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物理所微加工實驗室對外加工服務申請表課題名稱申請人單位課題負責人聯系方式電話手機電子郵件課題聯系人聯系方式具體加工要求及內容（可附頁） 課題負責人簽字： 日期：說明：申請單位請具體到院系；課題負責人為申請單位的課題組長或研究生導師；課題聯系人為具體負責聯系的老師及研究生 物理所微加工實驗室對外加工服務受理表課題名稱接待人受理情況受理 不受理簽字：工藝所需設備工藝流程控制序號使用設備加工內容及完成情況（機時）費用（元）簽字1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、費用總計（元）：實驗室負責人簽字：日 期：說明：接待人為接收對外加工的微加工室工作人員，負責與相關設備負責人溝通，判斷是否可以加工及加工所需要的具體工藝流程；每個工藝流程完成后相關設備負責人填寫完成情況及費用并簽字確認。

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