犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜１４６０４—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３

電子工業(yè)用氣體氧

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２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

中華人民共和國

國家標準

電子工業(yè)用氣體氧

ＧＢ／Ｔ１４６０４—２００９

中國標準出版社出版發(fā)行

北京復興門外三里河北街１６號

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開本８８０×１２３０１／１６印張０．７５字數(shù)１７千字

２００９年１２月第一版２００９年１２月第一次印刷

書號：１５５０６６·１３９３１５

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書

犌犅／犜１４６０４—２００９

前言

本標準代替ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３《電子工業(yè)用氣體氧》。

本標準與ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３相比主要變化如下：

———修改電子工業(yè)用氧的適用范圍（ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的第１章，本版的第１章）；

———修改規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的第２章，本版的第２章）；

———修改技術指標內(nèi)容（ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的第３章，本版的第３章）；

———修改瓶裝電子工業(yè)用氧采樣要求（ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的４．１，本版的４．１．３）；

———修改瓶裝電子工業(yè)用氧抽樣方法（ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的第５章，本版的４．１．１、４．１．２、４．１．４）；

———修改氫、氬、氮、氪、一氧化碳、二氧化碳、氧化亞氮、總烴和水含量的分析方法和標準樣品的規(guī)

定，當出現(xiàn)多種分析方法時，規(guī)定仲裁方法（ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的４．３、４．４、４．５、４．６、４．７、

４．８，本版的４．３、４．４、４．６、４．７、４．８）；

———增加一氧化氮含量的分析方法（本版的４．５）；

———修改標志、包裝、貯運及安全（ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的第６章、第７章，本版的第５章）；

———刪去ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的附錄Ａ和附錄Ｂ；

———增加規(guī)范性附錄Ａ，并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業(yè)用氧中的氫、氬、氮和氪組分

的方法寫入該附錄（見附錄Ａ）；

———增加規(guī)范性附錄Ｂ，并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業(yè)用氧中的一氧化碳、二氧化碳

和氧化亞氮組分的方法寫入該附錄（見附錄Ｂ）。

本標準的附錄Ａ、附錄Ｂ為規(guī)范性附錄。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口。

本標準起草單位：中國計量科學研究院、西南化工研究設計院。

本標準主要起草人：周澤義、周鵬云。

本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３。

Ⅰ

書

犌犅／犜１４６０４—２００９

電子工業(yè)用氣體氧

１范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氧的技術要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。

本標準適用于以深冷法、電解法提取的氣態(tài)或液態(tài)氧，以及經(jīng)純化方法得到的氧。它們主要用于二

氧化硅化學氣相淀積，用作氧化源和生產(chǎn)高純水的反應劑，用于等離子體蝕刻和剝離、光導纖維。

分子式：Ｏ２。

相對分子質量：３１．９９８８（按２００５年國際相對原子質量計算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ／Ｔ３８６３工業(yè)氧

ＧＢ５０９９鋼質無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９９３）

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法

ＧＢ１４１９４永久氣體氣瓶充裝規(guī)定

ＧＢ／Ｔ１４６００電子工業(yè)用氣體氧化亞氮

ＧＢ１６９１２深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關氣體安全技術規(guī)范

ＪＢ／Ｔ５９０５真空多層絕熱低溫液體容器

ＪＢ／Ｔ６８９７低溫液體運輸車

ＪＢ／Ｔ６８９８低溫液體貯運設備使用安全規(guī)則

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

壓力容器安全技術監(jiān)察規(guī)程

壓力管道安全管理與監(jiān)察規(guī)定

３技術要求

電子工業(yè)用氣體氧的質量應符合表１的要求。