1、Avantage作指南The world leader in serving scienceAvantage 操作頁面介紹Avantage 操作頁面3儀器軟件基本介紹新建窗口（數(shù)據(jù)處理或實驗庫）打開數(shù)據(jù)文件導入數(shù)據(jù)保存數(shù)據(jù)處理窗口打印實時數(shù)據(jù)顯示光學圖像窗口 FEG掃描窗口樣品臺示意圖新建數(shù)據(jù)處理窗口打開/關閉實驗樹和屬性窗口用戶優(yōu)化選項4儀器軟件基本介紹-數(shù)據(jù)處理工具其他功能數(shù)學方法選項基本分析譜圖修改角分辨功能數(shù)據(jù)比較圖像處理剖面圖選項注：需要選中正確的數(shù)據(jù)之后，相應功能才能起作用（否則相應功能按鈕呈灰色）5儀器軟件基本介紹導出數(shù)據(jù)選項顯示選項顯示模式6作指南AvantageSurvey

2、元素自動識別1、打開對應的VGP文件2、選中Survey譜圖，單擊對Survey進行元素識別注：一般采用高分辨元素窄掃譜圖進行化學態(tài)的確認及定量分析，此時應注意將Survey里各元素的“” 去掉，使其不參與定量8荷電校準3、荷電校準單擊，通過拖拽C1s峰位，計算其與284.8eV的差值，即為需要將所有元素峰位矯正的數(shù)值（本次各元素峰位需要+0.1eV）注：進行荷電校準時，一般采用污染碳的C1s（ 284.8eV）進行校準若樣品不是石墨烯類材料，則將C1s譜圖最低結合能端的峰校準到284.8eV;若樣品是石墨烯類材料，則建議將C1s譜圖最低結合能端的峰校準到284eV;9荷電校準選中譜圖左上角方

3、框（作用是將所有譜圖選中）選中對譜圖進行荷電校準（此次數(shù)據(jù)需要將譜圖向高結合能端移動0.1eV）10荷電校準在Shift by amount菜單中設置峰位移動的方向和數(shù)值點擊Accept &Close可以觀察到所有譜向高結合能端移動了0.1eV（C1s峰位已經(jīng)校準到284.8eV）11元素定量4.1、元素定量-背底扣除點擊對應譜圖上會顯示兩條虛線（用于標識背底扣除的起始位置）將虛線移動到對應元素兩側背底處（較平緩區(qū)域）較平緩點擊Add背底扣除方法：一般建議使用Smart12元素各化學態(tài)定量、元素各化學態(tài)定量-分峰擬合（加單峰）選中對應譜圖，點擊選擇“Add Fitted Peak”選擇“Add

4、 Single Peak”，根據(jù)對樣品的了解及譜圖實際情況確定加3個譜峰）個數(shù)（此譜圖共需添分峰擬合適用條件：若元素存在不同的化學態(tài)，且需要對化學態(tài)進行分析時，需要對該元素進行分峰擬合13元素各化學態(tài)定量、元素各化學態(tài)定量-分峰擬合（加單峰）選中Peak Fit（可以對譜峰的擬合參數(shù)進行優(yōu)化和修改）如：各化學態(tài)譜峰命名、半高寬的限定等譜峰命擊對應元素化學態(tài)名稱（即C1s、C1s Scan A、 C1s Scan B）處對其修改半高寬限定：一般建議半高寬在0.5:2.5范圍內(nèi)，且同一元素各化學態(tài)半高寬相同或差距較小14元素各化學態(tài)定量4.2、元素各化學態(tài)定量-分峰擬合（加單峰單擊 Fit Thi

5、s Level若擬合結果符合要求，點擊OK即可（該元素各化學態(tài)定量結果完成）1元素各化學態(tài)定量、元素各化學態(tài)定量-分峰擬合（加雙峰）選中對應譜圖，點擊選擇“Add Fitted Peak”選擇“Add Double Peak”，根據(jù)對樣品的了解及譜圖實際情況確定個數(shù)（此譜圖共需添加2組譜峰，即點擊2次Add Double Peak ）分峰擬合適用條件：若元素存在不同的化學態(tài)，且需要對化學態(tài)進行分析時，需要對該元素進行分峰擬合16元素各化學態(tài)定量4.3、元素各化學態(tài)定量-分峰擬合（加雙峰）單擊 Fit This Level，直到擬合效果滿意為止（一般只需單擊1-3次）17元素各化學態(tài)定量4.3、

6、元素各化學態(tài)定量-分峰擬合（加雙峰）選中Peak Fit（可以對譜峰的擬合參數(shù)進行優(yōu)化和修改）如：各化學態(tài)譜峰命名、半高寬的限定等（單擊對應方框，直接輸入即可）譜峰命對其修改半高寬限定：一般建議半高寬在0.5:2.5范圍內(nèi)，且同一元素各化學態(tài)半高寬相同或差距較小擊對應元素化學態(tài)名稱（即S2p3 ScanA、S2p1 Scan A、 S2p3 Scan B）處18元素各化學態(tài)定量4.3、元素各化學態(tài)定量-分峰擬合（加雙峰）若擬合結果符合要求，點擊OK即可（該元素各化學態(tài)定量結果完成）19元素定量5.1、深度剖析元素定量-背底扣除點擊對應譜圖上會顯示兩條虛線（用于標識背底扣除的起始位置）將虛線移動

7、到對應元素兩側背底處（較平緩區(qū)域）較平緩背底扣除方法：一般建議使用Smart點擊Add20深度剖析元素各化學態(tài)定量、深度剖析元素各化學態(tài)定量-分峰擬合選中對應譜圖，點擊選擇“Add Fitted Peak”選擇“Add Single Peak”，根據(jù)對樣品的了解及譜圖實際情況確定加3個譜峰）個數(shù)（此譜圖共需添分峰擬合適用條件：若元素存在不同的化學態(tài)，且需要對化學態(tài)進行分析時，需要對該元素進行分峰擬合21深度剖析元素各化學態(tài)定量5.2、元素各化學態(tài)定量-分峰擬合選中Peak Fit（可以對譜峰的擬合參數(shù)進行優(yōu)化和修改）如：各化學態(tài)譜峰命名、半高寬的限定等譜峰命擊對應元素化學態(tài)名稱（即C1s、C1

8、s Scan A、 C1s Scan B）處對其修改半高寬限定：一般建議半高寬在0.5:2.5范圍內(nèi)，且同一元素各化學態(tài)半高寬相同或差距較小22深度剖析元素各化學態(tài)定量5.2、元素各化學態(tài)定量-分峰擬合單擊 Fit All Level若擬合結果符合要求，點擊OK即可（該元素各化學態(tài)定量結果完成）23深度剖析元素及各化學態(tài)隨濺射時間變化曲線刻畫5.3、元素及各化學態(tài)隨濺射時間變化曲線刻畫通過Ctrl+單擊需要關心的元素可將關心元素選擇出來 （被選元素左側會有顯示）單擊，即到關心元素及各化學態(tài)隨濺射時間變化曲線24深度剖析元素及各化學態(tài)隨濺射時間變化曲線刻畫5.3、元素及各化學態(tài)隨濺射時間變化曲線

9、刻畫通過將對應元素后面的“”去掉，即可使不關心元素不參加定量，通過Ctrl+單擊需要關心的元素可將關心元素選擇出來 （被選元素左側會有顯示）單擊，即到所有元素及各化學態(tài)隨濺射時間變化曲線（此時所關心元素含量之和為100%）25深度剖析元素及各化學態(tài)隨濺射時間變化曲線刻畫5.3、元素及各化學態(tài)隨濺射時間變化曲線刻畫通過點擊Peak Table左上角（將所有元素全選 ，所有元素均有顯示）單擊，即到所有元素及各化學態(tài)隨濺射時間變化曲線26數(shù)據(jù)導出功能-以Excel形式導出6、數(shù)據(jù)Excel形式導出通過點擊譜圖左上角方框（將所有元素全選）設置格式：Reporting-Region27數(shù)據(jù)導出功能-以E

10、xcel形式導出6、數(shù)據(jù)Excel形式導出單擊，對數(shù)據(jù)導出格式進行設置（建議設置如下表所示，可根據(jù)用戶需求自行設置）單擊OK28數(shù)據(jù)導出功能-以Excel形式導出6、數(shù)據(jù)Excel形式導出單擊 Report Style-Graph Sizes/Fonts，可對導出的（建議設置如下表所示，可根據(jù)用戶需求自行設置）大小和文字進行設置單擊OK29數(shù)據(jù)導出功能-以Excel形式導出6、數(shù)據(jù)Excel形式導出選擇數(shù)據(jù)途徑：Reporting-Excel-Report Options-OK將數(shù)據(jù)按照途徑進行數(shù)據(jù)導出：Reporting-Excel-Report to,數(shù)據(jù)導出完成30導出功能-用于PPT展

11、示7.1、譜圖以形式導出-Survey導出選擇數(shù)據(jù)途徑：Reporting-Image Large單擊，Report StyleGraph Options/Fonts，可對譜圖和文字大小進行設置（建議將大小設置參數(shù)如右圖所示）設置完成后，點擊OK31導出功能-用于PPT展示7.1、譜圖以形式導出-Survey導出Report StyleTablesPeak Table的去掉（否則導出的譜圖將會含有Peak Table表格）32導出功能-用于PPT展示7.1、譜圖以形式導出-Survey導出單擊/選擇要導出的Survey譜圖Reporting-Report To Clipboard（將到剪切板上

12、）單擊PPT的目標位置，Ctrl+V進行粘貼（Survey導出完成）33導出功能-用于PPT展示7.2、譜圖以形式導出-高分辨窄掃導出選擇數(shù)據(jù)途徑：Reporting-Image Small單擊，Report StyleGraph Options/Fonts，可對譜圖和文字大小進行設置（建議將大小設置參數(shù)如右圖所示）設置完成后，點擊OK34導出功能-用于PPT展示7.2、譜圖以形式導出-高分辨窄掃導出Report StyleTablesPeak Table的去掉（否則導出的譜圖將會含有Peak Table表格）35導出功能-用于PPT展示7.2、譜圖以形式導出-高分辨窄掃導出單擊/選擇要導出的

13、高分辨窄掃譜圖Reporting-Report To Clipboard（將到剪切板上）單擊PPT的目標位置，Ctrl+V進行粘貼（Survey導出完成）36 7、譜圖以形式導出-注意事項 當進行譜圖導出時，需注意將Report StyleTablesPeak Table的去掉，否則導出的譜圖將會含有Peak Table表格37導出功能-用于PPT展示導出功能-用于PPT展示7、譜圖及標注修改小技巧添加/取消標注：右擊對應VGP譜圖-Legend-Legend On（對應標注即可顯示出來）/Legend Off（取消標注）修改標注文字及線條：右擊PPT上對應譜圖-Group-Ungroup-單

14、擊需要修改文字的文本框或雙擊標注線條即可對其進行修改部分圖像、文字位置的修改：將需要移動的文字、后對其拖拽到指定位置）C1s Scan選中，右擊-Group-Group（隨3 Scans,57.3 s, 500m, CAE 30.0, 0.10 eVSpectrum BackgroundFitted Peak C1s grapheneFitted Peak C1s Sat Peak fit background Fitted envelope3.00EC1s graphene2.00E+051.00E+05C1s Sat0.00E+00Binding Energy (eV)38Counts /

15、 s (Residuals 10)表面分析產(chǎn)品K-Alpha高效能XPS測試能力Nexsa斑XPS，多技術聯(lián)合Theta Probe高效能薄膜分辨能力ESCALAB Xi+世界一流性能和多功能拓展性快速、直觀的工作流程交互式和完全自動化操作分析斑平行角分辨非破壞性深度剖析 ISS、REELS、UPS、多技術聯(lián)合MAGCIS雙模式離子源（專利）快速、定量平行成像 優(yōu)于5m束斑回溯成譜優(yōu)越的能量分辨率標配 REELS和ISS可選配多技術 AES/SEM/EDS/LEED/IPES/E DXR全聚焦:10-400mISS、REELS、UPS、多技術聯(lián)合快照成像(專利) MAGCIS雙模式離子源（專利）互聯(lián)網(wǎng)內(nèi)標自校準操控MAGCIS雙模式