1、目錄索引 HYPERLINK l _TOC_250004 SHADOW MASK：OLED 面板制造核心工具4 HYPERLINK l _TOC_250003 OLED 發光層制作采用蒸鍍工藝，SHADOW MASK 為核心工具4金屬遮罩產業鏈：日韓廠商主導，上游光罩和下游清洗再生環節國內廠商有望參與 6 HYPERLINK l _TOC_250002 柔性顯示元年已至，國內OLED 金屬遮罩配套環節迎來發展機遇8 HYPERLINK l _TOC_250001 折疊屏手機疊加可卷曲電視，2019 將是柔性顯示元年8 HYPERLINK l _TOC_250000 國內面板廠商 OLED 產能

2、快速擴張，金屬遮罩配套環節迎來發展機遇9圖表索引圖 1：柔性 OLED 面板制程中包含蒸鍍環節4圖 2：OLED 發光結構由發光層和普通層共同構成5圖 3：FMM 孔洞結構十分精細并決定了面板分辨率5圖 4：OPM 孔洞尺寸基本上與面板產品尺寸相一致5圖 5：RGB OLED 面板的蒸鍍制程需要 FMM 和 OPM 共同參與6圖 6：全球柔性 OLED 面板理論總產能面積6圖 7：全球 OLED Shadow Mask 市場規模6圖 8：FMM 的張網組裝示意圖7圖 9：大尺寸 OPM 組裝示意圖7圖 10：三星 Galaxy Fold 配有內置可折疊大屏8圖 11：華為 Mate X 采用外

3、折式產品形態設計8圖 12：LG 已發布可卷曲電視“OLED TV R”8圖 13：可卷曲設計使得電視具備可移動性8表 1：全球已規劃的柔性OLED 量產線9Shadow Mask：OLED 面板制造核心工具OLED 發光層制作采用蒸鍍工藝，Shadow Mask 為核心工具OLED面板制程中發光結構的制作需要采用蒸鍍工藝。柔性OLED（Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極管）面板的結構自下而上包括PI薄膜襯底的TFT（Thin Film Transistor，薄膜晶體管）基板、OLED發光結構、薄膜封裝層、偏光片、外掛觸控層和蓋板層幾個部分。其中，OLED發

4、光結構部分需采用真空蒸鍍的工藝來制作。圖 1：柔性OLED面板制程中包含蒸鍍環節玻璃基板PI基底涂布成膜光刻膠涂布曝光前段工序反復多次背板制程背板產出剝離光刻膠蝕刻顯影中段TFT基板清洗金屬掩膜版張網有機蒸鍍蒸鍍工藝蒸鍍制程封裝層清洗涂膠封裝IC+FPC綁定激光剝離玻璃基板切割面板測試偏貼TP/蓋板貼附后端模組制程模組封裝模組測試數據來源：和輝光電，OLED發光結構由發光層和普通層共同構成。OLED發光結構中，在陰極和陽極中間包含有5層，分別為：電子注入層（EIL）、電子傳輸層（ETL）、發光層（EML）、空穴傳輸層（HTL）、空穴注入層（HIL）。其中，發光層（EML）由紅綠藍三原色的有機發

5、光材料構成，發光層以外的結構又被稱為普通層。該結構的發光原理為：在外加電場作用下，陰極和陽極分別產生帶負電的電子和帶正電的空穴，電子和空穴通過注入層和傳輸層向中間的發光層遷移，并在發光層形成電子空穴對（即激子），激子不穩定，輻射躍遷釋放能量，發出可見光。圖 2：OLED發光結構由發光層和普通層共同構成蓋板觸控層偏振片封裝層OLED發光結構陰極電子注入層（EIL）電子傳輸層（ETL） 發光層（EML） 空穴傳輸層（HTL）驅動IC空穴注入層（HIL）陽極OLED 面板結構 TFT背板OLED發光結構大尺寸WOLED發光層中小尺寸RGB OLED發光層WRGB數據來源：IHS Markit，金屬遮

6、罩為OLED蒸鍍制程中的核心工具。金屬遮罩（Metal Shadow Mask）是指用金屬薄板制成的掩膜版，在蒸鍍工藝中覆蓋于襯底上方，可以使得蒸鍍材料沉積在基板上的指定區域。OLED蒸鍍制程中所用到的金屬遮罩分為兩類：一類是FMM（Fine Metal Mask，精細金屬掩膜版），用于蒸鍍紅綠藍子像素點的發光材料，因此要求其孔洞結構十分精細，FMM的結構精細程度直接決定了OLED面板的像素密度；另一類是OPM（Open Mask，開放式掩膜版），主要用于蒸鍍普通層結構，其孔洞尺寸基本上與面板產品尺寸相一致。圖 3：FMM孔洞結構十分精細并決定了面板分辨率圖 4：OPM孔洞尺寸基本上與面板產品

7、尺寸相一致數據來源：Toppan Mask，數據來源：Poong Won，RGB OLED面板的蒸鍍制程需要FMM和OPM共同參與。具體來看工藝流程，首先需采用OPM在TFT基板上（包含陽極）蒸鍍HIL和HTL結構，其次采用FMM分別蒸鍍紅綠藍子像素點的EML結構，最后再采用OPM蒸鍍ETL、EIL和陰極結構。WOLED面板的蒸鍍制程僅需要采用OPM。WOLED的EML結構中不區分紅綠藍子像素點，而是在每個子像素點均蒸鍍有紅綠藍的發光層形成白色光源，再通過彩色濾光片產生色彩，因此其蒸鍍制程中的普通層和發光層均采用OPM即可完成。圖 5：RGB OLED面板的蒸鍍制程需要FMM和OPM共同參與H

8、IL and HTL layer evaporation by OPMMask changeR and R evaporation by FMM (f) Mask change(e) G and G evaporation by FMM(d) Mask change B and B evaporation by FMM數據來源：IHS Markit，Mask ChangeETL and EIL layer evaporation by OPM金屬遮罩產業鏈：日韓廠商主導，上游光罩和下游清洗再生環節國內廠商有望參與根據IHS Markit數據，伴隨著全球OLED面板產能的擴張，OLED用金屬遮罩

9、的市場規模也在快速增長，預計到2022年全球OLED金屬遮罩的市場規模在12億美元以上。圖 6：全球柔性OLED面板理論總產能面積圖 7：全球OLED Shadow Mask市場規模3500030000250002000015000100005000020162022六年間， 全球柔性OLED產能復合增速高達82%2015 2016 2017 2018E2019E2020E2021E2022E2023E全球柔性OLED理論總產能面積（千平方米，左軸）350%300%250%200%150%100%50%0%（單位：百萬美元）CAGR 35%1,4001,2001,000800600400200

10、-2014 2015 2016 2017E 2018E 2019E 2020E 2021E 2022E90%80%70%60%50%40%30%20%10%0%同比增速（右軸）Global OLED Shadow Mask Revenue（左軸）YoY（右軸）數據來源：IHS Markit，數據來源：IHS Markit，自上而下來看，金屬遮罩產業鏈包含有原材料、圖形設計、光罩制備、金屬遮罩制作、金屬遮罩張網、清洗再生等環節。其中日韓廠商主導材料和制造環節，上游光罩和下游清洗再生環節國內廠商有望參與。材料環節：為了保證蒸鍍環節的工藝精度，OLED金屬遮罩一般采用熱膨脹系數極低的Invar鋼（F

11、eNi36合金）來制作。金屬遮罩制造商通常向上游材料廠商購買成卷的Invar鋼薄帶（對厚度和均勻性要求極高），再進行后續的切割和刻蝕加工。目前，日本廠商Hitachi Metals Neomaterial是全球唯一的OLED金屬遮罩用Invar鋼供應商。圖形設計：OLED金屬遮罩的圖形參數由面板廠商根據產品要求來進行設計，再將設計文件交由光罩和金屬遮罩制造廠商開展后續環節。光罩制備：OLED金屬遮罩上的孔洞采用化學刻蝕方法進行，由于涉及到光刻工藝，因此也需要預先制備光罩（Photomask）來進行孔洞圖形的轉移。目前全球主要的光罩廠商包括日本的DNP 、Toppan 、HOYA 、SK-Ele

12、ctronics，韓國的LG Innotek，美國的Photronics等，國內廠商清溢光電也已經在顯示面板用光罩領域取得一定的市場份額。金屬遮罩制作：OLED金屬遮罩制造商首先將Invar鋼原材料進行裁剪，再利用化學刻蝕的方法將光罩上的圖形轉移至金屬遮罩上。由于對精度和平整度要求極高，因此金屬遮罩的制備環節具有較高的技術壁壘。目前，FMM 的供應商主要為日本廠商DNP，其余還具備一定供應能力的主要為日本廠商Toppan、韓國廠商Poong Won以及臺灣廠商達運精密；OPM的供應商包括韓國廠商Sewoo、Poong Won、LG Innotek、以及臺灣廠商達運精密。金屬遮罩張網：由于Inv

13、ar鋼卷帶的寬度有限（通常在150300mm），因此通常需要將多條制備好的FMM或是OPM條帶一同組裝固定在金屬框架上來實現整張面板的蒸鍍。金屬遮罩的張網和組裝過程通常由面板廠商完成。圖 8：FMM的張網組裝示意圖圖 9：大尺寸OPM組裝示意圖數據來源：USPTO，IHS Markit，數據來源：Poong Won，清洗再生：金屬遮罩在使用一段時間后表面會形成蒸鍍材料的附著沉積甚至是孔洞堵塞，會嚴重影響產出品的精度和產品良率，因此需要定期對金屬遮罩進行清洗再生處理（化學試劑溶解+等離子體處理）或是直接汰舊換新。目前，OLED金屬遮罩的清洗再生的技術工藝由少數日韓企業掌握。國內方面，濮陽惠成已發

14、布公告（2019/02/16公告）擬收購翰博高新，其募投項目“OLED用OPEN MASK精密再生項目”擬與國際領先的OLED金屬遮罩清洗再生服務商韓國Top Wintech合作，在國內建設OLED金屬遮罩的清洗再生量產服務設施。柔性顯示元年已至，國內 OLED 金屬遮罩配套環節迎來發展機遇折疊屏手機疊加可卷曲電視，2019 將是柔性顯示元年屏幕尺寸增大是智能手機產品迭代發展的一條關鍵主線。然而，在經歷了最新一輪的全面屏迭代之后，主流旗艦機型的屏占比普遍已在80%以上，可提升空間已十分有限，機身尺寸也已經達到挑戰便攜性和可操作性的極限。目前來看，沿著屏幕尺寸持續增大這條主線，并且由于創新顯性可

15、以刺激消費者換機需求，折疊屏設計將會是智能手機產品較為明確的下一代發展方向。圖 10：三星Galaxy Fold配有內置可折疊大屏圖 11：華為Mate X采用外折式產品形態設計 數據來源：三星官網，數據來源：華為官網，圖 12：LG已發布可卷曲電視“OLED TV R”圖 13：可卷曲設計使得電視具備可移動性數據來源：LG官網，數據來源：LG官網，三星和華為的折疊屏手機率先亮相，智能手機新紀元已經開啟。今年2月底，三星和華為陸續發布各家首款折疊屏手機“Galaxy Fold”和“Mate X”，兩款產品均具備較高的完成度，受到產業界和消費者的一致好評。除了華為和三星之外，OPPO 和小米均已

16、公開展示其折疊屏樣機（但尚未正式發布），蘋果也已經申請多項與折疊屏相關的專利。我們認為，三星Galaxy Fold和華為Mate X在上個月相繼面世后， 雖然均定價較高并且產量有限，但有望點燃消費者對于折疊屏設計的關注度。在磨合用戶的需求痛點并且產業鏈配套成熟之后，折疊屏設計有望在高端智能手機市場全面滲透，開啟智能手機外觀形態的新紀元。目前來看，一方面，各大手機廠商對于折疊屏手機產品的積極規劃布局顯示“折疊屏”將是下一代智能手機產品的確定性迭代發展方向；另一方面，LG在2019年1 月初的CES展上發布全球首款可卷曲電視，帶動柔性OLED登陸大尺寸應用。折疊屏手機疊加可卷曲電視，2019年將是

17、柔性顯示爆發元年。國內面板廠商 OLED 產能快速擴張，金屬遮罩配套環節迎來發展機遇如上所述，我們認為在以折疊屏手機和可卷曲電視為代表的柔性顯示應用擴張的背景下，OLED面板未來需求空間十分廣闊。供給端來看，國內面板廠商近年來紛紛加碼布局柔性OLED產線，并且產能將在近些年集中釋放。目前來看京東方已經規劃了成都B7、綿陽B11、重慶B12和福州B15四條G6產線，維信諾已經規劃了固安V2和合肥V3兩條G6產線，華星光電已廠商地點產線基板尺寸最新規劃產能預計或已量產時間牙山SD A31500mm1850mm135K/月2015Q2三星SDC牙山SD A4（原L7-1）1500mm1850mm30

18、K/月2019Q1牙山SD A51500mm1850mmN/A2020Q2龜尾龜尾LGD AP2-E2LGD AP3-E5730mm920mm1500mm1850mm23K/月15K/月20152017Q3坡州坡州LGD P9-E6LGD P10-E71500mm1850mm1500mm1850mm45K/月N/A2018Q42022Q4成都BOE B71500mm1850mm48K/月2018Q3綿陽BOE B111500mm1850mm48K/月2019Q2京東方BOE重慶BOE B121500mm1850mm48K/月2020Q4福州BOE B151500mm1850mm48K/月2023Q2固安VSX V21500mm1850mm30K/月2018Q4維信諾Visionox合肥VSX V31500mm1850mm30K/月2021Q1華星光電China Star武漢T41500mm1850mm45K/月2019Q3天馬武漢1500mm1850mm