1、降低內層開短路缺陷工作總結降低內層開短路改進小組一、 概述 4月中旬內層AOI一次送檢不合格率持續偏高，最高達到9.86%，影響了生產進度及成品率。因此工程部將“內層AOI一次送檢不格率降至5%”列入工藝組改進項目之一，由林綿鋒先生、張鎮祥先生、周曉煌先生、蔡錦雄先生和林挺先生組成降低內層開短路改進小組，目的是尋找缺陷產生的原因，以便提出針對性改進措施，提高成品率。二、 改進方法Ø 檢查貼膜后板面質量情況，在缺陷點板邊作標記。Ø 檢查曝光后板面質量情況，在缺陷點MALAR膜上作標記。Ø 蝕刻、AOI檢查后，將板面缺陷對照MALAR膜上所作的標記進行分析缺陷產生的原

2、因。Ø 采取針對性改進措施。內層開短路材料環境1板面樹脂點2板面凹陷、劃傷3板面銅瘤4CCL磨板板面擦傷干膜房潔凈度度法設備操作1前處理效果差2貼膜溫度低3干膜被壓傷4曝光雜物多5顯影液濃度高6顯影液添加量不足7點檢不完善1除塵效果差3壓輥擦傷4傳送輥老化5曝光能量不均勻6曝光機真空度不足7顯影段入口視線差2貼膜溫度變化大8蝕刻循環量小9ACS搖擺效果差差1磨板貼膜速度快2壓輥清潔不凈3菲林曝光框清潔不凈4放板超出范圍5參數超出范圍6沖板不規范三、 內層開短路原因 四、 改進措施1 材料Ø 由于內層火山灰前處理無法除去板面的銅瘤、樹脂點、殘膠等板面雜物（導致內層板件缺陷率高

3、的原因之一），所以只能通過適當提高貼膜溫度及壓輥壓力來部分抵減板面雜物對質量的影響。Ø 規定板件在CCL磨板時只能使用800目的砂帶紙，減少板面擦傷。2 環境：干膜房潔凈度是決定產品質量的關鍵因素之一，因此每周保養時工序都投入了大量的人力進行清潔，注意清潔每一角落，減少不必要物品。每周保養后由改進小組驗收合格后方可生產。干膜房潔凈度的提高為產品合格率的提升奠定了堅實的基礎。3 方法Ø 提高前處理質量² 提高火山灰濃度：要求將火山灰濃度控制在15-20%。² 提高磨板壓力：要求將磨痕控制在12-15mm。² 改進磨板機水洗過濾裝置，提高過濾效果。

4、Ø 提高貼膜機壓輥溫度，減少貼膜不良。 4月份我重點跟進了貼膜機壓輥溫度的變化情況，初步掌握了壓輥溫度變化規律。經過反復校正、驗證，對貼膜機溫度暫作如下規定：² 杜邦713干膜：線寬/間距大于4mil，溫度設定值為115；線寬/間距小于等于4mil的細線路板件，溫度設定值為118。² 日立HF240干膜、杜邦PM115、PM120干膜：溫度設定值為118。經過采取上述措施，貼膜不良缺陷明顯得到控制。Ø 改進干膜房放板裝置：針對目前干膜房放置板件的放板車、放板框因不規范而導致壓傷干膜的情況，通過在放板車、放板框上增置一塊18*22英寸的PVC板，既有效地消

5、除了干膜被壓傷，又節約了改造成本。Ø 規定手動曝光操作規范：對線寬/間距大于6mil的板件，在用趕氣輥均勻趕氣之后，必須用除塵粘輥清潔MALAR面，降低半自動曝光機生產板件的不良率。Ø 降低碳酸鈉開缸量：原有顯影液開缸量偏高，顯影液濃度較高，容易導致顯影過度。經過驗證，將碳酸鈉開缸量從原來的9公斤降低為6公斤。Ø 增加碳酸鈉補充添加量：原碳酸鈉補充添加量為每生產40塊板件添加20秒，經計算，該添加量下顯影液能力接近滿負荷，因此將添加量修改為每生產20塊板件添加20秒，提高顯影能力。Ø 采取顯影槽保養時關掉溢流裝置，顯影槽、蝕刻槽保養后必須用高壓水沖洗槽壁

6、等措施，完善保養規程，提高保養質量。Ø 蝕刻過濾芯更改為碳芯，有效吸咐蝕刻液中的有機雜物，減少銅點。Ø 繼續完善現場點檢記錄，提高了點檢的針對性、有效性，效果顯著。4 設備Ø 保養時將除塵膠棍送返磨，提高除塵效果；更換HAKUTA貼膜前已老化的傳送膠輪；更換HAKUTA高效過濾箱的磨刷。Ø HAKUTA貼膜機加熱棒涂導熱膠，提高加熱均勻性。Ø 修補HAKUTA熱壓輥表面凹陷后貼膜仍有小氣泡，已更換熱壓輥。Ø 每周兩次用能量計校正曝光機能量，保證曝光能量穩定，減少曝光不良。Ø 更換真空接口，提高AX28自動曝光機的真空度（小于

7、-10 inHg），減少曝光不良。Ø 改進顯影段入口的蓋板裝置，減少疊板。Ø 更換ACS線蝕刻機過濾系統，加大蝕刻液的循環量，提高蝕刻質量。Ø 更換ACS酸蝕線傳送桿鎖緊螺絲，減少傳送故障。5操作Ø 增加崗位操作可視化，規范各崗位操作。Ø 搜集相關缺陷圖片，由工藝總結生產操作中應注意的事項，結合近期公司推廣應用六西格瑪，對內層員工針對性地進行操作培訓。Ø ACS線沖板區增加管位裝置，完善防呆措施。五、 改進結果經過生產、設備、工藝人員的共同努力，內層各項不合格率逐漸下降（如下圖）：第25周內層板件一次送檢不合格率為3.02%，比第21

8、周下降了6.84%，其中開路、缺口及短路缺陷比例分別為2.14%及0.45%，分別比第21周下降了4.92%及2.91%，改進效果較好。六、 改進小組工作總結1 運用科學方法尋找缺陷產生原因。 以往分析缺陷來源習慣于根據缺陷的類型、特征分析造成缺陷的來源，由于造成同一缺陷往往有多種可能原因，所以原有的方法并不能保證所作出的判斷百分之百準確。本次改進活動中，在杜邦公司鄧文先生的幫助下，采用上述第二點所提到的分析方法，對每一制程進行驗證、分析，準確找到了缺陷產生的真正原因，從而能對癥下藥，效果明顯。2 注重凈化房的清潔工作。 凈化房的潔凈度是影響產品質量的最關鍵因素之一，在每周保養時內層工序都注意

9、投入大量的人力徹底清潔凈化房每一角落，提高凈化房的潔凈度，從而為不良率的下降奠定了堅實的基礎。3 主動管理。 六西格瑪要求我們在事情發生之前就采取行動，而不是在事后才作出反應，在工作中要經常詢問作事的理由而不是因為慣例就盲目地遵循。 例如在改進過程中發現貼膜溫度偏低（約85-90），于是將貼膜溫度提高了15，在此過程中有部分人感到疑惑不解：以往一直按此貼膜溫度操作，貼膜質量挺好的，何必多此一舉？由于干膜在110±10的溫度下流動性較好，與銅面之間的結合力較強，可以有效減少貼膜不良，所以必須提高貼膜溫度而不是拘泥于慣例就盲目使用原有貼膜溫度。事實證明，在提高貼膜溫度之后，貼膜不良缺陷已

10、明顯減少。所以在今后生產管理中，我們需要關注經常被忽略的動作細節，養成動態的、預防的、積極的良好管理習慣。4 確保關鍵參數的穩定性。只有確保關鍵參數，如貼膜溫度、曝光能量、曝光真空度等參數的穩定，才可以保證產品質量的穩定。 5 加強員工操作培訓。 針對內層工序新員工多且操作經驗不足，經常因誤操作面導致板件出現質量問題的實際情況，在搜集相關缺陷圖片的基礎上，由工藝總結了生產操作中應注意的事項，結合近期公司推廣應用六西格瑪，對內層員工針對性地進行操作培訓，要求員工將六西格瑪的理念運用到生產中，在乎生產中的每一件事，第一次就把事情做對，養成良好的操作習慣，敢干創新，提升良品率，從而使得內層工序連續幾

11、周AOI一次送檢不合格率持續下降。6 協力合作無界限。 本次改進項目所取得的成果是與改進小組的精誠合作分不開的，改進小組組成了一個六西格瑪團隊，協力合作，為實現項目的目標而共同努力。 7 運用六西格瑪管理方法，不斷完善現場點檢記錄。 根據楊曉新經理關于“6sigma管理方法與現場管理”專題講座，改進小組共同討論現場點檢記錄表，運用六西格瑪管理方法，針對生產的實際情況對點檢記錄作進一步完善，從而明顯提高了點檢的針對性、有效性，效果顯著。七、 存在問題：1 銅點致短路占最后內層報廢比例較高。2 ACS線蝕刻段搖擺故障率較高，影響了蝕刻質量。3 AX28曝光不良仍偶有發生。4 部分員工操作經驗仍不足，質量不穩定。八、 工作計劃1 針對銅點缺陷導致目前高多層板件內層短路報廢比例大的的情況，計劃于七月份完成以下工作：Ø 分析銅點產生的原因。Ø 考究顯影液PH值對顯影質量的影響。Ø 驗證ACS線顯影過濾系統的有效性。Ø 測試ACS線的顯