ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國國家標準

GB/T36306—2024

代替GB/T36306—2018

潔凈室及相關受控環境

空氣化學污染控制技術要求

Cleanroomandassociatedcontrolledenvironments—

Technicalrequirementsofairchemicalcontaminationcontrol

2024-03-15發布2024-10-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T36306—2024

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

污染源

4……………………1

空氣化學污染控制

5………………………2

檢測與監測

6………………3

附錄資料性潔凈室建設材料選用

A()…………………5

附錄資料性電子工業潔凈室空氣化學污染控制系統

B()……………7

附錄資料性微電子工業潔凈室空氣化學污染物控制數據表

C()……9

附錄資料性潔凈室施工階段化學物濃度控制措施

D()………………11

參考文獻

……………………13

Ⅰ

GB/T36306—2024

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規

GB/T1.1—2020《1:》

定起草

。

本文件代替潔凈室及相關受控環境空氣化學污染控制指南與

GB/T36306—2018《》,

相比除結構調整和編輯性改動外主要技術變化如下

GB/T36306—2018,,:

更改了標準適用范圍見第章年版的第章

a)(1,20181);

刪除了空氣分子污染環境反應監測法污染物氣相空氣凈化裝置等術語見年版的

b)、、、(2018

3.1、3.2、3.3、3.4);

增加了按化學物濃度劃分空氣潔凈度釋出氣體等術語見

c)、(3.1、3.3);

更改了空氣化學污染物的定義見年版的

d)(3.2,20183.5);

更改及增加了污染源來源見年版的刪除了分級與分類見年版的

e)(4.1、4.2,20184.1),(2018

4.2);

增加了一般要求設計施工及運行維護等空氣化學污染控制內容見刪除

f)、、(5.1、5.2、5.3、5.4),

了確定是否污染及情況控制措施的內容見年版的

、(20186.1、6.2);

更改標題檢測為檢測與監測見第章年版的第章更改了檢測的內容見

g)“”“”(6,20185),(

年版的增加了監測的內容見

6.1,20185.1、5.2),(6.2)。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國潔凈室及相關受控環境標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位中國電子工程設計院股份有限公司中國電子系統工程第三建設有限公司中國

:、、

電子系統工程第二建設有限公司中國科學院大氣物理研究所蘇州安泰空氣技術有限公司深圳市億

、、、

天凈化技術有限公司天津大學蘇州華泰空氣過濾器有限公司中國標準化協會濱州裕能電子材料股

、、、、

份有限公司北京戴納實驗科技有限公司煙臺寶源凈化有限公司江漢大學上海市室內環境凈化行業

、、、、

協會中電精泰電子工程有限公司麗茲控股有限公司無錫萊姆頓科技有限公司仲愷農業工程學院

、、、、、

黃岡魯班藥業股份有限公司上海禾益凈化設備制造有限公司佛山市南海東方澳龍制藥有限公司深

、、、

圳市中建南方環境股份有限公司

。

本文件主要起草人閻冬劉俊杰王奇勛孫揚李衛夏群艷陳思源霍金鵬郝胤博胡茂從

:、、、、、、、、、、

吳志堅耿文韜王芳奚曉鵬丁力行楊云濤楊子強陳錫福王艷嚴斌裴晶晶周淑貞徐寶平

、、、、、、、、、、、、、

徐宜彬張長安楊立楊小龍白冰

、、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發布情況為

:

年首次發布為

———2018GB/T36306—2018;

本次為第一次修訂

———。

Ⅲ

GB/T36306—2024

引言

本文件的空氣化學污染控制技術主要針對有空氣化學污染控制要求的潔凈室及相關受控環境空

。

氣化學污染物的分子尺寸范圍為通常狀態下是以氣體或蒸氣形態存在常規高效過濾

0.1nm~3nm,,

器和超高效過濾器無法有效去除使用粒子計數器也檢測不到

,。

空氣化學污染物種類較多不同污染物具有不同的化學性質某些污染物的濃度可隨環境的溫度

,,、

濕度變化而改變且污染物來源具有很大的隨機性隨著凈化技術和材料的發展空氣化學污染物可以

,。,

被有效控制和去除能夠保障潔凈室及相關受控環境內空氣化學污染物滿足環境限定要求

,。

Ⅳ

GB/T36306—2024

潔凈室及相關受控環境

空氣化學污染控制技術要求

1范圍

本文件規定了潔凈室及相關受控環境空氣化學污染物控制技術要求包括污染源空氣化學污染控

,、

制檢測與監測等內容

、。

本文件適用于潔凈室及相關受控環境中的空氣化學污染控制

。

2規范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

潔凈室及相關受控環境第部分按化學物濃度劃分空氣潔凈度

GB/T25915.8—20218:(ACC)

等級

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

按化學物濃度劃分空氣潔凈度aircleanlinessbychemicalconcentrationACC

;

以表示的代表給定的某種或某組化學物種類以克每立方米為單位的最大允許濃度

ISO-ACC