ICS7104040

CCSG.04.

中華人民共和國國家標準

GB/T41072—2021

表面化學分析電子能譜

紫外光電子能譜分析指南

Surfacechemicalanalysis—Electronspectroscopies—Guidelinesfor

ultravioletphotoelectronspectroscopyanalysis

2021-12-31發布2022-04-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T41072—2021

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

符號和縮略語

4……………1

概述

5………………………2

能級關系

5.1……………2

儀器結構

5.2……………2

測試過程

5.3……………3

樣品準備

6…………………5

概述

6.1…………………5

材料類型

6.2……………5

樣品形態

6.3……………6

樣品安裝

6.4……………6

樣品處理

6.5……………7

儀器校準

7…………………7

概述

7.1…………………7

儀器檢查

7.2……………7

儀器能量標校準

7.3……………………8

儀器設定

7.4……………8

樣品荷電評估

8……………9

采集的譜

8.1C1sXPS…………………9

荷電評估

8.2……………9

全掃描與窄掃描

9…………………………9

概述

9.1…………………9

數據采集

9.2……………9

數據分析

9.3……………10

測試報告

10………………12

附錄資料性參考物質面掃描離子束刻蝕示例

A()Au………………14

附錄資料性不同激發光源下的光子能量

B()UV……………………15

參考文獻

……………………16

Ⅰ

GB/T41072—2021

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件起草單位中國科學院化學研究所中山大學

:、。

本文件主要起草人趙志娟劉芬鄒業謝方艷陳建章小余

:、、、、、。

Ⅲ

GB/T41072—2021

引言

光電子能譜技術是研究固體材料表面的最重要和有效分析方法之一配備于射線光電子能譜

。X

儀器上的紫外光電子能譜可用于獲得固體材料價電子的能量分布信息是研究材料表面逸出功和價帶

,

結構態密度的有效方法其能量分辨可以達到約在固體物理表面科學與材料科學等領域

(),100meV,、

有重要應用隨著半導體器件光催化材料等研究越來越廣泛其制備與性能調控要求對材料的價電子

。、,

能帶結構進行準確測量

。

Ⅳ

GB/T41072—2021

表面化學分析電子能譜

紫外光電子能譜分析指南

1范圍

本文件提供了儀器操作者對固體材料表面進行紫外光電子能譜分析的指導包括樣品處理譜儀校

,、

準和設定譜圖采集以及最終報告

、。

本文件適用于配備有真空紫外光源的射線光電子能譜儀的操作者分析典型樣品

X。

2規范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本

,;,()

文件

。

表面化學分析詞匯

GB/T22461—2008

表面化學分析射線光電子能譜儀能量標尺的校準

GB/T22571—2017X

檢測和校準實驗室能力的通用要求

GB/T27025—2019

3術語和定義

界定的術語和定義適用于本文件

GB/T22461—2008。

4符號和縮略語

下列符號和縮略語適用于本文件

。

角分辨光電子能譜

ARPES:(angleresolvedphotoemissionspectroscopy)

電子親和勢

EA:(electronaffinity)

E光電子結合能

b:(bindingenergyofphotoelectron)

E導帶底

CBM: