表面平

(),

面度的光學(xué)計量儀器根據(jù)儀器示值誤差可分為一級和二級按其結(jié)構(gòu)分為用鈉光做光

,。

源不帶標(biāo)準(zhǔn)平面平晶和用激光做光源帶標(biāo)準(zhǔn)平面平晶的兩種平面等厚干涉儀其外

、、。

形結(jié)構(gòu)與光學(xué)原理分別見圖圖和圖圖

1、23、4。

圖不帶標(biāo)準(zhǔn)平晶的外形結(jié)構(gòu)圖

1

4計量特性

干涉條紋間距測量的重復(fù)性

4.1

重復(fù)性不超過

0.020mm。

測微目鏡的示值誤差

4.2

在任意內(nèi)不超過在全程不超過

1mm