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文檔簡介

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2、s血看MaH53?S 檯gfiz屮I®fflh下一步:AInsIISriH設置基板尺寸,長、 氨厚信息 和拼塊信息確認相關信息”將提前取料設詈為'不昨1.1IKrswdlBE-lkS劇/y機強陽曲1Ja寸 li iM:)100. COO1b ft扳尺寸¥ (Kh!100-000|c基扳厚臣I (XT、i.eooE 1目tr生產聖尅0F花自*產粒ILId 1戢基IS的阱安®okH目前下輕咪載01理定下料耶栽0lj革辛用®定才堆外基基酒1監H定開殆Pt間劃)C. 3Bl特逮開拾禹度皿13|0. 0P E#處理枚正通*抜正1Io ft岳st認執疔1F

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4、i»t®|MU頤T1. HJKTTt四.®J11 (hiL ftU Oui ft ALItaDl><A-*Ifc#去基板傳入后,店世潔粵迪崎LL3f!S*Tr4XJT f儲目tun卞曲 GAT£-EM 號口 一 LIU. DulU in機 w emjirnu無ISS注:第一步先點擊傳送寬度調整軌道與基板寬 痘相符,存在輕微間隙即可,并將數宇填入到基板 資料的¥值中.第步,將基板放在講扳口感應器上方,點®傳入rt出口斟國AQJWS點擊基板位移,示教基板原點,如下圖:9feM3?0.000J®aY T7 gb-199

5、;U? &763點擊跟蹤移動相機It至基板左下角并示*4%TA.*H(陣直 anwgllE冒冋后KSIfrSJWB目摘障教原點彳直置,如左側窗口內光源較亮,可點擊標記照明調整清晰度0*)甲 1 j'l in|0.010K遲OFpoo校E爭li萬式標iEH明陽-1jf點乍下一步(如果基板存在拼塊,可執行下一步示教拼塊,如為單片板可跳過此步):IpE.«aCT卜±s朗誡.-W L<1Q.Tty1*1 Ltr畫便轅u0 MQ.?.Ln|A*2 E:0 Oltta3D nod|*3 :Q 0«la.orolD and|弄K應馨Jftp應曙Hlif如基

6、板存在拼塊,在屁添加拼塊數據并示數拼塊數據4i j辛4ttr>rK.'LrJSfe1 ,L點擊9誌AY (rai;鬥.OSSF CruiA0-03S1 相 U2;W塀*1El 1MinxwiW.樺=i-l£i=- 彌ijlOGA1豌'|設目為聊塊耳點畢店傾'五.制作基準標記信息和標記菜單數據。如下圖:ffiaataiIttQ.(M d MP _0 DUUIMLO.dfia在基板潔息中云教基板標記,標記L和標記2中的數據対-應標記菜單中的NO.數字,基板標記一般選擇基板對角SR的兩個識別點:點X El115. 352th*r二 -z-t«iFJ&

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