標準解讀

GB/T 14604-1993 是一項中華人民共和國國家標準，全稱為《電子工業用氣體 氧》。這項標準規定了電子工業中使用的氧氣的質量要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸和儲存要求，旨在確保電子工業應用中氧氣的純度與質量，滿足半導體制造、平板顯示、光纖生產等多個領域的高精度需求。

標準內容概覽：

  1. 范圍：明確了本標準適用于電子工業生產過程中作為保護氣體、反應氣體或工藝環境氣體使用的氧氣。

  2. 規范性引用文件：列出了實施本標準時所直接引用或參考的其他相關標準和文件，這些文件對于理解和執行標準的具體要求至關重要。

  3. 術語和定義：對標準中涉及的專業術語進行了明確界定，幫助讀者準確理解各項要求。

  4. 要求：

    • 純度：規定了氧氣的最低純度要求，通常要求極高純度，以避免雜質影響電子元件的性能和壽命。
    • 雜質含量：詳細列出了各種可能的雜質氣體（如氮、氬、二氧化碳等）的最大允許含量，確保氧氣的純凈度。
    • 水分含量：嚴格限制氧氣中的水分含量，因為水分可以引起電路腐蝕或其它不良反應。
    • 顆粒物：規定了氧氣中固體顆粒物的最大允許濃度，以防止對精密設備造成污染。

  5. 試驗方法：描述了如何通過化學分析、氣相色譜分析等方法來測定氧氣的純度和雜質含量，確保檢測結果的準確性和可重復性。

  6. 檢驗規則：包括產品出廠前的檢驗項目、抽樣方法、合格判定準則等，確保每批次產品的質量符合標準要求。

  7. 包裝、標志、運輸和儲存：

    • 包裝：規定了氧氣容器的材質、密封性要求，以防止外界污染物滲透。
    • 標志：要求在容器上清晰標注產品信息、純度等級、生產日期等，便于識別和追溯。
    • 運輸：提供了運輸過程中的安全措施和注意事項，以防止物理損壞或泄漏。
    • 儲存：指明了適宜的儲存條件，如溫度、壓力范圍，以維持氣體品質不變。

實施意義：

該標準的制定與執行，為電子工業氣體供應商和用戶提供了統一的質量控制依據，有助于提升電子元器件的生產效率和成品率，保障電子產品的可靠性和使用壽命，促進了電子工業的高質量發展。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現行標準GB/T 14604-2009
  • 1993-08-26 頒布
  • 1994-07-01 實施
?正版授權
GB/T 14604-1993電子工業用氣體氧_第1頁
GB/T 14604-1993電子工業用氣體氧_第2頁
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文檔簡介

UDC661G86中華人民共和國國家標準GB/T14604—93電子工業用氣體氧Gasesforelectronicindustry-Oxygen1993-08-26發布1994-07-01實施國家技術監督局發布

中華人民共和國國家標準CB/T14604-93電子子體氣Gasesforelectronicindustry--0xygen主題內容與適用范圍本標準規定了電子工業用氣體氧和散裝液態氧的技術要求，檢驗方法，檢驗規則及產品的包裝、標志、運輸、財存及安全要求。電子工業用氧主要用于二氧化硅化學氣相淀積,用作氧化源和生產高純水的反應劑，用于等離子體蝕刻和剝離。也可用于光導纖維。分子式：O：相對分子質量：31.999(1989年國際相對原子質量表）·引用標準GB190危險貨物包裝標志GB3863：工業用氣態氧GB4844氨氣GB5099鋼質無縫氣瓶GB5832.2氣體中微量水的測定露點法GB6680液體化工產品采樣通則GB6681氣體化工產品采樣通則GB7144！氣瓶顏色標記GB7445氫氣GB89844氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定氣相色譜法GB8991氣體中微量氫的測定氣相色譜法GB/T14605氧氣中微量氬、氮和氯含量的測定氣相色譜法GB/T14606氣體中總烴的測定火焰離子化檢測法3技術要求電子工業用氣體氧的質量應符合下表的要求超大規模集成電路級半導體及集成電路級電子級和散裝液態氧氧純度,10-499.985399.599.5氫含量,10-氫含量,10-"

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