ICS31220

L95.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T36646—2018

制備氮化物半導(dǎo)體材料用

氫化物氣相外延設(shè)備

Equipmentforpreparationofnitridesemiconductormaterialsby

hydridevaporphaseepitaxy

2018-09-17發(fā)布2019-01-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T36646—2018

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

產(chǎn)品分類和標(biāo)記

4…………………………2

分類

4.1…………………2

型號(hào)標(biāo)記

4.2……………2

工作條件

5…………………3

電源

5.1…………………3

環(huán)境溫度

5.2……………3

相對(duì)濕度

5.3……………3

大氣壓力

5.4……………3

潔凈室等級(jí)

5.5…………………………4

冷卻水

5.6………………4

動(dòng)力氣體

5.7……………4

要求

6………………………4

壓升率

6.1………………4

氣體輸運(yùn)系統(tǒng)

6.2………………………4

電氣系統(tǒng)

6.3……………4

控制軟件

6.4……………4

整機(jī)性能

6.5……………5

安全防護(hù)

6.6……………5

檢測(cè)方法

7…………………6

壓升率測(cè)試

7.1…………………………6

氣體輸運(yùn)系統(tǒng)檢測(cè)

7.2…………………6

電氣系統(tǒng)檢測(cè)

7.3………………………6

控制軟件檢測(cè)

7.4………………………7

整機(jī)性能檢測(cè)

7.5………………………7

安全防護(hù)檢測(cè)

7.6………………………9

檢驗(yàn)規(guī)則

8…………………9

檢驗(yàn)分類

8.1……………9

型式檢驗(yàn)

8.2……………9

出廠檢驗(yàn)

8.3……………10

Ⅰ

GB/T36646—2018

判定規(guī)則

8.4……………10

標(biāo)志包裝運(yùn)輸和儲(chǔ)存

9、、…………………10

標(biāo)志

9.1…………………10

包裝

9.2…………………11

運(yùn)輸

9.3…………………11

儲(chǔ)存

9.4…………………11

附錄規(guī)范性附錄氮化物外延材料厚度測(cè)量

A()………12

Ⅱ

GB/T36646—2018

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位東莞市中鎵半導(dǎo)體科技有限公司中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人劉鵬孫永健丁曉民馮亞彬王健輝

:、、、、。

Ⅲ

GB/T36646—2018

制備氮化物半導(dǎo)體材料用

氫化物氣相外延設(shè)備

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了制備氮化物半導(dǎo)體材料用氫化物氣相外延設(shè)備以下簡(jiǎn)稱設(shè)備的產(chǎn)品分

(“HVPE”)

類和標(biāo)記工作條件要求檢測(cè)方法檢驗(yàn)規(guī)則標(biāo)志包裝運(yùn)輸和儲(chǔ)存

、、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于制備直徑氮化物半導(dǎo)體材料的設(shè)備

50.8mm~152.4mmHVPE。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志

GB/T191—2008

聲學(xué)聲壓法測(cè)定噪聲源聲功率級(jí)和聲能量級(jí)采用反射面上方包絡(luò)測(cè)量面

GB/T3768—2017

的簡(jiǎn)易法

設(shè)備可靠性試驗(yàn)恒定失效率假設(shè)下的失效率與平均無(wú)故障時(shí)間的驗(yàn)證試

GB/T5080.7—1986

驗(yàn)方案

機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備第部分通用技術(shù)條件

GB5226.1—20081:

運(yùn)輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志

GB/T6388—1986

半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)

GB/T14264—2009

潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

GB50073—2013

工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計(jì)規(guī)范

GB/T50087—2013

特種