ICS1304035

C70..

中華人民共和國國家標準

GB/T259158—2010/ISO14644-82006

.:

潔凈室及相關受控環境

第8部分空氣分子污染分級

:

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part8Classificationofairbornemolecularcontamination

:

(ISO14644-8:2006,IDT)

2011-01-14發布2011-06-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T259158—2010/ISO14644-82006

.:

目次

前言…………………………

Ⅰ

引言…………………………

Ⅱ

范圍………………………

11

規范性引用文件…………………………

21

術語和定義………………

31

分級………………………

42

合格的證明………………

54

附錄資料性附錄所需考慮的因素…………………

A()6

附錄資料性附錄常見污染物………………………

B()9

附錄資料性附錄常用測量方法……………………

C()11

附錄資料性附錄隔離裝置的特殊要求……………

D()14

參考文獻……………………

15

GB/T259158—2010/ISO14644-82006

.:

前言

潔凈室及相關受控環境分為八個部分

GB/T25915《》:

第部分空氣潔凈度等級

———1:;

第部分證明持續符合的檢測與監測技術條件

———2:GB/T25915.1;

第部分檢測方法

———3:;

第部分設計建造啟動

———4:、、;

第部分運行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風罩手套箱隔離器微環境

———7:(、、、);

第部分空氣分子污染分級

———8:。

本部分是的第部分

GB/T259158。

本部分按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本部分使用翻譯法等同采用潔凈室及相關受控環境第部分空氣分子污染

ISO14644-8:2006《8:

分級

》。

本部分由全國潔凈室及相關受控環境標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本部分由中國電子工程設計院北京世源希達工程技術公司北京希達建設監理有限責任公司負責

、、

起草中電投工程研究檢測評定中心蘇州華泰空氣過濾器有限公司蘇州市恩威特環境技術有限公司

,、、、

美埃凈化科技上海有限公司參加起草

()。

本部分主要起草人王堯蔡杰王大千張利群張申元徐勤劉衛紅徐小浩張凱葉偉強姚東

:、、、、、、、、、、、

秦學禮呂希洲劉玥

、、。

Ⅰ

GB/T259158—2010/ISO14644-82006

.:

引言

潔凈室及相關受控環境將空氣中的顆粒物控制在適當的水平以完成對污染敏感的作業航空航

,。

天微電子制藥醫療器械食品醫療衛生等行業的產品和工藝受益于對空氣污染的控制

、、、、、。

有些行業存在源自外部工藝或其他來源的空氣分子污染它們會影響甚至破壞產品或工藝

、、,。

的本部分中懸浮于空氣中的分子用空氣分子污染表示分子污染分階段

GB/T25915,(AMC)。3,

第一階段是產生即外部源工藝的泄漏建筑材料或人身上材料的氣體釋放第二階段是的

“”,、、;AMC

傳播第三階段是敏感表面的吸附此階段的表面分子污染可以量化

“”;“”,(SMC)。

除了實際外釋放氣體的材料及吸附表面對產生和吸附個階段也有很大的影響因

AMC,“”“”2。

此對于這兩個階段不僅需明確還需明確所涉及的材料和表面為了制定適用于各類潔凈室

,,AMC,。

及相關受控環境的通用標準選擇對進行分級

,AMC。

在潔凈室及相關受控環境中的分子污染危害產品或工藝的場合本部分所確定的等級用來規

,ISO

定其中的濃度限值

AMC。

為分級的目的本部分局限于規定的濃度范圍并考慮到化合物檢測和分析方法時間加權

,AMC,、、

系數等因素給出規定濃度的標準規程

。

本部分包含下述資料性附錄

:

附錄需要考慮的參數

———A:;

附錄常見污染化學品和物質

———B:;

附錄常用測量和分析方法

———C:;

附錄隔離裝置的特殊要求

———D:。

本部分是有關潔凈室與污染控制標準中的一部分潔凈室及受控環境的設計技術

GB/T25915。、

要求運行和控制中除外尚有許多其他需要考慮的因素那些問題包含在編制的

、,AMC,,SAC/TC319

其他國家標準中要特別注意所有部分有些情況下相關管理機構可能會規定某些

。GB/T25916()。,

補充政策或限制此時可能需要對本部分進行適當修改

,。

Ⅱ

GB/T259158—2010/ISO14644-82006

.:

潔凈室及相關受控環境

第8部分空氣分子污染分級

:

1范圍

的本部分依據潔凈室及相關受控環境空氣中具體化學物質種組類的濃度對空

GB/T25915(、、),

氣分子污染進行分級同時本部分在分級技術要求中給出了包括檢測方法分析方法和時間

(AMC)。,,、

加權系數的規程

。

本部分目前只考慮潔凈室運行工況下03-123的濃度

10g/m~10g/mAMC。

本部分不涉及那些雖有空氣分子物質存在但不認為對產品或工藝有風險的行業工藝和生產

、、。

本部分無意探討空氣分子污染物的特性

。

本部分不包含對表面分子污染的分級

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

潔凈室及相關受控環境第部分詞匯

GB/T25915.66:(GB/T25915.6—2010,ISO14644-6:

2007,IDT)