1、TSV-1300全自動電子束蒸發(fā)光學鍍膜機深圳市龍崗區(qū)南聯(lián)社區(qū)方興科技園C區(qū)19棟電話：0傳真：6網站：郵箱：TENSTARVACUUM1內容 公司及產品簡介TENSTARVACUUM 電子束蒸發(fā)鍍膜機 主要客戶及合作伙伴2公司簡介 深圳市天星達真空鍍膜設備有限公司成立于2008年，是一家專業(yè)從事真空設備制造與研發(fā)的國家級高新技術企業(yè)。公司目前已擁有五項實用專利技術證書和多項軟件著作權登記證書。TENSTARVACUUM3公司簡介公司主要產品 電子束蒸發(fā)鍍膜機 磁控濺射鍍膜機 多弧離子鍍膜機 PECVD類金剛石薄膜沉積設備 在線四極質譜分析儀 各類非標真空設備HotTENSTARVACUUM4

2、電子束蒸發(fā)鍍膜機TENSTARVACUUMTSV-1300型全自動光學鍍膜機技術參數： 直徑1300mm 高度1500mm 極限真空優(yōu)于1.5 x 10-4 帕 大氣至3.0 x 10-3小于15min 烘烤3組18KW 最高350度 晶控 SQC310 (可選配IC6等其他晶控) SR1220mm扇形工件架 2個630擴散泵20000L/s（預留Polycold安裝法蘭） 70L/s機械泵 + 300L/s羅茨泵 + 30L/s維持泵(可選配) 南京涉谷電子槍5電子束蒸發(fā)鍍膜機產品主要特點 成熟的生產制造工藝 嚴格的配件篩選 豐富的可擴展性 完善的自動控制系統(tǒng) 優(yōu)良的售后服務體系TENSTA

3、RVACUUM6電子束蒸發(fā)鍍膜機成熟的生產制造工藝 經驗豐富的開發(fā)、生產團隊 成套的各類機械加工設備TENSTARVACUUM 嚴謹規(guī)范的裝配流程-裝配工藝卡7電子束蒸發(fā)鍍膜機嚴格的配件篩選TENSTARVACUUM 所有配件均為國產或進口知名牌，并對配件采用嚴格把關：歐姆龍PLC、歐姆龍溫控表、施耐德低壓電器 出廠前反復測試，最少老練三天。篩除早期浴盆失效曲線的可能性，確保設備性能及質量可靠8電子束蒸發(fā)鍍膜機豐富的可擴展性 設備能廣泛適用于在玻璃、塑料和陶瓷基體上沉積各類薄膜，如：增透膜、濾光片、紅外截止膜和防水膜等。TENSTARVACUUM 設備標配多位坩堝電子槍，也可根據用戶需求擴展環(huán)

4、形坩堝、離子源、電阻蒸發(fā)和低溫捕集泵等來滿足不同的生產需求。9電子束蒸發(fā)鍍膜機氦質譜檢漏儀VACUUM四極質譜殘氣分析（RGA）多元化的檢漏方式整機檢漏，對所有焊縫及連接密封處進行檢漏組件部件檢漏零部件焊縫檢漏待設備獲得較高真空后，對真空室進行殘余氣體分析，再次檢漏，確保設備真空性能達到最佳狀態(tài)TENSTAR10電子束蒸發(fā)鍍膜機完善的控制系統(tǒng)TENSTARVACUUM 通過長期對客戶現(xiàn)場應用需求的采集，我們開發(fā)出了操作簡潔，但功能強大的控制系統(tǒng)。【安全互鎖】【報警記錄】【操作提示】【自動計時】11電子束蒸發(fā)鍍膜機完善的控制系統(tǒng)TENSTARVACUUM 多樣的自動啟動機制幾乎可以免去整個生成過

5、程的人工干預，從而實現(xiàn)媲美進口設備的“一鍵生產”。【自動壓控】【自動流量】【自動加熱】【多段放氣】12電子束蒸發(fā)鍍膜機完善的控制系統(tǒng)TENSTARVACUUM【單獨可調】【重復可靠】 12個堝位可以單獨設置束斑狀態(tài)，自動工藝時即使不同特性的材料均能獲得平穩(wěn)的蒸發(fā)速率13電子束蒸發(fā)鍍膜機完善的控制系統(tǒng)TENSTARVACUUM 自動熔料可對光斑軌跡、大小和束流等參數進行靈活設置，包括熔料時否給入氧氣等。幾乎能滿足市面上所有常用材料的自動預熔。【束流可調】【軌跡可調】【堝位可選】【多段預熔】14電子束蒸發(fā)鍍膜機優(yōu)良的售后服務體系TENSTARVACUUM 我們塑建了一支訓練有素的專業(yè)服務團隊，為客

6、戶提供最滿意的服務。 我們?yōu)槟兄Z任何問題2小時內給予答復，珠三角地區(qū)24小時內到場維修，國內其他地區(qū)不超過72小時。15主要客戶及合作伙伴部分企事業(yè)單位廣州奧益光學東莞科譜達光電中山旌旭光學佛山旭和光電廣州盈光機電東莞國聯(lián)光電兵器工業(yè)部洛陽613所長春富瑞光學TENSTARVACUUM深圳比亞迪16部分企事業(yè)單位廣州晶和光學福州光誠光電深圳鈦金利TENSTARVACUUM大中專院校上海復旦大學溫州大學哈爾濱商業(yè)大學香港理工大學中國科技大學主要客戶及合作伙伴17電子束蒸發(fā)鍍膜機TENSTARVACUUM核心要點真空多元化的真空檢漏確保真空系統(tǒng)長期運轉穩(wěn)定可靠電子槍深入研究打火機制 （電子云），疏導和堵截相結合控制系統(tǒng)完善，穩(wěn)定，可靠，全自動