ICS1304035

C70..

中華人民共和國國家標準

GB/T36306—2018

潔凈室及相關受控環境

空氣化學污染控制指南

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Guidelinesforairbornechemicalcontaminationcontrol

2018-06-07發布2018-10-01實施

國家市場監督管理總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T36306—2018

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

污染源分級與分類

4、………………………2

檢測

5………………………2

空氣化學污染控制

6………………………2

附錄資料性附錄微電子和光電子領域對空氣化學污染物的分級與分類

A()………3

附錄資料性附錄氣相污染物監測與相關分析測定儀器

B()…………4

附錄資料性附錄控制化學分子污染設施系統

C()……………………9

附錄資料性附錄微電子工業潔凈室空氣化學污染控制標準

D()……11

參考文獻

……………………15

GB/T36306—2018

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國潔凈室及相關受控環境標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本標準起草單位南京天加環境科技有限公司蘇州工業園區嘉合環境技術工程有限公司蘇州華

:、、

泰空氣過濾器有限公司蘇州市計量測試研究所愛美克空氣過濾器蘇州有限公司中國電子工程設

、、()、

計院蘇州市恩威特環境技術有限公司中電投工程研究檢測評定中心蘇州凈化工程安裝有限公司北

、、、、

京希達建設監理有限責任公司北京世源希達工程技術公司中國標準化協會中天道成蘇州潔凈技

、、、()

術有限公司深圳新科特種裝飾工程公司

、。

標準主要起草人王堯婁宇李啟東朱蘭楊子強蔡杰王小兵徐小浩張利群吳小泉錢菁

:、、、、、、、、、、、

蔣乃軍石小雷姜皓遐耿文韜吳益峰翟傳明蘇鋼民安志星劉娜殷曉冬

、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T36306—2018

引言

從通風專業的角度來看空氣化學污染物的特點是

:

顆粒度通常在的范圍

a)<0.01μm0.2nm~5nm;

在通常狀態下是以蒸汽或氣體狀存在

b);

可以完全穿透常規高效過濾器超高效過濾器

c)/;

不能使用粒子計數器檢測

d)。

目前空氣污染控制技術主要針對微電子光電子領域

,、。

國際半導體設備與材料協會的標準將空氣化學污染物分成四大類酸性氣體堿性

SEMIF21-95:、

氣體氣相可凝聚化合物和氣相摻雜化合物但即使同類中的不同污染物之間性質差別還是很大某些

、。,

污染物的濃度可隨環境的溫度濕度變化而改變以及污染源有很大的隨機性等且品種數量之多已是

、,、

不勝枚舉由于改性活性炭技術的進展對于很多污染氣體已能達到對癥下藥實施針對性的控制空氣

。,,

化學污染在應用中供應商提供的不僅僅是化學過濾器而是根據現場環境的特點提供最有效的解決

。,,

方案準確提供潔凈室及相關受控環境中污染氣體的品種和濃度的水平將為過濾器供應商更合理的

。,

選用充填介質的配方及配比創造條件控制環境中的化學污染物達到所在環境限定的濃度值最終將取

,,

得更佳的凈化效果

。

Ⅱ

GB/T36306—2018

潔凈室及相關受控環境

空氣化學污染控制指南

1范圍

本標準提出了潔凈室及相關受控環境的空氣化學污染控制的檢測控制等指南

、。

本標準適用于微電子光電子工廠以及特殊需求的生產研究等潔凈室及相關受控環境的空氣化學

、、

污染控制

。

本標準不適用于核能和軍事應用

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

潔凈室及相關受控環境第部分空氣分子污染分級

GB/T25915.8—20108:(ISO14644-8:

2006,IDT)

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

空氣分子污染airbmemolecularcontaminationAMC

;

以氣態或蒸汽態存在于潔凈室及相關受控環境中可危害產品工藝設備的分子化學的非顆粒

,、、(、)

物質不包含生物大分子

。。

注空氣分子污染即空氣化學污染

:。

32

.

環境反應監測法environmentalresponsemonitoringmethodsERMs

;

綜合監測腐蝕性氣體對芯片的腐蝕程度的方法

。

注將環境反應采樣片放在各個待測區域如新風機組的進出口循環風機組進出口等時間是以天為

:(ERCs),,,30

一個周期觀察采樣片厚度的變化以