標準解讀

《GB/T 31986-2015 電子工業用氣體 八氟丙烷》是一項國家標準，主要針對八氟丙烷（C?F?）這種在半導體制造等電子工業領域中作為蝕刻氣體使用的化學品。該標準詳細規定了適用于電子工業中的八氟丙烷的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸和貯存等方面的內容。

技術要求部分明確了產品的純度級別及雜質含量限制，確保其能滿足特定應用環境下的需求。例如，對于高純度級別的八氟丙烷，除了對主成分的濃度有嚴格要求外，還特別指出了幾種可能影響最終產品質量的關鍵雜質的最大允許濃度值。

試驗方法章節提供了檢測產品是否符合上述技術指標的具體操作步驟，包括但不限于氣相色譜法來測定組分含量，以及其他專門針對某些特定雜質的分析手段。這些方法的選擇基于它們能夠準確可靠地反映樣品實際情況的能力。


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....

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  • 正在執行有效
  • 2015-09-11 頒布
  • 2016-05-01 實施
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文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T31986—2015

電子工業用氣體八氟丙烷

Gasforelectronicindustry—Perfluoropropane

2015-09-11發布2016-05-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T31986—2015

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位國家化學工業氣體產品質量監督檢驗中心福建浙江省化工研究院有限公司

:()、、

佛山市華特氣體有限公司蘇州金宏氣體股份有限公司上海華愛色譜分析技術有限公司中昊光明化

、、、

工研究設計院有限公司四川中測標物科技有限公司天津長蘆華信化工股份有限公司西南化工研究

、、、

設計院有限公司

。

本標準主要起草人林宇巍陳熔史婉君方路廖恒易金向華孫猛方華孫福楠方正崔學文

:、、、、、、、、、、、

周鵬云

。

Ⅰ

GB/T31986—2015

電子工業用氣體八氟丙烷

1范圍

本標準規定了八氟丙烷的技術要求試驗方法包裝標志貯運和安全

、、、、。

本標準適用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制備并通過精餾吸附催化等工藝提純的八氟丙烷產品

,、、,

以及碳和氟直接反應法合成的八氟丙烷產品它在電子工業等離子蝕刻工藝中作為蝕刻氣體或清洗

。

氣體

。

分子式

:C3F8。

相對分子質量按年國際相對原子質量

:188.017(2011)。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業用化學產品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質無縫氣瓶

GB5099

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標志

GB7144

氣體中一氧化碳二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法

GB/T8984、

液化氣體氣瓶充裝規定

GB14193

化學品安全標簽編寫規定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB16804

特種氣體儲存期規范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

氣瓶安全監察規程版

(2000)

危險化學品安全管理條例版

(2011)

特種設備安全監察條例版

(2009)

3技術要求

八氟丙烷的質量應符合表的要求

1。

表1技術指標

項目指標

八氟丙烷純度體積分數-2

(C3F8)()/10≥99.99999.99

氧氬含量體積分數-6

(+)(O2+Ar)()/10<1

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